SU1633021A1 - Способ удалени активного покрыти с оксидных рутениево-титановых анодов - Google Patents
Способ удалени активного покрыти с оксидных рутениево-титановых анодов Download PDFInfo
- Publication number
- SU1633021A1 SU1633021A1 SU884429286A SU4429286A SU1633021A1 SU 1633021 A1 SU1633021 A1 SU 1633021A1 SU 884429286 A SU884429286 A SU 884429286A SU 4429286 A SU4429286 A SU 4429286A SU 1633021 A1 SU1633021 A1 SU 1633021A1
- Authority
- SU
- USSR - Soviet Union
- Prior art keywords
- orta
- coating
- solution
- quality
- ruthenium
- Prior art date
Links
Landscapes
- Cleaning And De-Greasing Of Metallic Materials By Chemical Methods (AREA)
Abstract
Изобретение относитс к производству оксидных рутениево-титановых анолов (ОРТА) и может быть использовано дл удалени с их поверхности отработанного активного покрыти . Цель изобретени - повышение качества при уменьшении потерь титановой основы и уменьшение времени обработки . Удаление активного покрыти с ОРТА провод т в 1-10%-ном растворе малеинового ангидрида илм нтарной кислоты с добавкой 0,1-1,0% ионов фтора при 20-60°С. 1 з.п. ф-лы, 3 табл.
Description
Изобретение относитс к производству оксидных рутениево-титановых анодов (ОРТА) и может быть использовано дл удалени с их поверхности отработанного активного покрыти .
Цель изоГретени - повышение качества при уменьшении потерь основы и уменьшение времени обработки.
Удаление активного покрыти с ОРТА провод т в 1-10%-ном растворе малеинового ангидрида или нтарной кислоты с добавкой 0,1-1,0% ионов фтора при 20-60°С.
Результаты испытаний приведены в табл.1-3.
Способ обеспечивает перевод снимаемого оксида рутени в растворимые соединени , перевод рутени в растворимые соединени , которые легко можно извлечь известными методами без потерь или утилизировать раствор.
Способ.особенно перспективен при удалении активного покрыти с ОРТл, представл ющих собой листы титана (просечные в диафрагменных, сплошные в хлоратных электролизерах).которые соединены о внутренним титановым опорным листом и наружна поверхность которых покрыта активным покрытием. При обработке другими способами (травление в неорганических кислотах, дробеструйна обработка и др.) происходит сильное разрушение участков (опорный лист) без покрыти и деформаци (обработка дробью ) анодов.
I
аъ
00
со
о
IN
Claims (2)
1. Способ удалени активного покрыти с оксидных рутениево-титановых анодов в кислом растворе при повышенной температуре, отличающийс тем, что, с целью повышени качества при уменьшении потерь титановой основы и уменьшени времени обработки, процесс осуществл ют в 1-10%-ном растворе малеино- вого ангидрида или нтарной кислоты с добавкой 0,1-1,0% ионон фтора.
2. Способ по п.1, о г л и чающийс тем, уто процесс ведут при 30-60°С.
:1
Способ Услови процесса
Раствор: щавелева кислота 0,8-15%, фтористоводородна кислота 0,02-2%, 60°С
Раствор: малеиновый ангидрид и нтарна кислота 1-10%, ионы фтора 0,1- 1%, 60°С, 15 мин
Раствор чалеТаблица 1 Результаты обработки
Нет полного удалени покрыти (за 15 мин сн тие покрыти неравномерное с разрушением участков основы, низкое качество основы (нет требуемой микрошероховатости , наводороживание, запирание и отсутствие защитной пленки), большие потери металла (до 3,5 мг/см2), длительность процесса (полное удаление - не менее 1 ч и при 100°С) низкое качество регенерированных ОРТА (запирание - высокий потенциал, т.е. более 1,35 В).
Полное удаление покрыти , высокое качество основы (нет наводороживани , обеспечение микрошероховатости, хороша адгези свежего покрыти , наличие защитной пленки), мало врем , незначительны потери металла (до 0,5 мг/см2), высокое качество регенерированных ОРТА (потенциал не более 1,35 В), процесс менее трудоемок (не требуетс дополнительна обработка с целью удалени остатков покрытий и обеспечени микрошероховатости
Таблица
Сотлело ТУ потенциал ОРТА не более 1,35 В, весовые потери не более 0,5 иг/см1 , толвщиа Идентично предыдущим опытам, где получены неудовлетворительные ОРТА.
покрыти 30-40 мкм.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
SU884429286A SU1633021A1 (ru) | 1988-05-23 | 1988-05-23 | Способ удалени активного покрыти с оксидных рутениево-титановых анодов |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
SU884429286A SU1633021A1 (ru) | 1988-05-23 | 1988-05-23 | Способ удалени активного покрыти с оксидных рутениево-титановых анодов |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
SU1633021A1 true SU1633021A1 (ru) | 1991-03-07 |
Family
ID=21376651
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
SU884429286A SU1633021A1 (ru) | 1988-05-23 | 1988-05-23 | Способ удалени активного покрыти с оксидных рутениево-титановых анодов |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
SU (1) | SU1633021A1 (ru) |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6165956A (en) * | 1997-10-21 | 2000-12-26 | Lam Research Corporation | Methods and apparatus for cleaning semiconductor substrates after polishing of copper film |
US6303551B1 (en) | 1997-10-21 | 2001-10-16 | Lam Research Corporation | Cleaning solution and method for cleaning semiconductor substrates after polishing of cooper film |
US6479443B1 (en) | 1997-10-21 | 2002-11-12 | Lam Research Corporation | Cleaning solution and method for cleaning semiconductor substrates after polishing of copper film |
US6593282B1 (en) | 1997-10-21 | 2003-07-15 | Lam Research Corporation | Cleaning solutions for semiconductor substrates after polishing of copper film |
-
1988
- 1988-05-23 SU SU884429286A patent/SU1633021A1/ru active
Non-Patent Citations (1)
Title |
---|
Авторское свидетельство СССР № 502537, кл. С 25 В 11/06. * |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6165956A (en) * | 1997-10-21 | 2000-12-26 | Lam Research Corporation | Methods and apparatus for cleaning semiconductor substrates after polishing of copper film |
US6303551B1 (en) | 1997-10-21 | 2001-10-16 | Lam Research Corporation | Cleaning solution and method for cleaning semiconductor substrates after polishing of cooper film |
US6479443B1 (en) | 1997-10-21 | 2002-11-12 | Lam Research Corporation | Cleaning solution and method for cleaning semiconductor substrates after polishing of copper film |
US6593282B1 (en) | 1997-10-21 | 2003-07-15 | Lam Research Corporation | Cleaning solutions for semiconductor substrates after polishing of copper film |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US4072589A (en) | Process for electrolytic graining of aluminum sheet | |
US20080217186A1 (en) | Electropolishing process for titanium | |
CA2035991A1 (en) | Method of coating steel substrate using low temperature plasma processes and priming | |
SU1633021A1 (ru) | Способ удалени активного покрыти с оксидных рутениево-титановых анодов | |
US3073765A (en) | Process for electrolytically graining aluminum lithographic plates | |
US6030710A (en) | Copolymer primer for aluminum alloy food and beverage containers | |
EP0264972B1 (en) | Method of cleaning aluminium surfaces | |
CA2380542C (en) | Copolymer primer for aluminum alloy food and beverage containers | |
JP2943634B2 (ja) | AlまたはAl合金製真空チャンバ部材の表面処理方法 | |
JPS6013061A (ja) | クロム含有合金 | |
JPS58130280A (ja) | 超合金基体からの硬質表面コ−テイングの選択的化学的除去 | |
US4190468A (en) | Process for coating an electrical steel sheet with an anti-sticking layer | |
US4980195A (en) | Method for inhibiting inland corrosion of steel | |
US4509992A (en) | Processes and compositions for the treatment of aluminum surfaces | |
EP0311774A1 (en) | Method of coating a metal part with a pealable mask | |
JP2694941B2 (ja) | 低鉄損一方向性電磁鋼板の製造方法 | |
JPH04173965A (ja) | スパッタリング用ターゲット | |
US4581073A (en) | Method for descaling metal strip | |
JPH1161433A (ja) | アルミニウム塗装材 | |
GB2084614A (en) | Processes and compositions for the treatment of aluminium surfaces | |
JPS63197692A (ja) | 平版印刷版用支持体の製造方法 | |
RU1825821C (ru) | Способ подготовки поверхности полимерных материалов перед химической металлизацией | |
JPS63262488A (ja) | キヤツプ用アルミニウム材料の表面清浄化法 | |
JPH0311093B2 (ru) | ||
SU1294883A1 (ru) | Способ электрохимического полировани |