SU1602587A1

SU1602587A1 - Arrangement for liquid cleaning of small parts

Info

Publication number: SU1602587A1
Application number: SU884494701A
Authority: SU
Inventors: Василий Иванович Савин
Original assignee: Предприятие П/Я Ю-9957
Priority date: 1988-07-26
Filing date: 1988-07-26
Publication date: 1990-10-30

Abstract

Изобретение относитс к очистке мелких деталей и позвол ет повысить эффективность и качество очистки. Мелкие детали располагаютс в пазах оправки, установленной в П-образную коробчатую емкость, котора в свою очередь устанавливаетс во вращающуюс кассету. Цилиндрическа ванна с моющей жидкостью снабжена тормозными ребрами, установленными на ее внутренней поверхности параллельно ее оси. При вращении кассеты с емкост ми на детали, расположенные в пазах оправок, действуют турбулентные вихревые потоки моющей жидкости от тормозных ребер, проникающие в пазы оправок через перфорацию емкостей. Кроме того, на детали воздействуют потоки моющей жидкости, возникающие от вращени емкостей. В результате детали подвергаютс воздействию интенсивных турбулентных потоков моющей жидкости. 5 ил.The invention relates to the cleaning of small parts and improves the efficiency and quality of cleaning. Small parts are located in the slots of the mandrel mounted in a U-shaped box-shaped container, which in turn is installed in a rotating cassette. A cylindrical bath with washing liquid is provided with brake ribs mounted on its inner surface parallel to its axis. When the cassette with containers is rotated, parts located in the slots of the mandrels are subject to turbulent vortex flows of washing fluid from the brake fins, penetrating the slots of the mandrels through the perforations of the containers. In addition, the parts are affected by the washing fluid flows resulting from the rotation of the containers. As a result, parts are exposed to intense turbulent washing fluid flows. 5 il.

Description

Изобретение относитс к технологическому оборудованию дл производства полупроводниковых приборов, в частности дл групповой очистки полупроводниковых кристаллов .Цель изобретени - повышение эффективности и качества очистки.The invention relates to process equipment for the production of semiconductor devices, in particular for group cleaning of semiconductor crystals. The purpose of the invention is to increase the efficiency and quality of cleaning.

На фиг. 1 изображено устройство дл жидкостной очистки мелких деталей, разрез; на фиг. 2 - то же, вид сверху, с местным разрезом одной из .съемных кассет- мещалок; на фиг. 3 - вид по стрелке А на фиг. 2; на фиг. 4 - разрез Б-Б на фиг. 3; на фиг. 5 - схема направлени рабочих потоков моющей жидкости в зоне тормозного ребра.FIG. 1 shows a device for liquid cleaning of small parts, a section; in fig. 2 - the same, top view, with a local section of one of the removable cassettes; in fig. 3 is a view along arrow A in FIG. 2; in fig. 4 shows a section BB in FIG. 3; in fig. 5 is a diagram of the direction of the working flows of the washing liquid in the zone of the brake rib.

Устройство дл жидкостной очистки мелких деталей содержит цилиндрическую ванну 1 с тормозными ребрами 2, размещенными радиально на внутренней стороне ее стенки, уплотнительное устройство 3, через которое проходит вал 4 с размещенной на нем кассетой-мешалкой 5 со съемными емкост ми 6. Стенки емкостей 6 перфорированы отверсти ми 7 и 8. В каждую емкость помещена оправка 9, в пазах а которой закреплены клеем 10, например пицеином, детали- кристаллы 11. На днище ванны 1 установлен электропривод 12 с конической парой и подсоединены трубопроводы дл подвода и слива обрабатывающей (моющей) жидкости, например ацетона. Кроме того, устройство содержит нагреватель 13.The device for liquid cleaning of small parts contains a cylindrical bath 1 with brake ribs 2 placed radially on the inner side of its wall, a sealing device 3 through which the shaft 4 passes with an agitator cartridge 5 placed on it with removable containers 6. The walls of the tanks 6 are perforated holes 7 and 8. A mandrel 9 is placed in each tank, in the slots and of which are fixed with glue 10, for example, picein, parts- crystals 11. At the bottom of the bath 1 there is an electric actuator 12 with a conical pair and piping for supplying and discharging the treatment (washing) liquid, for example acetone. In addition, the device contains a heater 13.

Устройство дл жидкостной очистки мелких деталей помещают в выт жной шкаф (не показан).A device for liquid cleaning of small parts is placed in a fume cupboard (not shown).

Устройство работает следующим образом.The device works as follows.

Кассету-мещалку 5 предварительно размещают в ванне 1 и жестко закрепл ют на ва-лу 4. Оправки 9 с закрепленными на них клеем 10 кристаллами 11 помещают в емкости 6, установленные на кассете-мешалке 5. В ванну 1 подают обрабаты- ваюшую жидкость, и при заполнении ее до необходимого уровн включают нагреватель 13, отключаемый периодически при нагреве обрабатывающей жидкости до кипени . Одновременно с нагревателем 13 включают электропривод 12 кассеты-мешалки 5, врашающий ее в реверсивном режиме. При вращении очистку кристаллов осуществл ют два вида потока кип щей обрабаШThe cassette-broom 5 is pre-placed in the bath 1 and rigidly fixed on the shaft 4. The mandrels 9 with glue 10 fixed on them 10 are placed in the tanks 6 mounted on the cassette-mixer 5. In the bath 1 the processing liquid is fed and when filling it to the required level, the heater 13 is turned on, disconnected periodically when the processing liquid is heated to a boil. At the same time with the heater 13, the electric drive 12 of the stirrer cassette 5 is turned on, turning it into reverse mode. During rotation, the crystals are cleaned by two kinds of a stream of boiling treatment.

(Л(L

О5O5

о to сдabout to cd

СХ)CX)

тывающей жидкости. Один возникает за счет разности скоростей обрабатывающей жидкости, вовлекаемой во вращение, и об- батываемых кристаллов. Проника через отверсти 7 в каждую емкость, поток дни- 5 жетс вдоль пазов а,раствор ет и уносит клей 10, отдел кристаллы 11 друг от друга и от оправки 9. Вовлекаема во вращение обрабатывающа жидкость под дейстщих детали, а также обрабатывать одновременно все поверхности деталей.melting fluid. One arises due to the difference in the speeds of the processing liquid involved in the rotation and the crystals handled. The penetration through the holes 7 into each container, the flow of days 5 along the grooves a, dissolves and carries away the glue 10, separates the crystals 11 from each other and from the mandrel 9. The processing liquid is involved in the rotation under the working parts, and also to process all surfaces simultaneously details.

Кроме того, размещение в емкост х кристаллов, чувствительных и механическим воздействи м, на оправках, используемых в предыдущей технологической операции, позвол ет проводить непрерывный цикл обработки на этой оправке в устройстве и на ней передавать кристаллы дл дальнейшейIn addition, the placement in the containers of crystals, sensitive and mechanical effects, on the mandrels used in the previous technological operation, allows for a continuous processing cycle on this mandrel in the device and on it to transfer crystals for further

вием центробежных сил стремитс подн ть- обработки, что значительно повышает вы- с по внутренней стенке ванны 1 и, удар сь ход годных кристаллов и производитель- 0 тормозные ребра 2, образует вихревые ность обработки, потоки второго вида, направленные под углом к поверхности с пазами а оправки 9.Centrifugal forces tend to lift treatment, which significantly increases the height of the inner wall of the bath 1 and, striking the course of the crystals and producer 0 brake ribs 2, forms the vortex of the treatment, flows of the second kind directed at an angle to the surface with grooves a mandrel 9.

Каждый из этих потоков также прониВыполнение кассеты-мешалки устрюйст- ва со съемн ми емкост ми позвол ет регулировать интенсивность перемешивани обкает в емкости 6 через отверсти 8, ра ство- 15 рабатывающей жидкости количеством емкос- р ет и уносит клей 10, отдел кристал- тей, что обеспечивает повыщение произво- лы И друг от друга и от оправки 9. После дительности и эффективности обработки. отделени кристаллов 11 от оправки 9 необходимо их отмыть от остатков кле 10. Дл этого отключают нагреватель 13, осуществл ют смену отработанной обрабатывающей жидкости на чистую и повтор ют описанный процесс обработки. По окончании отмывки удал ют обрабатывающую жидкость из ванны, а кристаллы 11 сушат центриФормула изобретени Each of these flows also penetrates. The implementation of the stirring cassette of an ustryustv with removable containers allows you to adjust the intensity of mixing of the walls in the tank 6 through the holes 8, the working liquid with the number of containers and carries the glue 10, a division of crystals that enhances the production of AND from each other and from the mandrel 9. After processing time and efficiency. separating the crystals 11 from the mandrel 9, it is necessary to wash them from the remnants of the adhesive 10. To do this, turn off the heater 13, replace the spent treatment liquid with a clean one, and repeat the described process. At the end of the washing, the treatment liquid is removed from the bath, and the crystals 11 dry the centric formula.

20 Устройство дл жидкостной очистки мелких деталей, преимущественно полупроводниковых кристаллов, содержащее цилиндрическую ванну дл моющей жидкости, приводной вал, проход щий в центре ванны через фугированием, враща кассету-мешалку 5. 25 уплотнение, установленную на валу съем- Далее останавливают электропривод 12, сную перфорированную кассету-мешалку дл 20 A device for liquid cleaning of small parts, mainly semiconductor crystals, containing a cylindrical bath for washing liquid, a drive shaft passing in the center of the bath through fugging, rotating the stirrer 5. 5. The seal installed on the shaft is removed. perforated agitator cassette for

кассеты-мешалки 5 снимают емкости 6, из размещени в ней деталей, тормозные реб- которых вынимают оправки 9 обработан- ра, отличающеес тем, что, с целью по- ными кристаллами 11, затем передают их вышени эффективности и качества очист- на следующую -технологическую операци-ю, ки, кассета-мешалка выполнена в виде а в емкости 6 загружают следующую пар- 30 по меньшей мере одной П-образной короб- тию кристаллов 11, размещенных на оправ- чатой емкости с оправкой, а тормозные ке 9.ребра установлены на внутренней цилиндВыполнение кассеты-мешалки в виде ко-рической поверхности ванны параллельноthe stirrer cassettes 5 remove the containers 6, from placing parts in it, the brake ribs which remove the machining mandrels 9, characterized in that, with the purpose of using clear crystals 11, then transfer them to improve the efficiency and quality of the following technological operation, ki, cassette-mixer made in the form of a and in the tank 6 load the next pair of 30 at least one U-shaped box of crystals 11 placed on a rimmed container with a mandrel, and brake brakes mounted on the inner cylinder the parallel surface of the bath

робчатой емкости с оправкой дл размеще- ее продольной оси, при этом оправка вы- ни деталей и установка тормозных ребер полнена сплошной по форме коробчатой ем- ванны радиально на внутренней стороне ее 35 кости с пазами, расположенными в попереч- стенки позвол ют зафиксировать радиус вра-ной относительно продольной оси ванны плосщени обрабатываемых деталей вблизи стенки ванны и обрабатывать их мощными турбулентными потоками, исход щими от торкости , и установлена в П-образную коробчатую емкость со стороны приводного вала до упора гран ми пазов в ее стенку, обмозных ребер, улучшить перемешивание об- .Q ращенную к тормозным ребрам, причем рабатывающей жидкости, избега образова-пазы расположены в зоне воздействи наA robotic container with a mandrel to accommodate its longitudinal axis, while the mandrel of the part removal and installation of the brake fins is filled with a box-shaped container completely radially on the inner side of its 35 bone with grooves located in the transverse-wall relative to the longitudinal axis of the bath, flatten the workpieces near the wall of the bath and process them with powerful turbulent flows emanating from the rigidity, and are installed in a U-shaped box-like capacity from the drive shaft until it stops E slots in its wall obmoznyh ribs enhance mixing ob- .Q increments to brake the ribs, wherein liquid ops avoiding education-grooves are arranged in the zone of effect on

них вихревых потоков моющей жидкости, образующихс от тормозных ребер при врани воронки на ее поверхности, увеличить скорость вращени емкостей кассеты-мешалки , увеличива мощность потоков, омывающении коробчатой емкости.them vortex flows of washing fluid formed from the brake ribs when the funnels lie on its surface, increase the speed of rotation of the containers of the stirrer cassette, increasing the power of flows, washing the box-shaped capacity.

щих детали, а также обрабатывать одновременно все поверхности деталей.details, and also to process at the same time all surfaces of details.

15 рабатывающей жидкости количеством емкос- тей, что обеспечивает повыщение произво- дительности и эффективности обработки. 15 of the working liquid by the number of tanks, which provides an increase in the productivity and efficiency of processing.

Claims

Invention Formula

20 A device for liquid cleaning of small parts, mainly semiconductor longitudinal axis, while the mandrel is made of a box-shaped container with a continuous shape with grooves arranged in a plane transverse to the longitudinal axis of the bath and installed in a U-shaped box-shaped container the drive shaft up to the stop of the facets of the grooves in its wall, communicating the box-shaped container.

Addition

Phi2.1

Vida

AT -

FIG. five

5-6

fig

eight