Изобретение относитс к технике очистки деталей и узлов машин и может быть использовано на ремонтных предпри ти х в машиностроении, а также в полупроводниковом производ стве дл двухсторонней очистки заготовок фотошаблонов и полупроводниковых пластин после их механической обработки. Известно устройство дл двухсторонней очистки, содержащее по меньшей мере одну пару соосно установленных с зазором моечных дисков кавдый из которых имеет на рабочей поверхности, обращенной к другому диску, выступы в виде усеченных пирамид и осевое отверстие дл подачи моющей жидкости, и направл ющие дл прохода изделий в зазоре между дисками Cl . Однако данное, устройство не обеспечивает высокую производительность , так как вление кавитации жидкости, за счет которого обеспечиваетс интенсивна очистка поверхности издели , возникает лишь после того, как отверстие дл подачи моющего раствора будет перекрыто изделием. Целью изобретени вл етс повы шение производитель ности. Указанна цель достигаетс тем, что в устройстве дл двухсторонней очистки плоских изделий, содержащем по меньшей мере одну пару установленных с зазором моечных дисков, каждый из которых имеет на рабочей поверхности, обращенной к другому диску, выступы в виде усеченных пирамид и осевое отверстие дл подачи моющей жидкости, и направл ющие дл прохода изделий в / зазоре дисками, каждьй диск снабжен экраном и имеет на рабочей поверхности углубление, концентричное отверстию дл подачи моющей жид кости, а экран размещен в углублени с образованием на рабочей поверхности моечного диска кольцевой щели сообщающейс с отверстием дл подач моющей жидкости, причем поверхность экрана, обращенна к противоположному диску, расположена в одной плоскости с выступами моечного диска. На фиг.1 изображено устройство дл двухсторонней очистки плоских изделий, общий BOfif на фиг.2 - моеч ный диск, разр,ез; на фиг.З - то же, рабоча поверхность. Устройство дл двухсторонней очистки плоских изделий содержит по меньшей мере одну пару соосйо установленных с зазором моечных дисков 1, каждый из которых имеет на рабочей поверхности 2, обращенной к другому диску, выступы 3 в виде усеченных пирамид и осевое отверстие 4 дл подачи моющей жидкости , направл ющие 5 дл прохода изделий 6 в зазоре между дисками 1, при этом каждый диск 1 снабжен экраном 7 и имеет на рабочей поверхности 2 углубление 8, концентричное отверстию 4 дл подачи моющей жидкости, а экран 7 размещен в углублении 8 с образованием на рабочей поверхности 2 моечного диска 1 кольцевой щели, сообщающейс с отверстием 4 дл подачи моющей жидкости, причем поверхность 9 экрана 7 расположена в одной плоскости с выступами 3 моечного диска 1. Издели 6 перемещаютс толкателем 10. Устройство имеет штуцеры 11 дл подачи моющей жидкости через полый вал электропривода 12, защитные кожухи 13 со сливными отверсти ми 14. Устройство дл двухсторонней очистки плоских изделий работает следующим образом. Обрабатываемое изделие 6 устанавливаетс в направл ющую 5 и толкателем 10 подаетс в зону обработки . Одновременно включают электроприводы 12 вращени моечных дисков 1 и через штуцеры 11, полые валы электроприводов 12 и отверсти 4 моечных дисков 1 подают в зону об- . работки моющую жидкость. При прохождении издели 6 между моечными дисками 1 происходит отмывка обеих его поверхностей. При этом в зоне между обрабатьгоаемой поверхностью и моечным диском 1 за счет выступов 3 и вращени моечных дисков 1 с большой скоростью возникает кавитаци моющей жидкости, способствующа быстрой и качественной очистке издели , образованна за счет скорости истечени жидкости из кольцевой щели под действием давлени и центробежньк сил, образующихс при вращении моечных дисков 1.После полной очистки издели с двух сто- рон его выгружают и устанавливают следующее. Цикл повтор етс . Изобретение позвол ет увеличить производительность за счет того, что вление кавитации возникает е при частичном перекрьшании 147456 обрабатываемым изделием кольцевой щели моечного диска. Наличие экранов, образующих 5 кольцевую щель, позвол ет увеличить производительность очистки на 30%,The invention relates to the technique of cleaning parts and components of machines and can be used in repair plants in mechanical engineering, as well as in semiconductor production for two-sided cleaning of preforms of photomasks and semiconductor plates after their machining. A device for two-sided cleaning is known, comprising at least one pair of washing discs coaxially mounted with a gap, each of which has on the working surface facing the other disc, protrusions in the form of truncated pyramids and an axial opening for supplying washing liquid and guides for the passage of articles in the gap between the Cl disks. However, this device does not provide high performance, since the phenomenon of cavitation of the liquid, due to which intensive cleaning of the surface of the product is provided, occurs only after the opening for supplying the cleaning solution is blocked by the product. The aim of the invention is to increase the productivity. This goal is achieved by the fact that in a device for two-sided cleaning of flat products containing at least one pair of wash disks installed with a gap, each of which has on the working surface facing the other disk protrusions in the form of truncated pyramids and an axial opening for supplying detergent liquids, and guides for the passage of articles in the / gap by discs, each disc is provided with a screen and has a recess on the working surface, concentric with an opening for supplying washing liquid, and the screen is placed in the recesses On the working surface of the washing disk, an annular gap communicates with the opening for feeding the washing liquid, with the screen surface facing the opposite disk located in the same plane as the projections of the washing disk. Fig. 1 shows a device for two-sided cleaning of flat products, the general BOfif in Fig. 2 is a washing disk, discharging unit; on fig.Z - the same, a working surface. The device for two-sided cleaning of flat products contains at least one pair of coaxially installed with a clearance washing discs 1, each of which has on the working surface 2 facing the other disc, protrusions 3 in the form of truncated pyramids and an axial hole 4 for supplying washing liquid 5 for the passage of products 6 in the gap between the disks 1, each disk 1 is provided with a screen 7 and has on the working surface 2 a recess 8, concentric to the opening 4 for supplying washing liquid, and the screen 7 is placed in the recess 8 with the formation m on the working surface 2 of the washing disk 1 of the annular gap communicating with the opening 4 for supplying washing liquid, the surface 9 of the screen 7 being located in the same plane with the projections 3 of the washing disk 1. Parts 6 move by the pusher 10. The device has fittings 11 for supplying washing liquid through the hollow shaft of the electric drive 12, protective covers 13 with drain holes 14. A device for two-sided cleaning of flat products works as follows. The workpiece 6 is placed in the guide 5 and the plunger 10 is fed to the treatment zone. At the same time, the actuators 12 are turned on the rotation of the washing disks 1 and through the fittings 11, the hollow shafts of the electric actuators 12 and the openings 4 of the washing disks 1 are fed into the zone about. working washing liquid. With the passage of the product 6 between the washing disks 1, both its surfaces are washed. At the same time, in the zone between the surface to be treated and the washing disk 1, due to the projections 3 and the rotation of the washing disks 1, cavitation of the washing liquid occurs at high speed, facilitating fast and high-quality cleaning of the product, formed due to the speed of the fluid outflow from the annular gap under pressure and centrifugal forces formed during the rotation of the washing disks 1. After thorough cleaning of the product from two sides, it is unloaded and the following is established. The cycle is repeated. The invention allows to increase productivity due to the fact that the phenomenon of cavitation occurs e with partial overlap of 147456 with the product being processed, the annular gap of the washing disk. The presence of screens that form the 5th annular gap allows to increase the cleaning performance by 30%,
Фиг.22
8 eight