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US4298273A
(en)
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Projection aligner and method of positioning a wafer
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KR0162499B1
(ko)
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프로우빙 테스트 방법
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CN114719752B
(zh)
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基于万能工具显微镜、测头测量精密零件几何参数的方法
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JPS6465848A
(en)
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Alignment
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US5214857A
(en)
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Calibration device
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KR20090105854A
(ko)
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얼라인먼트 방법, 침끝위치 검출 장치 및 프로브 장치
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SU157119A1
(https=)
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JPS6150007A
(ja)
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表面形状測定用トレ−サ
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CN106425713A
(zh)
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一种高精密内圆磨床自适应柔性上料手爪
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US3524261A
(en)
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Work supporting table for coaxial comparators
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CN111816603A
(zh)
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一种基板承载装置及检测装置
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CN207982928U
(zh)
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用于车床的接触式在线检测系统的标定装置
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JP2501613B2
(ja)
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ウエハプロ―バ
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CN109986367A
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一种用于测量超精密机床气浮垫刚度的装置
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CN2110857U
(zh)
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接触式传感测头定零装置
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JPH02213701A
(ja)
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ディスク内径検査方法及びその装置
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GB750950A
(en)
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Improvements in or relating to gauging device
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JPS62139330A
(ja)
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被処理材の固定方法および装置
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CN219435214U
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一种改善曝光机定位不良的装置
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CN106493608A
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一种自动化单元自适应检测装置
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JPH01249398A
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自動製図機におけるペン種判別装置
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JPS6035845Y2
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測定具
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JPS59182516A
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ウエハチツプのマ−キング装置
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JP2568104B2
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プロービング方法及びプロービング装置
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SU1265593A1
(ru)
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Устройство дл измерени скорости ультразвука в абразивном инструменте
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