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US4298273A
(en)
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Projection aligner and method of positioning a wafer
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US5214857A
(en)
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Calibration device
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JPS6465848A
(en)
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Alignment
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CN114719752B
(zh)
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基于万能工具显微镜、测头测量精密零件几何参数的方法
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KR20090105854A
(ko)
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얼라인먼트 방법, 침끝위치 검출 장치 및 프로브 장치
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SU157119A1
(GUID-C5D7CC26-194C-43D0-91A1-9AE8C70A9BFF.html)
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JPS6150007A
(ja)
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表面形状測定用トレ−サ
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CN106425713A
(zh)
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一种高精密内圆磨床自适应柔性上料手爪
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GB2188263A
(en)
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Composite movement table apparatus
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US3524261A
(en)
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Work supporting table for coaxial comparators
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CN207982928U
(zh)
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用于车床的接触式在线检测系统的标定装置
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CN210805728U
(zh)
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一种用于曝光机小缺口晶圆定位校准装置
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CN206725717U
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电感式接近开关响应频率检测装置
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CN216746702U
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JPH053923Y2
(GUID-C5D7CC26-194C-43D0-91A1-9AE8C70A9BFF.html)
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JPH02213701A
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JPH0435761Y2
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自動製図機におけるペン種判別装置
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