SU1537896A1 - Вакуумный молекул рный насос - Google Patents

Abstract

Изобретение относитс  к вакуумной технике и позвол ет улучшить откачные характеристики и повысить надежность насоса. В зазоре между корпусом 1 и центральным ротором (ЦР) 4 установлен внешний ротор (ВР) 7, снабженный винтовыми канавками 9. Корпус 1, ВР 7 и ЦР 4 выполнены сферическими. Газ поступает через входной патрубок 2 и, взаимодейству  со стенками паза 5 ЦР 4, переноситс  к выходному патрубку 3. ВР 7, враща сь вокруг оси, перпендикул рной оси ЦР 4, уменьшает обратные перетечки газа вдоль стенок корпуса 1. 3 ил.

Description

Изобретение относитс  к области вакуумной техники, а именно к конструкци м молекул рных вакуумных насосов.

Цель изобретени  - улучшение от- качных характеристик и повышение надежности .

На фиг. 1 представлен насос, продольный разрез; на фиг. 2 - сечение А-А на фиг. 1; на фиг. 3 - сечение Б-Б на фиг.2.

Вакуумной молекул рный насос, содержащий корпус 1 с входным и выходным патрубками 2 и 3, размещенный в корпусе 1 центральный ротор k, снабженный по меньшей мере одним кольцевым пазом 5, и расположенную в последнем уплотнительную вставку 6, закрепленную на корпусе 1 между патрубками 2 и 3. Насос дополнительно содержит внешний ротор 7, охватывающий центральный ротор k. Корпус 1, центральный и внешний роторы и 7 выполнены сферическими, оси вращени  роторов k и 7 расположены взаимно перпендикул рно, причем внешний ротор 7 снабжен осевыми окнами 8 и винтовыми канавками 9, выполненными на его внешней и внутренней поверхност х , входной и выходной патрубки 2 и 3 размещены диаметрально противоположно на оси, совпадающей с осью вращени  внешнего ротора 7, а уплот- нительна  вставка 6 снабжена шевронными выступами 10, выполненными на ее поверхности, обращенной к кольцевому пазу 5 центрального ротора 4, и плоской перегородкой 11, установленной со стороны выходного патрубка 3, при этом вершины шевронных выступов 10 направлены к плоской перегородке 11.

Насос работает следующим образом

Предварительно полость корпуса 1 вакуумируетс  внешним фервакуумным насосом. Центральный и внешний роторы b и 7 привод тс  во вращение вокруг взаимно перпендикул рных осей. Откачиваемый газ взаимодействует с поверхностью центрального ротора и стенками паза 5 и пере

5

0

5

0

5

0

5

0

носитс  от входного патрубка 2 к выходному патрубку 3. Обратна  перетечка газа по пазу 5 предотвращаетс  вставкой 6 с шевронными выступами 10 и плоской перегородкой 11, а также внешним ротором 7, вращение которого обеспечивает преимущественное отрешение молекул газа от стенок паза 5 в сторону нагнетани .

Совокупность конструкции уплотни- тельной вставки и наличи  внешнего ротора, значительно снижа  перетечки , обеспечивает улучшение откачных характеристики насоса, а также повышает его надежность вследствие допустимости больших зазоров между центральным ротором и корпусом.

Claims (1)

1. Формула изобретени 

   Вакуумный молекул рный насос, содержащий корпус с входным и выходным патрубками, размещенный в корпусе центральный ротор, снабженный по меньшей мере одним кольцевым пазом, и расположенную в последнем уплотнительную вставку, закрепленную на корпусе между патрубками, отличающийс  тем, что, с целью улучшени  откачных характеристик и повышени  надежности, насос дополнительно содержит внешний ротор, охватывающий центральный ротор, корпус, центральный и внешний роторы выполнены сферическими, оси вращени  последних расположены взаимно перпендикул рно , причем внешний ротор снабжен осевыми окнами и винтовыми канавками , выполненными на его внешней и внутренней поверхност х, входной и выходной патрубки размещены диаметрально противоположно на оси, совпадающей с осью вращени  внешнего ротора , а уплотнительна  вставка снабжена шевронными выступами, выполненными на ее поверхности, обращенной к кольцевому пазу центрального ротора , и плоской перегородкой, установленной со стороны выходного патрубка, при этом вершины шевронных выступов направлены к плоской перегородке.

   1537896

   А-А

   Фиг. 2.

   Б - б развернуто