SU1523906A1 - Scanning interferometer - Google Patents
Scanning interferometer Download PDFInfo
- Publication number
- SU1523906A1 SU1523906A1 SU874338280A SU4338280A SU1523906A1 SU 1523906 A1 SU1523906 A1 SU 1523906A1 SU 874338280 A SU874338280 A SU 874338280A SU 4338280 A SU4338280 A SU 4338280A SU 1523906 A1 SU1523906 A1 SU 1523906A1
- Authority
- SU
- USSR - Soviet Union
- Prior art keywords
- plates
- angle
- interferometer
- path difference
- branches
- Prior art date
Links
Landscapes
- Instruments For Measurement Of Length By Optical Means (AREA)
Abstract
Изобретение относитс к измерительной технике и может быть использовано в оптических приборах, в частности в Фурье-спектрометрах видимого и ближнего ИК-диапазонов. Цель изобретени - увеличение разрешающей способности достигаетс за счет увеличени максимальной сканируемой разности хода пучков в ветв х интерферометра. Пучок света делитс светоделителем 1, формиру две ветви интерферометра. Пучки света, пройд через соответствующие плоскопараллельные пластинки 3 и 4, установленные под углом α друг к другу на вращающемс основании 5, отражаютс плоским отражателем 2 и по тому же пути возвращаютс на светоделитель 1. Фотоприемник 6 регистрирует сигнал, получаемый в результате интерференции двух пучков. Сканирование разности хода осуществл етс путем вращени основани 5. Угол α между пластинками 3 и 4 выбираетс , исход их параметров пластинок (толщины L и показател преломлени H), заданной максимальной разности хода Δ и заданного диапазона изменени углов Θ падени лучей на пластинки с помощью выражени Α = Δ/ L (1-1/H)Θ. 1 ил.The invention relates to a measurement technique and can be used in optical devices, in particular in Fourier transform spectrometers of the visible and near IR ranges. The purpose of the invention is to increase the resolution capability by increasing the maximum scanned path difference in the branches of the interferometer. The beam of light is divided by a beam splitter 1, forming two branches of the interferometer. The light beams, having passed through the corresponding plane-parallel plates 3 and 4, mounted at an angle α to each other on the rotating base 5, are reflected by the flat reflector 2 and are returned to the beam splitter 1 along the same path. The photodetector 6 records the signal resulting from the interference of two beams. The scan of the path difference is performed by rotating the base 5. The angle α between the plates 3 and 4 is selected based on the parameters of the plates (thickness L and refractive index H) given the maximum path difference Δ and the specified range of variation of the angles Θ of the rays on the plates using the expression Α = Δ / L (1-1 / H) Θ. 1 il.
Description
елate
NDND
СдЭ СО ОSde SO O
о:about:
Изобрете1ше относитс к измерительной технике и может быть использовано в оптических приборах, в частности в Фурье-спектрометрах видимого и ближнего ИК-диапазонов.The invention relates to measurement technology and can be used in optical devices, in particular, in the Fourier transform spectrometers of the visible and near IR ranges.
Целью изобретени вл етс увеличение разрешающей способности, I На чертеже представлена схема сканирующего интерферометра. I Интерферометр состоит из источника |Света (не показан), светоделител 1, плоского отражател 2, плоскопарал- лельных пластин 3 и 4, установленных под углом (Х одна к другой на ос- новании 5, установленном с возможностью вращени вокруг оси, перпендикул рной плоскости распространени лучей, и фотоприемника 6, а угол (X .определен из соотношени The aim of the invention is to increase the resolution, I The drawing shows a scanning interferometer scheme. I The interferometer consists of a source | Light (not shown), a beam splitter 1, a flat reflector 2, plane-parallel plates 3 and 4, mounted at an angle (X to one another on the base 5, installed with the possibility of rotation around an axis perpendicular to the beam propagation plane, and the photodetector 6, and the angle (X is determined from the ratio
unV unV
о about
где / - заданна разность хода лучейwhere / is the specified path difference of the rays
интерферометра;interferometer;
1 - толщина пластин; п - показатели преломлени материала пластин;1 - plate thickness; n - the refractive indices of the material of the plates;
в - заданное максимальное значение утла поворота пластин. Интерферометр работает следующим образом.в - specified maximum value of the plate rotation angle. The interferometer works as follows.
Световой пучок от источника падает на светоделитель 1 и делитс на два параллельных пучка. Оба пучка проход т через узел сканировани , . состо щий их плоскопараллельных пластин 3 и 4, установленных под углом о( одна к другой на вращающемс основании 5. Световой пучок, падающий на плоскопараллельную пластину (например , 3) под углом б , приобретает разность хода (в) (по сравнению с ), определ емую выражениемThe light beam from the source falls on the beam splitter 1 and is divided into two parallel beams. Both beams pass through the scan node,. the plane-parallel plates 3 and 4 arranged at an angle o (one to the other on a rotating base 5). The light beam incident on the plane-parallel plate (for example, 3) at an angle b acquires a path difference (c) (compared to), defined by the expression
6(6) - 1 созб- (п-1)6 (6) - 1 sob- (p-1)
где 1 - толщина пластины;where 1 is the plate thickness;
п - показатель преломлени материала пластины; б - угол падени луча на пластину .n is the refractive index of the plate material; b - the angle of incidence of the beam on the plate.
При малых углах падени (б 0,5 р это вьфажение преобразуетс к видуAt small angles of incidence (b 0.5 p, this elevation is converted to
д(6) -(1 - )е.d (6) - (1 -) e.
Дл того, чтобы обеспечивалось сканирование разности хода по ли« j In order to provide a scan of the difference in stroke by j
00
нейному закону, во вторую ветвь ин- терферометра введена втора плоскопараллельна пластина (например, 4) котора повернута по отношению к первой на угол о(. При этом результирующа разность хода определ етс как разность Ь(ВО - /(Э,) где 0,, б-г - углы падени лучей на пластины 3 и 4 в первой и второй ветв х соответственно . Причем 0, 0,2 Тогда разность хода лучей в ветв х интерферометра определ етс выражениемTo the second law of the interferometer, a second plane-parallel plate is inserted (for example, 4) which is rotated with respect to the first by an angle o (. At the same time, the resulting path difference is defined as the difference b (BO - / (E,) where 0, bd are the angles of incidence of the rays on the plates 3 and 4 in the first and second branches x, respectively, 0, 0.2 Then the path difference of the rays in the branches x of the interferometer is determined by the expression
А(0)(1 - )oi(2.),A (0) (1 -) oi (2.),
Из этого вьфажени определ етс угол о( между плоскопараллельными пластинами в зависимости от заданных параметров толщины и показател пре- ломпени пластинок 1 и п соответственно , максимальной разности хода и заданного диапазона изменени углов & падени From this outflow, the angle o is determined (between plane-parallel plates depending on the thickness parameters set and the preference index of the plates 1 and n, respectively, the maximum path difference and the specified range of variation of the angles &
..
1(1 - -)е1 (1 - -) e
oioi
Ска НИР OB aim.-, разности хода осуществл етс путем вращени основани 5.Scope NIR OB aim .-, the path difference is performed by rotating the base 5.
Claims (1)
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
SU874338280A SU1523906A1 (en) | 1987-12-07 | 1987-12-07 | Scanning interferometer |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
SU874338280A SU1523906A1 (en) | 1987-12-07 | 1987-12-07 | Scanning interferometer |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
SU1523906A1 true SU1523906A1 (en) | 1989-11-23 |
Family
ID=21340167
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
SU874338280A SU1523906A1 (en) | 1987-12-07 | 1987-12-07 | Scanning interferometer |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
SU (1) | SU1523906A1 (en) |
-
1987
- 1987-12-07 SU SU874338280A patent/SU1523906A1/en active
Non-Patent Citations (1)
Title |
---|
За вка FR № 2447537, кл. G 01 В 9/02, 1980. * |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US5583638A (en) | Angular michelson interferometer and optical wavemeter based on a rotating periscope | |
JPS5483854A (en) | Measuring device | |
US7440108B2 (en) | Imaging spectrometer including a plurality of polarizing beam splitters | |
US4893024A (en) | Apparatus for measuring the thickness of a thin film with angle detection means | |
SU1523906A1 (en) | Scanning interferometer | |
US4105335A (en) | Interferometric optical phase discrimination apparatus | |
JPS5483853A (en) | Measuring device | |
CN1693861A (en) | Ultrashort pulse frequency resolution optical switching method measuring device | |
JP2005500526A (en) | Spectroscopic measurement method and apparatus for carrying out the method (deformation) | |
US2647434A (en) | Interferometer using liquid mirrors | |
SU411356A1 (en) | ||
SU1695145A1 (en) | Ellipsometer | |
SU1067449A1 (en) | Two-dimensional signal spatial spectrum coherent optical analyzer | |
SU1099097A1 (en) | Scanning interferometer | |
SU1612273A1 (en) | Interference resolution meter | |
SU1483286A1 (en) | Interference spectral instrument | |
JPS55140102A (en) | Measuring device for flatness of inspected plane glass | |
CN2837804Y (en) | Ultrashort pulse frequency resolution optical switching method measuring device | |
RU2207526C1 (en) | Spectrometry method and interferometer for performing the same (variants) | |
SU422948A1 (en) | ||
SU559127A1 (en) | Dual beam photometer | |
SU1268947A1 (en) | Interferometer of rotational shift | |
SU1383108A1 (en) | Spectrophotometer | |
SU1046622A1 (en) | Spectrophotometer lighting device | |
SU765648A1 (en) | Contact-free interferometer |