SU1523906A1 - Scanning interferometer - Google Patents

Scanning interferometer Download PDF

Info

Publication number
SU1523906A1
SU1523906A1 SU874338280A SU4338280A SU1523906A1 SU 1523906 A1 SU1523906 A1 SU 1523906A1 SU 874338280 A SU874338280 A SU 874338280A SU 4338280 A SU4338280 A SU 4338280A SU 1523906 A1 SU1523906 A1 SU 1523906A1
Authority
SU
USSR - Soviet Union
Prior art keywords
plates
angle
interferometer
path difference
branches
Prior art date
Application number
SU874338280A
Other languages
Russian (ru)
Inventor
Акиф Маил Оглы Мамедов
Александр Алексеевич Соколовский
Original Assignee
Институт Радиотехники И Электроники Ан Ссср
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Институт Радиотехники И Электроники Ан Ссср filed Critical Институт Радиотехники И Электроники Ан Ссср
Priority to SU874338280A priority Critical patent/SU1523906A1/en
Application granted granted Critical
Publication of SU1523906A1 publication Critical patent/SU1523906A1/en

Links

Landscapes

  • Instruments For Measurement Of Length By Optical Means (AREA)

Abstract

Изобретение относитс  к измерительной технике и может быть использовано в оптических приборах, в частности в Фурье-спектрометрах видимого и ближнего ИК-диапазонов. Цель изобретени  - увеличение разрешающей способности достигаетс  за счет увеличени  максимальной сканируемой разности хода пучков в ветв х интерферометра. Пучок света делитс  светоделителем 1, формиру  две ветви интерферометра. Пучки света, пройд  через соответствующие плоскопараллельные пластинки 3 и 4, установленные под углом α друг к другу на вращающемс  основании 5, отражаютс  плоским отражателем 2 и по тому же пути возвращаютс  на светоделитель 1. Фотоприемник 6 регистрирует сигнал, получаемый в результате интерференции двух пучков. Сканирование разности хода осуществл етс  путем вращени  основани  5. Угол α между пластинками 3 и 4 выбираетс , исход  их параметров пластинок (толщины L и показател  преломлени  H), заданной максимальной разности хода Δ и заданного диапазона изменени  углов Θ падени  лучей на пластинки с помощью выражени  Α = Δ/ L (1-1/H)Θ. 1 ил.The invention relates to a measurement technique and can be used in optical devices, in particular in Fourier transform spectrometers of the visible and near IR ranges. The purpose of the invention is to increase the resolution capability by increasing the maximum scanned path difference in the branches of the interferometer. The beam of light is divided by a beam splitter 1, forming two branches of the interferometer. The light beams, having passed through the corresponding plane-parallel plates 3 and 4, mounted at an angle α to each other on the rotating base 5, are reflected by the flat reflector 2 and are returned to the beam splitter 1 along the same path. The photodetector 6 records the signal resulting from the interference of two beams. The scan of the path difference is performed by rotating the base 5. The angle α between the plates 3 and 4 is selected based on the parameters of the plates (thickness L and refractive index H) given the maximum path difference Δ and the specified range of variation of the angles Θ of the rays on the plates using the expression Α = Δ / L (1-1 / H) Θ. 1 il.

Description

елate

NDND

СдЭ СО ОSde SO O

о:about:

Изобрете1ше относитс  к измерительной технике и может быть использовано в оптических приборах, в частности в Фурье-спектрометрах видимого и ближнего ИК-диапазонов.The invention relates to measurement technology and can be used in optical devices, in particular, in the Fourier transform spectrometers of the visible and near IR ranges.

Целью изобретени   вл етс  увеличение разрешающей способности, I На чертеже представлена схема сканирующего интерферометра. I Интерферометр состоит из источника |Света (не показан), светоделител  1, плоского отражател  2, плоскопарал- лельных пластин 3 и 4, установленных под углом (Х одна к другой на ос- новании 5, установленном с возможностью вращени  вокруг оси, перпендикул рной плоскости распространени  лучей, и фотоприемника 6, а угол (X .определен из соотношени The aim of the invention is to increase the resolution, I The drawing shows a scanning interferometer scheme. I The interferometer consists of a source | Light (not shown), a beam splitter 1, a flat reflector 2, plane-parallel plates 3 and 4, mounted at an angle (X to one another on the base 5, installed with the possibility of rotation around an axis perpendicular to the beam propagation plane, and the photodetector 6, and the angle (X is determined from the ratio

unV unV

о about

где / - заданна  разность хода лучейwhere / is the specified path difference of the rays

интерферометра;interferometer;

1 - толщина пластин; п - показатели преломлени  материала пластин;1 - plate thickness; n - the refractive indices of the material of the plates;

в - заданное максимальное значение утла поворота пластин. Интерферометр работает следующим образом.в - specified maximum value of the plate rotation angle. The interferometer works as follows.

Световой пучок от источника падает на светоделитель 1 и делитс  на два параллельных пучка. Оба пучка проход т через узел сканировани , . состо щий их плоскопараллельных пластин 3 и 4, установленных под углом о( одна к другой на вращающемс  основании 5. Световой пучок, падающий на плоскопараллельную пластину (например , 3) под углом б , приобретает разность хода (в) (по сравнению с ), определ емую выражениемThe light beam from the source falls on the beam splitter 1 and is divided into two parallel beams. Both beams pass through the scan node,. the plane-parallel plates 3 and 4 arranged at an angle o (one to the other on a rotating base 5). The light beam incident on the plane-parallel plate (for example, 3) at an angle b acquires a path difference (c) (compared to), defined by the expression

6(6) - 1 созб- (п-1)6 (6) - 1 sob- (p-1)

где 1 - толщина пластины;where 1 is the plate thickness;

п - показатель преломлени  материала пластины; б - угол падени  луча на пластину .n is the refractive index of the plate material; b - the angle of incidence of the beam on the plate.

При малых углах падени  (б 0,5 р это вьфажение преобразуетс  к видуAt small angles of incidence (b 0.5 p, this elevation is converted to

д(6) -(1 - )е.d (6) - (1 -) e.

Дл  того, чтобы обеспечивалось сканирование разности хода по ли« j In order to provide a scan of the difference in stroke by j

00

нейному закону, во вторую ветвь ин- терферометра введена втора  плоскопараллельна  пластина (например, 4) котора  повернута по отношению к первой на угол о(. При этом результирующа  разность хода определ етс  как разность Ь(ВО - /(Э,) где 0,, б-г - углы падени  лучей на пластины 3 и 4 в первой и второй ветв х соответственно . Причем 0, 0,2 Тогда разность хода лучей в ветв х интерферометра определ етс  выражениемTo the second law of the interferometer, a second plane-parallel plate is inserted (for example, 4) which is rotated with respect to the first by an angle o (. At the same time, the resulting path difference is defined as the difference b (BO - / (E,) where 0, bd are the angles of incidence of the rays on the plates 3 and 4 in the first and second branches x, respectively, 0, 0.2 Then the path difference of the rays in the branches x of the interferometer is determined by the expression

А(0)(1 - )oi(2.),A (0) (1 -) oi (2.),

Из этого вьфажени  определ етс  угол о( между плоскопараллельными пластинами в зависимости от заданных параметров толщины и показател  пре- ломпени  пластинок 1 и п соответственно , максимальной разности хода и заданного диапазона изменени  углов & падени From this outflow, the angle o is determined (between plane-parallel plates depending on the thickness parameters set and the preference index of the plates 1 and n, respectively, the maximum path difference and the specified range of variation of the angles &

..

1(1 - -)е1 (1 - -) e

oioi

Ска НИР OB aim.-, разности хода осуществл етс  путем вращени  основани  5.Scope NIR OB aim .-, the path difference is performed by rotating the base 5.

Claims (1)

Формула изобретени Invention Formula Сканирующий интерферометр, содержащий последовательно установленные источник света, светоделитель, отражатель и фотоприемник, отличающийс  тем, что, с целью увеличени  разрешающей способности, он снабжен основанием, установленным с возможностью вращени  вокруг своей оси, перпендикул рной плоскости распространени  лучей, и двум  идентичными плоскопараллельными пластинами , установленными под углом { одна к к другой так, что кажда  пластина размещена в одной из ветвей интерферометра , а угол р определен из соотношени A scanning interferometer containing a successively installed light source, a beam splitter, a reflector and a photodetector, characterized in that, in order to increase the resolution, it is provided with a base mounted rotatably around its axis perpendicular to the plane of propagation of beams, and two identical plane-parallel plates, set at an angle {one to the other so that each plate is placed in one of the branches of the interferometer, and the angle p is determined from the ratio 1(1-1)01 (1-1) 0 где - заданна  разность хода лучей интерферометра;where is the specified path difference of the interferometer rays; 1 - толщина пластин;1 - plate thickness; п - показатель преломлени  материала пластин;n is the refractive index of the material of the plates; 6 - заданное максимальное значение угла поворота пластин.6 - the specified maximum value of the angle of rotation of the plates.
SU874338280A 1987-12-07 1987-12-07 Scanning interferometer SU1523906A1 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU874338280A SU1523906A1 (en) 1987-12-07 1987-12-07 Scanning interferometer

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU874338280A SU1523906A1 (en) 1987-12-07 1987-12-07 Scanning interferometer

Publications (1)

Publication Number Publication Date
SU1523906A1 true SU1523906A1 (en) 1989-11-23

Family

ID=21340167

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
SU874338280A SU1523906A1 (en) 1987-12-07 1987-12-07 Scanning interferometer

Country Status (1)

Country Link
SU (1) SU1523906A1 (en)

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
За вка FR № 2447537, кл. G 01 В 9/02, 1980. *

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US5583638A (en) Angular michelson interferometer and optical wavemeter based on a rotating periscope
JPS5483854A (en) Measuring device
US7440108B2 (en) Imaging spectrometer including a plurality of polarizing beam splitters
US4893024A (en) Apparatus for measuring the thickness of a thin film with angle detection means
SU1523906A1 (en) Scanning interferometer
US4105335A (en) Interferometric optical phase discrimination apparatus
JPS5483853A (en) Measuring device
CN1693861A (en) Ultrashort pulse frequency resolution optical switching method measuring device
JP2005500526A (en) Spectroscopic measurement method and apparatus for carrying out the method (deformation)
US2647434A (en) Interferometer using liquid mirrors
SU411356A1 (en)
SU1695145A1 (en) Ellipsometer
SU1067449A1 (en) Two-dimensional signal spatial spectrum coherent optical analyzer
SU1099097A1 (en) Scanning interferometer
SU1612273A1 (en) Interference resolution meter
SU1483286A1 (en) Interference spectral instrument
JPS55140102A (en) Measuring device for flatness of inspected plane glass
CN2837804Y (en) Ultrashort pulse frequency resolution optical switching method measuring device
RU2207526C1 (en) Spectrometry method and interferometer for performing the same (variants)
SU422948A1 (en)
SU559127A1 (en) Dual beam photometer
SU1268947A1 (en) Interferometer of rotational shift
SU1383108A1 (en) Spectrophotometer
SU1046622A1 (en) Spectrophotometer lighting device
SU765648A1 (en) Contact-free interferometer