SU1099097A1

SU1099097A1 - Scanning interferometer

Info

Publication number: SU1099097A1
Application number: SU833571995A
Authority: SU
Inventors: Леонид Григорьевич Матвеев
Original assignee: Калининский Ордена Трудового Красного Знамени Политехнический Институт
Priority date: 1983-04-07
Filing date: 1983-04-07
Publication date: 1984-06-23

Abstract

1. СКАНИРУЮЩИЙ ИНТЕРФЕРОМЕТР, содержащий установленные по ходу светового пучка пары сканирующих подвижных и неподвижных полупрозрачных зеркал, формирующих интерференционные максимумы пропускани в промежутках , образованных рабочими плоскост ми зеркал, и выходную диафрагму,о т личающийс тем, что, с целью увеличени светосилы и разрешающей способности, между парами полупрозрачных зеркал установлена система отклонени световых пучков, расположенна так, что вход щий в нее и выход щий из нее световые пучки перпендикул рны рабочим плоскост м зеркал , а центр выходной диафрагмы установлен в центре интерференционной картины. со о .ко 1. SCANNING INTERFEROMETER containing pairs of scanning movable and fixed semi-transparent mirrors installed along the light beam, forming interference maximums of transmission in the intervals formed by the working planes of the mirrors, and output aperture, which is expected to increase luminosity and resolution , between the pairs of translucent mirrors, a system of deflection of light beams is installed, arranged so that the light beams entering and leaving it are perpendicular to the working m planes of the mirrors, and the center of the output aperture is set in the center of the interference pattern. with about.

Description

2. Интерферометр по п.1, отличающийс тем, что система отклонени световых пучков вьшолнена в виде последовательно установленных по ходу светового пучка нризм. 10990 97 3. Интерферометр по п.1, отличающийс тем, что система отклонени световых пучков вьшолнена в виде последовательно установленньпс по ходу светового пучка призмы и зеркала, 2. An interferometer according to claim 1, characterized in that the system of deflection of the light beams is implemented in the form of the Nrism successively installed along the light beam. 10990 97 3. The interferometer according to claim 1, characterized in that the deflection system of the light beams is implemented in the form of sequentially installed along the light beam of the prism and the mirror,

1one

Изобретение относитс к оптико-интерференционным средствам измерени и предназначено дл исследований спектрального состава оптических излучений . ,The invention relates to optical interference measurement instruments and is intended to study the spectral composition of optical radiation. ,

Известны интерферометры,, представл ющие собой два сопр женных эталона Фабри-Пероразной толщины (мультиплексы ) 1 J,Interferometers are known, which are two conjugated Fabry-Perifaceous reference standards (multiplexes) 1 J,

Недостатком таких интерферометров вл етс отсутствие сканировани спектра, что ограничивает возможности применени чувствительных методов регистрации.The disadvantage of such interferometers is the absence of spectrum scanning, which limits the possibilities of using sensitive detection methods.

Наиболее близким к изобретению по технической сущности и достигаемому результату вл етс сканирующий интерферометр, содержащий уст новленные по ходу светового пучка пары сканируемых подвижных и неподвижных полупрозрачных зеркал, формирующих интерференционные максимумы пропускани в промежутках, образованных рабочими плоскост ми зеркал, и выходную диафрагму 2.The closest to the invention in technical essence and the achieved result is a scanning interferometer containing pairs of scanned moving and fixed translucent mirrors installed along the light beam, forming transmission interference peaks in the intervals formed by the working planes of the mirrors and the output aperture 2.

Недостатком известного интерферометра вл етс мала светосила и низка разрешающа способность, обусловленные тем, что оптические оси световых пучков в нем не перпендикул рны отражающим поверхност м зеркал и не одинаковы углы падени лучей на отдельные рабочие помежутки. Это приво дит к потер м света, так как на центр круглой выходной диафрагмы интерферометра не попадает излучение, соответствующее центрам интерференционных максимумов отдельных промежутков. Поэтому в нем ограничены углы меж,п;у плоскост ми рабочих промежутков и их толщины, определ ющие величину разрешающей способности.The disadvantage of the known interferometer is the low aperture and low resolution, due to the fact that the optical axes of the light beams in it are not perpendicular to the reflecting surfaces of the mirrors and the angles of incidence of the rays on the individual working points are not the same. This leads to a loss of light, since the radiation corresponding to the centers of the interference maxima of individual gaps does not fall on the center of the circular output aperture of the interferometer. Therefore, it limits the angles between, η; and the planes of the working gaps and their thicknesses, which determine the magnitude of the resolution.

Целью изобретени вл етс увеличение светосилы и разрешающей способности интерферометра.The aim of the invention is to increase the luminosity and resolution of the interferometer.

Поставленна цель достигаетс тем, что в сканирующем интерферометре, содержащем установленные по ходу светового пучка пары сканирующих подвижных и неподвижных полупрозрачных зеркал , формирующих интерференционные максимумы пропускани в промежутках, образованных рабочими плоскост ми зеркал, и выходную диафрагму, между парами полупрозрачных зеркал установлена система отклонени световых пучков, расположенна так, что вход щий в нее и выход щий из нее световые пучки перпендикул рны рабочим плоскост м зеркал, а центр выходной диафрагмы установлен в центре интерференционной картины.The goal is achieved by the fact that in a scanning interferometer containing pairs of scanning movable and fixed translucent mirrors installed along the light beam, which form interference interference peaks in the gaps formed by the working planes of the mirrors and the output aperture, a system of deflection of light beams is established between the pairs of semi-transparent mirrors is located so that the light beams entering and leaving it are perpendicular to the working planes of the mirrors, and the center of the output diaphragm agmy set in the center of the interference pattern.

этом система отклонени световых пучков может быть выполнена в виде последовательно установленных по ходу светового пучка призм или призмы и зеркала. Thereby, the deflection system of the light beams can be made in the form of prisms or prisms and mirrors arranged in series along the light beam.

На фиг.1 приведена схема интерферометра с отклон ющей системой, выполненной в виде двух преломл ющих клиньев, образованных прозрачными подложками зеркал, на фиг.2,- схема неселективной отклон кицей системы с двум отражател ми, в качестве ко- торых можно использовать зеркала, призмы полного внутреннего отражени .Figure 1 is a diagram of an interferometer with a deflecting system made in the form of two refracting wedges formed by transparent substrates of mirrors; figure 2 is a diagram of a non-selective deflection of a system with two reflectors as mirrors, prisms of total internal reflection.

Интерферометр содержит неподвижную пару зеркал 1 и 2, неподвижную нижнюю плиту 3, подвижную пару зеркал с призмами 4 и 5, подвижную верхнюю плиту 6з з-еркала 7, призму 8 и выходную диафрагму 9.The interferometer contains a fixed pair of mirrors 1 and 2, a fixed lower plate 3, a movable pair of mirrors with prisms 4 and 5, a movable upper plate 6 from 3 mirrors 7, a prism 8 and an output diaphragm 9.

Зеркала 1 и 2 установлены на неподвижной нижней плите 3 параллелограммных направл ющих. Зеркала 4 и 5 установлены на подвижной верхней плите 6, св занной с нижней плоскими пружинами, усиленными в средней части накладками. Тангенсы углов f и между отражающими поверхност ми зерMirrors 1 and 2 are mounted on a fixed bottom plate 3 parallelogram rails. Mirrors 4 and 5 are mounted on a movable top plate 6 associated with lower flat springs reinforced with pads in the middle. Tangents of angles f and between reflective surfaces

Claims

1. A SCANNING INTERFEROMETER containing pairs of scanning moving and fixed semitransparent mirrors installed along the light beam, forming interference transmission maxima in the gaps formed by the working planes of the mirrors, and an output diaphragm, characterized in that, in order to increase the aperture ratio and allow the resolution ability, between pairs of translucent mirrors a system of deflecting light beams is installed, located so that the light beams entering and leaving it are perpendicular to the working plane bones of mirrors, and the center of the output aperture is set in the center of the interference pattern.

2. The interferometer according to claim 1, characterized in that the system for deflecting light beams is made in the form of prisms sequentially installed along the light beam. ·

3. The interferometer according to claim 1, characterized in that the system from the inclination of the light beams is made in the form of a prism and a mirror sequentially installed along the light beam.