SU1499109A1 - Устройство дл записи интерферограмм - Google Patents
Устройство дл записи интерферограмм Download PDFInfo
- Publication number
- SU1499109A1 SU1499109A1 SU874301700A SU4301700A SU1499109A1 SU 1499109 A1 SU1499109 A1 SU 1499109A1 SU 874301700 A SU874301700 A SU 874301700A SU 4301700 A SU4301700 A SU 4301700A SU 1499109 A1 SU1499109 A1 SU 1499109A1
- Authority
- SU
- USSR - Soviet Union
- Prior art keywords
- branches
- plane
- parallel
- interferograms
- focusing
- Prior art date
Links
Landscapes
- Investigating Or Analysing Materials By Optical Means (AREA)
Abstract
Изобретение относитс к контрольно-измерительной технике и может быть использовано дл измерени характеристик светочувствительных материалов. Целью изобретени вл етс повышение производительности за счет одновременной регистрации р да интерферограмм с измен ющейс экспозицией. Дл этого с помощью плоскопараллельных пластин 6 и 9, расположенных между плоскими зеркалами 5, 8 и системами 7 и 10 фокусировки и расхождени световых пучков соответственно в каждой из ветвей интерферометра, формируют р д параллельных пучков с измен ющейс интенсивностью, которые фокусируют и расшир ют на светочувствительный материал 11 посредством цилиндрических линз 10 и 13, 14, образующих соответственно оптические системы расхождени и фокусировки излучени . 1 ил.
Description
149
ИчсГфетение стноситс к контроль- но-измрритрль шй технике, а именно к интерферометрам, и может быть ис- польчовано л-п измерени характеристик светочувствительных материален .
Цель изобретени - повышение нро- изнодительности за счет одновременной регистрпнии р да интерферограмм с измен ющейс ло геометрической прогрессии гжспозицией,
На чертеже приведена оптическа схема устрспЧстпа дл записи интерферограмм .
Устройство дл записи интегрферо- грамм содержит когерентный источник 1 света, узел 2 делени светового пучка на две ветви с полупрозрачным зеркалом 3 и зеркалом 4, плоское зеркало 5, плоскопараллельную пластину 6, цилиндрическую оптическую систему 7 фокусировки светового пучка р одной ветви, плоское зеркало 8, плоскопараллельную пластину 9, цилиндрическую оптическую систему 10 расхождени пучка в другой ветви, установленные с возможностью совместного поворота относительно линии 00 пересечени плоскостей главных сечений обеих ветвей, и держатель 11 светочувствительного материала, выполненный с возможностью поворота относительно оси, параллельной линии пересечени плоскостей главных сечений ветвей до положени 12. Цилиндрическа оптическа система 10 расхождени светового пучка выполнена, например , из одной дву ковогнутой цилиндрической линзы, а цилиндрическа оптическа система 7 фокусировки светового пучка выполнена, например, из двух цилиндрических линз, из которых одна линза 13 дво ковогнута , а друга линза 14 - дво ковыпукла . Образующие гг.илиндрических линз оптических систем 10 и 7 расхождени и фокусировки световых пучков расположены одна параллельно другой и плоскости отражени световых пучков введенных EI устройство плоскопарал- лельнмх пластин 6 и 9,
Устр(йстно работает следующим образом .
Световой поток от когерентного ncT(.-1 1 спета раздел етс и узле 2 д( лрпми ; нетов(го пучка на две нртпч ih |г ;)(. дстром иолупрозрачнот О терка-т.ч и черклла 4, а затем плос
0
5
0
5
0
5
0
5
0
.1
КИМ зеркалом 5 направл етс на плоскопараллельную лластину 6 и плоским зеркалом 8 на плоскопараллельную пластину 9, Работа введеных в устройство плоскопараллельных пластин заключаетс в том, что в результате многократных отражений и преломлений света на поверхност х пластинки формируетс множество нараллельн1,1х и равносто щих один от другого пучков. Интенсивность каждого последующего пучка, выход щего из пластинки, меньше интенсивности предыдущего и уменьшаетс с увеличением пор дкового номера пучка по геометрической прогрессии . Множество пучков, выход щих из двух плоскопараллельцых пластин, получаютс из однот-о пучка, идущего от источника 1, следовательно, они когерентны, т.е. световые волны, идущие от двух плоскопараллельных пластин, при сведении вместе интерферируют .
Таким образом,на выходе плоскопараллельных пластин 6 и 9 образуютс два р да световых пучков с измен ю- и имис по геометрической прогрессии интенсивност ми, из которых один р д пучков, проход цилиндрическую оптическую систему 10 расхождени , преобразуетс в р д с расход щимис световыми пучками, а другой р д пучков, пройд цилиндрическую оптическую систему 7 фокусировки, преобразуетс в р д со сход щимис световыми пучками так, что начала расхождени световых пучков одного р да и места схождени пучков второго р да расположены симметрично относи- тельно поверхности светочувствительного материала.
Сформированные таким образом два р да световых пучков соответственно совмещаютс в плоскости фотоматериала , где регистрируетс р д интерферограмм с экспозицией, измен ющейс по геометрической прс грессии, и с периодами интерференционных полос в диапазоне от
2 sinCe/ -II) ° 2sinU+U)
где d и d 2
период интерференционных полос;
долина волны излучени когерентного источника света;
ci - угол Циклона осеного пучка;
и - аг1ертуриь1Й угол расход щегос (или сход щегос ) пучка.
Установка нужного диапазона пространственных частот интерферограмм осуществл етс coBNfecTHbiM поворотом оптических элементов обеих ветвей и узла делени светового пучка относительно линии 00 так, что если изменение угла наклона осевого луча выполнено на величину 4d 2U в сторону увеличени (уменьшени ), то сама низка (высига ) частота, котора запишетс при этой установке равна наиболее высокой (низкой) частоте предыдущей установки. При повороте держател 11 светочувствительного мате.риала в положение 12 регистрируетс максимальна пространственна частота на данной длине волны излучени ncTOMFniKa 1 , так как пучки при этом образуют угол 180° и направлены один навстречу другому При экспонировании любого диапазона пространственных частот на фотоматериале регистрируетс р д интерферограмм с измен ю1дейс по геометрической прогрессии экспозипией и поэтому с одного экспонировани на фотоматериале регистрируетс интерферограм ма с заданными пространственными частотами и с набором экспозиций, достаточными дл определени характеристик фотоматериалов, благодар чему повышаетс производительность работы устройства, сокра1чаетс рас0
5
0
ход фотоматериала и повышаетс точность измерени1 |.
Claims (1)
- Скорость записи интерферограмм увеличиваетс около дес ти раз, так как в среднем по дес ть различных ЭКСПОЗИ1ДИЙ записываетс за одно экспот1ирование. Формула изобретениУстройство дл записи интерферограмм , содержащее когерентный источник света, узел делени светового пучка на две ветви в виде плоских зеркал, одно из которых полупрозрачное , плоское зеркало с оптической системой расхр легти светового пучка в одной ветви, плоское зеркало с оптической системой фокусировки пучка в другой ветви, обе ветви выполнены с возможностью совместного поворота относительно линии пересечени плоскостей главных сечений обеих ветвей, и держатель светочув- ствитс.льного материала, о т л и - 5 чающеес тем, что, с целью повышени производительности записи, оно снабжено двум плоскопараллельными пластинами, расположенными между плоским зеркалом и оптической системой соответственно в каждой из ветвей, оптические системы расхождени и фокусировки световых пучков выполнены в виде гщлиндрических линз и установлены так, что образующие цилиндрических линз параллельны одна другой, а плоскопараллельные пластины ориентированы так, что их плоскости отражени световых пучков параллельны образхтощим цилинпр ких линз.05
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
SU874301700A SU1499109A1 (ru) | 1987-09-07 | 1987-09-07 | Устройство дл записи интерферограмм |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
SU874301700A SU1499109A1 (ru) | 1987-09-07 | 1987-09-07 | Устройство дл записи интерферограмм |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
SU1499109A1 true SU1499109A1 (ru) | 1989-08-07 |
Family
ID=21326094
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
SU874301700A SU1499109A1 (ru) | 1987-09-07 | 1987-09-07 | Устройство дл записи интерферограмм |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
SU (1) | SU1499109A1 (ru) |
-
1987
- 1987-09-07 SU SU874301700A patent/SU1499109A1/ru active
Non-Patent Citations (1)
Title |
---|
Авторское свидетельство СССР 757843. кл. G 01 В 9/02, 1980. * |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
SU1499109A1 (ru) | Устройство дл записи интерферограмм | |
US4693604A (en) | Interference method and interferometer for testing the surface precision of a parabolic mirror | |
US4115008A (en) | Displacement measuring apparatus | |
SU756192A1 (ru) | ИНТЕРФЕРОМЕТР Д И ПЛОСКОСТНОСТИ :я контроля прямолинейности поверхности ОБЪЕКТА 1 | |
JPH05500853A (ja) | ガラス管壁の厚さを決定するための方法及び装置 | |
SU1343242A1 (ru) | Интерферометр дл контрол формы сферических поверхностей | |
SU1000745A1 (ru) | Интерферометр дл контрол вогнутых цилиндрических поверхностей | |
SU1364866A1 (ru) | Интерференционное устройство дл измерени угловых перемещений | |
SU1504497A1 (ru) | Устройство дл измерени линейных размеров и формы элементов на плоских объектах с дифракционными тестовыми структурами | |
SU1399644A1 (ru) | Устройство дл многократных отражений в двухлучевом интерферометре | |
SU1315799A1 (ru) | Устройство дл измерени линейных перемещений | |
SU1744452A1 (ru) | Интерферометр дл контрол плоскостности отражающих поверхностей | |
SU1612273A1 (ru) | Интерференционный резольвометр | |
RU1789851C (ru) | Устройство дл контрол толщины плоских объектов | |
SU1758421A1 (ru) | Способ определени профил поверхности диффузно отражающих объектов и устройство дл его осуществлени | |
SU1486792A1 (ru) | Устройство для записи интерферограмм | |
SU1315794A1 (ru) | Нуль-индикатор | |
SU1326879A1 (ru) | Интерферометр | |
SU1633272A1 (ru) | Интерферометр | |
SU1293486A1 (ru) | Устройство дл контрол качества телескопических оптических систем | |
SU529362A1 (ru) | Интеферометр дл исследовани качества поверхностей и аберраций крупногабаритных оптических элементов и прозрачных неоднород ностей | |
SU1499111A1 (ru) | Устройство дл измерени линейных перемещений | |
SU1755240A1 (ru) | Способ настройки устройства дл записи голограммных дифракционных решеток на вогнутых подложках | |
RU2047085C1 (ru) | Интерферометр для измерения перемещений двухкоординатного стола | |
SU1267193A1 (ru) | Устройство дл контрол качества поверхности зеркала |