SU1499109A1 - Устройство дл записи интерферограмм - Google Patents

Устройство дл записи интерферограмм Download PDF

Info

Publication number
SU1499109A1
SU1499109A1 SU874301700A SU4301700A SU1499109A1 SU 1499109 A1 SU1499109 A1 SU 1499109A1 SU 874301700 A SU874301700 A SU 874301700A SU 4301700 A SU4301700 A SU 4301700A SU 1499109 A1 SU1499109 A1 SU 1499109A1
Authority
SU
USSR - Soviet Union
Prior art keywords
branches
plane
parallel
interferograms
focusing
Prior art date
Application number
SU874301700A
Other languages
English (en)
Inventor
Николай Михайлович Михайлов
Павел Михайлович Подвигалкин
Original Assignee
Предприятие П/Я Г-4671
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Предприятие П/Я Г-4671 filed Critical Предприятие П/Я Г-4671
Priority to SU874301700A priority Critical patent/SU1499109A1/ru
Application granted granted Critical
Publication of SU1499109A1 publication Critical patent/SU1499109A1/ru

Links

Landscapes

  • Investigating Or Analysing Materials By Optical Means (AREA)

Abstract

Изобретение относитс  к контрольно-измерительной технике и может быть использовано дл  измерени  характеристик светочувствительных материалов. Целью изобретени   вл етс  повышение производительности за счет одновременной регистрации р да интерферограмм с измен ющейс  экспозицией. Дл  этого с помощью плоскопараллельных пластин 6 и 9, расположенных между плоскими зеркалами 5, 8 и системами 7 и 10 фокусировки и расхождени  световых пучков соответственно в каждой из ветвей интерферометра, формируют р д параллельных пучков с измен ющейс  интенсивностью, которые фокусируют и расшир ют на светочувствительный материал 11 посредством цилиндрических линз 10 и 13, 14, образующих соответственно оптические системы расхождени  и фокусировки излучени . 1 ил.

Description

149
ИчсГфетение стноситс  к контроль- но-измрритрль шй технике, а именно к интерферометрам, и может быть ис- польчовано л-п  измерени  характеристик светочувствительных материален .
Цель изобретени  - повышение нро- изнодительности за счет одновременной регистрпнии р да интерферограмм с измен ющейс  ло геометрической прогрессии гжспозицией,
На чертеже приведена оптическа  схема устрспЧстпа дл  записи интерферограмм .
Устройство дл  записи интегрферо- грамм содержит когерентный источник 1 света, узел 2 делени  светового пучка на две ветви с полупрозрачным зеркалом 3 и зеркалом 4, плоское зеркало 5, плоскопараллельную пластину 6, цилиндрическую оптическую систему 7 фокусировки светового пучка р одной ветви, плоское зеркало 8, плоскопараллельную пластину 9, цилиндрическую оптическую систему 10 расхождени  пучка в другой ветви, установленные с возможностью совместного поворота относительно линии 00 пересечени  плоскостей главных сечений обеих ветвей, и держатель 11 светочувствительного материала, выполненный с возможностью поворота относительно оси, параллельной линии пересечени  плоскостей главных сечений ветвей до положени  12. Цилиндрическа  оптическа  система 10 расхождени  светового пучка выполнена, например , из одной дву ковогнутой цилиндрической линзы, а цилиндрическа  оптическа  система 7 фокусировки светового пучка выполнена, например, из двух цилиндрических линз, из которых одна линза 13 дво ковогнута , а друга  линза 14 - дво ковыпукла . Образующие гг.илиндрических линз оптических систем 10 и 7 расхождени  и фокусировки световых пучков расположены одна параллельно другой и плоскости отражени  световых пучков введенных EI устройство плоскопарал- лельнмх пластин 6 и 9,
Устр(йстно работает следующим образом .
Световой поток от когерентного ncT(.-1 1 спета раздел етс  и узле 2 д( лрпми ; нетов(го пучка на две нртпч ih |г ;)(. дстром иолупрозрачнот О терка-т.ч и черклла 4, а затем плос
0
5
0
5
0
5
0
5
0
.1
КИМ зеркалом 5 направл етс  на плоскопараллельную лластину 6 и плоским зеркалом 8 на плоскопараллельную пластину 9, Работа введеных в устройство плоскопараллельных пластин заключаетс  в том, что в результате многократных отражений и преломлений света на поверхност х пластинки формируетс  множество нараллельн1,1х и равносто щих один от другого пучков. Интенсивность каждого последующего пучка, выход щего из пластинки, меньше интенсивности предыдущего и уменьшаетс  с увеличением пор дкового номера пучка по геометрической прогрессии . Множество пучков, выход щих из двух плоскопараллельцых пластин, получаютс  из однот-о пучка, идущего от источника 1, следовательно, они когерентны, т.е. световые волны, идущие от двух плоскопараллельных пластин, при сведении вместе интерферируют .
Таким образом,на выходе плоскопараллельных пластин 6 и 9 образуютс  два р да световых пучков с измен ю- и имис  по геометрической прогрессии интенсивност ми, из которых один р д пучков, проход  цилиндрическую оптическую систему 10 расхождени , преобразуетс  в р д с расход щимис  световыми пучками, а другой р д пучков, пройд  цилиндрическую оптическую систему 7 фокусировки, преобразуетс  в р д со сход щимис  световыми пучками так, что начала расхождени  световых пучков одного р да и места схождени  пучков второго р да расположены симметрично относи- тельно поверхности светочувствительного материала.
Сформированные таким образом два р да световых пучков соответственно совмещаютс  в плоскости фотоматериала , где регистрируетс  р д интерферограмм с экспозицией, измен ющейс  по геометрической прс грессии, и с периодами интерференционных полос в диапазоне от
2 sinCe/ -II) ° 2sinU+U)
где d и d 2
период интерференционных полос;
долина волны излучени  когерентного источника света;
ci - угол Циклона осеного пучка;
и - аг1ертуриь1Й угол расход щегос  (или сход щегос ) пучка.
Установка нужного диапазона пространственных частот интерферограмм осуществл етс  coBNfecTHbiM поворотом оптических элементов обеих ветвей и узла делени  светового пучка относительно линии 00 так, что если изменение угла наклона осевого луча выполнено на величину 4d 2U в сторону увеличени  (уменьшени ), то сама  низка  (высига ) частота, котора  запишетс  при этой установке равна наиболее высокой (низкой) частоте предыдущей установки. При повороте держател  11 светочувствительного мате.риала в положение 12 регистрируетс  максимальна  пространственна  частота на данной длине волны излучени  ncTOMFniKa 1 , так как пучки при этом образуют угол 180° и направлены один навстречу другому При экспонировании любого диапазона пространственных частот на фотоматериале регистрируетс  р д интерферограмм с измен ю1дейс  по геометрической прогрессии экспозипией и поэтому с одного экспонировани  на фотоматериале регистрируетс  интерферограм ма с заданными пространственными частотами и с набором экспозиций, достаточными дл  определени  характеристик фотоматериалов, благодар  чему повышаетс  производительность работы устройства, сокра1чаетс  рас0
5
0
ход фотоматериала и повышаетс  точность измерени1 |.

Claims (1)

  1. Скорость записи интерферограмм увеличиваетс  около дес ти раз, так как в среднем по дес ть различных ЭКСПОЗИ1ДИЙ записываетс  за одно экспот1ирование. Формула изобретени 
    Устройство дл  записи интерферограмм , содержащее когерентный источник света, узел делени  светового пучка на две ветви в виде плоских зеркал, одно из которых полупрозрачное , плоское зеркало с оптической системой расхр легти  светового пучка в одной ветви, плоское зеркало с оптической системой фокусировки пучка в другой ветви, обе ветви выполнены с возможностью совместного поворота относительно линии пересечени  плоскостей главных сечений обеих ветвей, и держатель светочув- ствитс.льного материала, о т л и - 5 чающеес  тем, что, с целью повышени  производительности записи, оно снабжено двум  плоскопараллельными пластинами, расположенными между плоским зеркалом и оптической системой соответственно в каждой из ветвей, оптические системы расхождени  и фокусировки световых пучков выполнены в виде гщлиндрических линз и установлены так, что образующие цилиндрических линз параллельны одна другой, а плоскопараллельные пластины ориентированы так, что их плоскости отражени  световых пучков параллельны образхтощим цилинпр ких линз.
    0
    5
SU874301700A 1987-09-07 1987-09-07 Устройство дл записи интерферограмм SU1499109A1 (ru)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU874301700A SU1499109A1 (ru) 1987-09-07 1987-09-07 Устройство дл записи интерферограмм

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU874301700A SU1499109A1 (ru) 1987-09-07 1987-09-07 Устройство дл записи интерферограмм

Publications (1)

Publication Number Publication Date
SU1499109A1 true SU1499109A1 (ru) 1989-08-07

Family

ID=21326094

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
SU874301700A SU1499109A1 (ru) 1987-09-07 1987-09-07 Устройство дл записи интерферограмм

Country Status (1)

Country Link
SU (1) SU1499109A1 (ru)

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
Авторское свидетельство СССР 757843. кл. G 01 В 9/02, 1980. *

Similar Documents

Publication Publication Date Title
SU1499109A1 (ru) Устройство дл записи интерферограмм
US4693604A (en) Interference method and interferometer for testing the surface precision of a parabolic mirror
US4115008A (en) Displacement measuring apparatus
SU756192A1 (ru) ИНТЕРФЕРОМЕТР Д И ПЛОСКОСТНОСТИ :я контроля прямолинейности поверхности ОБЪЕКТА 1
JPH05500853A (ja) ガラス管壁の厚さを決定するための方法及び装置
SU1343242A1 (ru) Интерферометр дл контрол формы сферических поверхностей
SU1000745A1 (ru) Интерферометр дл контрол вогнутых цилиндрических поверхностей
SU1364866A1 (ru) Интерференционное устройство дл измерени угловых перемещений
SU1504497A1 (ru) Устройство дл измерени линейных размеров и формы элементов на плоских объектах с дифракционными тестовыми структурами
SU1399644A1 (ru) Устройство дл многократных отражений в двухлучевом интерферометре
SU1315799A1 (ru) Устройство дл измерени линейных перемещений
SU1744452A1 (ru) Интерферометр дл контрол плоскостности отражающих поверхностей
SU1612273A1 (ru) Интерференционный резольвометр
RU1789851C (ru) Устройство дл контрол толщины плоских объектов
SU1758421A1 (ru) Способ определени профил поверхности диффузно отражающих объектов и устройство дл его осуществлени
SU1486792A1 (ru) Устройство для записи интерферограмм
SU1315794A1 (ru) Нуль-индикатор
SU1326879A1 (ru) Интерферометр
SU1633272A1 (ru) Интерферометр
SU1293486A1 (ru) Устройство дл контрол качества телескопических оптических систем
SU529362A1 (ru) Интеферометр дл исследовани качества поверхностей и аберраций крупногабаритных оптических элементов и прозрачных неоднород ностей
SU1499111A1 (ru) Устройство дл измерени линейных перемещений
SU1755240A1 (ru) Способ настройки устройства дл записи голограммных дифракционных решеток на вогнутых подложках
RU2047085C1 (ru) Интерферометр для измерения перемещений двухкоординатного стола
SU1267193A1 (ru) Устройство дл контрол качества поверхности зеркала