SU1487619A1 - Способ измерения толщины диэлектрических покрытий на подложках в процессе осаждения - Google Patents
Способ измерения толщины диэлектрических покрытий на подложках в процессе осажденияInfo
- Publication number
- SU1487619A1 SU1487619A1 SU4327274/28A SU4327274A SU1487619A1 SU 1487619 A1 SU1487619 A1 SU 1487619A1 SU 4327274/28 A SU4327274/28 A SU 4327274/28A SU 4327274 A SU4327274 A SU 4327274A SU 1487619 A1 SU1487619 A1 SU 1487619A1
- Authority
- SU
- USSR - Soviet Union
- Prior art keywords
- deposition process
- dielectric coatings
- substrates
- measurement
- electrolyte
- Prior art date
Links
Landscapes
- Measurement Of Length, Angles, Or The Like Using Electric Or Magnetic Means (AREA)
- Length Measuring Devices With Unspecified Measuring Means (AREA)
Abstract
Способ измерения толщины диэлектрических покрытий на подложках в процессе осаждения, заключающийся в том, что строят анодную поляризационную кривую контролируемой структуры в электролите при заданной скорости увеличения потенциала подложки, находят пороговое напряжение, соответствующее началу линейного участка на указанной кривой, по которому определяют толщину слоя, отличающийся тем, что, с целью повышения точности измерения, построение анодной поляризационной кривой проводят при скорости увеличения потенциала подложки от 0,2 до 12 В/с в электролите с электропроводностью от 50 до 400 мкСм/см.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
SU4327274/28A SU1487619A1 (ru) | 1987-11-09 | 1987-11-09 | Способ измерения толщины диэлектрических покрытий на подложках в процессе осаждения |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
SU4327274/28A SU1487619A1 (ru) | 1987-11-09 | 1987-11-09 | Способ измерения толщины диэлектрических покрытий на подложках в процессе осаждения |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
SU1487619A1 true SU1487619A1 (ru) | 2001-06-10 |
Family
ID=60519855
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
SU4327274/28A SU1487619A1 (ru) | 1987-11-09 | 1987-11-09 | Способ измерения толщины диэлектрических покрытий на подложках в процессе осаждения |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
SU (1) | SU1487619A1 (ru) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
RU2540239C1 (ru) * | 2013-10-17 | 2015-02-10 | Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Уфимский государственный авиационный технический университет" | Способ определения толщины покрытия в ходе процесса плазменно-электролитического оксидирования |
RU2611632C2 (ru) * | 2015-05-28 | 2017-02-28 | Акционерное общество "Кумертауское авиационное производственное предприятие" | Способ определения толщины покрытия в ходе процесса твердого анодирования |
-
1987
- 1987-11-09 SU SU4327274/28A patent/SU1487619A1/ru active
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
RU2540239C1 (ru) * | 2013-10-17 | 2015-02-10 | Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Уфимский государственный авиационный технический университет" | Способ определения толщины покрытия в ходе процесса плазменно-электролитического оксидирования |
RU2611632C2 (ru) * | 2015-05-28 | 2017-02-28 | Акционерное общество "Кумертауское авиационное производственное предприятие" | Способ определения толщины покрытия в ходе процесса твердого анодирования |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
IT1083003B (it) | Prodotto polimerico e procedimento per il rivestimento elettrolitico catodico di substrati conduttivi | |
ATE8664T1 (de) | Elektrolytischen sauerstoff verwendende enzymelektrode. | |
BE869269A (fr) | Procede de placage in situ d'un revetement actif sur les cathodes de cellules d'electrolyse | |
ES2015906B3 (es) | Limpieza electrolitica selectiva de recubrimientos de metal de sustratos con metal base. | |
KR890005666A (ko) | 일렉트로레스 도금조를 제어하는 방법(a process for controlling an electroless plating bath) | |
IT1115626B (it) | Processo di lavorazione per il deposito di sottili pellicole complanari | |
EP0030227A3 (en) | Method and apparatus for electrolytically treating a metal strip | |
IT1165978B (it) | Metodo per il controllo del deposito elettrolitico di zinco | |
SU1487619A1 (ru) | Способ измерения толщины диэлектрических покрытий на подложках в процессе осаждения | |
ATE32383T1 (de) | Verfahren zur messung des elektrischen widerstandes von unter dem einfluss eines plasmas hergestellten, duennen, metallischen schichten waehrend ihrer herstellung. | |
IT8119522A0 (it) | Procedimento per la produzione elettrolitica di idrogeno. | |
IT1096309B (it) | Processo per la produzione di un film vetroso elettricamente isolante su acciaio silicico | |
FR2325084A1 (fr) | Procede d'elimination du bioxyde d'etain ou du bioxyde d'indium | |
DE3674529D1 (de) | Verfahren zur bestimmung der zeit bis zum elektrischen spannungsdurchbruch einer isolierenden duennen schicht. | |
JPS5710224A (en) | Forming method for silicone single crystalline film | |
FR2238249A1 (en) | Metallic nitride conductor layers on semiconductor - for improved compat-ability with substrate | |
SU627190A1 (ru) | Устройство дл нанесени гальванических покрытий | |
DE59302602D1 (de) | Verfahren zum elektrolytischen Ätzen | |
BR8900131A (pt) | Processo para a producao de uma tira de aco eletro-galvanizada em um so lado,em uma linha de revestimento;e linha de eletro-galvanizacao | |
SE9602817L (sv) | Metod för att erhålla en hög ytfinhet på titanbaserade beläggningar genom elektropoleringsteknik | |
JPS6450944A (en) | Chemical sensitive field effect transistor | |
GB815208A (en) | Improvements in or relating to the manufacture of transistors and other semi-conductor devices | |
SU148700A1 (ru) | Способ травлени германи | |
SE7811836L (sv) | Beleggningsbad for kataforetisk beleggning av ytan hos elektriskt ledande substrat | |
JPS54141494A (en) | Wire-cut electric discharge machining method |