SU147576A1 - Способ получени монокристаллических дисков большого диаметра - Google Patents

Description

Известны способы получени  мококристаллических дисков большого диаметра. Однако технологи  при этом требует громоздкой аппаратуры , больших мощностей нагрева и дополнительных механических операций. В .процессе резки имеютс  значительные потери материала.

Предлагаемый способ отличаетс  тем, что получение каждого из монокристаллических дисков производитс  непосредственно выращиванием его из расплава с помощью цилиндрической затравки заданной толщины, закрепленной в горизонтально расположенном держателе, непрерывно поворачивающемс  вокруг своей оси в процессе роста монокристалла за счет непрерывного опускани  тигл  с расплавом со скоростью роста.

Способ повьипает экономичность, упроща  технологию процесса, а также улучшает качество дисков за счет снижени  величин остаточных напр жений.

При осуществлении способа устанавливают на подвижной подставке тигель с кристаллизуемым веществом в двухсекционную электрическую печь (одна секци  служит дл  плавлени  вещества и поддержани  заданной температуры в зоне кристаллизации, друга -дл  поддержани  температуры в зоне выращиваемого кристалла). Затравку в виде диска или цилиндра заданной толщины закрепл ют в кристаллодержателе . После того, как вещество в тигле расплавитс , а затравка примет соответствующую температуру, включают механизм вращени  кристаллодержател  с затравкой.

С помощью подъемного механизма тигель подвод т к затравке до соприкосновени  ее с расплавом. Во избежание образовани  двойников затравку оплавл ют перед началом кристаллизации. Дл  этого темпе ратуру расплава поддерживают выше температуры плавлени  кристаллизуемого вещества на- 100° (дл  щелочногалоидных) и на 15° дл 

147576-2органических кристаллов (типа толана, нафталина и др-)- После оплавлени  затравки температуру в зоне кристаллизации снижают (дл  шелочногалоидных кристаллов температуру устанавливают на выше температуры плавлени , а дл  органических - на 5-8°). По мере роста кристалла с помощью подъемного механизма автоматически поддерживают касание растущего кристалла с поверхностью расплава. ПО достижении необходимого диаметра кристалла тигель с оставшимс  расплавом опускают, а готовый кристалл перенос т в печь дл  отжига.

Предмет изобретени 

Способ получени  монокристаллических дисков большого, диаметра , отличающийс  тем, что, с целью повышени  экономичности и упрощени  технологии процесса, а также улучшени  качества дисков за счет снижени  величин остаточных напр жений, получение каждого из монокристаллических дисков производитс  непосредственным выращиванием его из расплава с помощью цилиндрической затравки заданной толщины, закрепленной в горизонтально расположенном держателе, непрерывно поворачивающемс  вокруг своей оси в процессе роста монокристалла за счет непрерывного опускани  тнгл  с расплавом со скоростью роста.