SU139375A1

SU139375A1 - Multi-pull high vacuum discharge pump

Info

Publication number: SU139375A1
Application number: SU692175A
Authority: SU
Inventors: Э.М. Рейхрудель; Г.В. Смирницкая; Г.В. Смирницка
Original assignee: Э.М. Рейхрудель; Г.В. Смирницка
Priority date: 1961-01-10
Filing date: 1961-01-10
Publication date: 1961-11-30

Description

Известные многопучковые высоковакуумные газоразр дные насосы с разр дной трубкой, имеющей холодные катоды и сетчатые аноды, обладают малой действующей-поверхностью электродов и плохими услови ми ионизации в разр дных промежутках.The known multi-beam high-vacuum gas-discharge pumps with a discharge tube having cold cathodes and mesh anodes have a small effective electrode surface and poor ionization conditions in the discharge gaps.

Описываемый насос, свободный от указанных недостатков, отличаетс от известных тем, что разр дна трубка выполнена с двум сетчатыми анодами и трем плоскими катодами, один из которых расположен в плоскости симметрии между анодами и вместе с последними образует два разр дных промежутка в общем магнитном зазоре.The described pump, free from the indicated drawbacks, differs from the known ones in that the discharge tube is made with two mesh anodes and three flat cathodes, one of which is located in the plane of symmetry between the anodes and together with the latter forms two discharge gaps in the common magnetic gap.

На чертеже изображен общий вид многопучкового высоковакуумного газоразр дного насоса, состо щего из катодной коробки 1, двух сетчатых анода 2, крыщки 5 коробки, вывода анода 4, изол тора 5 и перехода 6.The drawing shows a general view of a multi-beam high vacuum discharge pump consisting of a cathode box 1, two mesh anodes 2, a lid 5 of the box, an anode output 4, an isolator 5 and a junction 6.

Анодное напр жение в насосе посто нное, магнитное поле создаетс либо посто нными магнитами, либо электромагнитом. В объеме между плоскост ми катодов электроны совершают колебательное и вращательное движение, пока не произойдет соударение с молекулами газа . Образуюпшес ионы перемещаютс вдоль силовых линий электрического и магнитного полей к катодам и вызывают интенсивное катодное распыление.The anodic voltage in the pump is constant, the magnetic field is created either by permanent magnets or by an electromagnet. In the volume between the cathode planes, the electrons oscillate and rotate until a collision occurs with the gas molecules. The formed ions move along the electric and magnetic field lines to the cathodes and cause intense cathode sputtering.

Распыл ющийс металл оседает на стенках трубки и поверхности анода, поглоща при этом газ. Скорость действи насоса при заданных электрическом и магнитном пол х пропорционально числу газоразр дных пучков, так как при этом увеличиваетс рабоча поверхность катода и поверхность апода.The sputtered metal is deposited on the walls of the tube and on the surface of the anode, while absorbing gas. The speed of the pump at a given electric and magnetic fields is proportional to the number of gas discharge beams, as this increases the working surface of the cathode and the surface of the apode.

Предмет изобретени Subject invention

Многопучковый высоковакуумный газоразр дный насос с разр дной трубкой, имеющей холодные катоды и сетчатые аноды, отл ича ющ и и с тем, что, с целью увеличени действующих поверхностей электродов и улучшени условий ионизации в разр дных промежутках, разф дна трубка выполнена с двум сетчатыми анодами и трем плоскими катодами, один из которых расположен в плоскости симметрии между анодами и вместе с последними образует два разр дных промежутка в общем магнитном зазоре.Multi-beam high vacuum discharge pump with discharge tube having cold cathodes and mesh anodes, which also differs from the fact that, in order to increase the effective surfaces of the electrodes and improve the ionization conditions in the discharge gaps, the bottom tube is made with two mesh anodes and three flat cathodes, one of which is located in the plane of symmetry between the anodes and together with the latter forms two discharge gaps in the total magnetic gap.

Н -J.H -J.