SU139306A1 - Способ тонкой очистки плавиковой кислоты - Google Patents
Способ тонкой очистки плавиковой кислотыInfo
- Publication number
- SU139306A1 SU139306A1 SU681144A SU681144A SU139306A1 SU 139306 A1 SU139306 A1 SU 139306A1 SU 681144 A SU681144 A SU 681144A SU 681144 A SU681144 A SU 681144A SU 139306 A1 SU139306 A1 SU 139306A1
- Authority
- SU
- USSR - Soviet Union
- Prior art keywords
- hydrofluoric acid
- fine purification
- impurities
- coal
- hydrofluoric
- Prior art date
Links
Landscapes
- Investigating Or Analyzing Non-Biological Materials By The Use Of Chemical Means (AREA)
- Sampling And Sample Adjustment (AREA)
Description
Плавикова кислота, примен ема при изготовлении полупроводниковых устройств и дл анализа исходных материалов, используемых в полупроводниковой технике, должна быть в максимальной степени свободна от самых ничтожных следов примесей посторонних веществ. Особое значение имеет чи-стота плавиковой кислоты, примен емой дл удалени основного вещества при анализе кремнп и кремнесодержащих соединений, с пелыо концентрировани примесей при спектральном анал-изе.
Перегонка плавиковой кислоты марки «особо чиста А в стандартном платиновом аппарате с кубом емкостью 500 мл не дает достаточно тонкой ее оч-истки. Только после трехкратной перегонки в этом аппарате, плавикова кислота содержит ( в вес. %): фосфора- 1,10 , алюмини -1,, кальци - 1,10 , а примеси меди, железа и титана ве обнаружены.
Предложенный новый более простой и более соверщенный способ тонкой очистки плавиковой кислоты фильтрацией через активный уголь, заключаетс в том, что плавиковую кислоту фильтруют при температуре не Еыше 5° через слой сорбционного угл , приготовленного термическим разложением перекристаллизованной са.харозы, затем подвергнутого активированию углекислотой при нагревании и очищенного от адсорбированной окиси углерода нагреванием под вакуумом .
Сущность описанного метода состоит в. том, что охлажденный до 2-5° водный 40%-ный раствор плавиковой кислоты фильтруют через колонку, заполненную активированным углем. При этом предпочтительнее примеси, присутствующие в плавиковой кислоте, сорбируютс углем. Процесс продолжают до насыщени сорбента примес ми, после чего он подлежит замене или регенера ции.
Пример. Перекристгллизованную сахарозу Л1арки «химическичиста термическим разложением в кварцевых чашах при 800° обугливают и полученный уголь при 900° активируют углекислым газом. Затем уголь подвергают нагреванию в вакууме дл оч.истки от адсорбированной окиси углерода. Полученный таким способом активированный уголь содержит (в весовых %): железа - 1.10, титана - 2.iO, кальци -1.10, примесей А1, V, Mg, Мп, Си, Ni, Sn, Sb, Pb, Та, Zn, Ag и Cr не обнаружено.
Во фторопластовую колонку диаметром 15 мм и высотой 1 м набивают акгив ированный уголь, полученный выше описанным способом и измельченный до 50 меш.
Через описанную колонку со скоростью 7 мл/час см, при температуре + 5° фильтруют предварительно охлажденную плавиковую кислоту . Первую фракцию кислоты в количестве 100 мл отбрасывают.
По данным спектрального анализа исходна и очищенна плавиковые кислоты содержат следующие кол:ичества примесей (см. табл.).
Таблица
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| SU681144A SU139306A1 (ru) | 1960-10-04 | 1960-10-04 | Способ тонкой очистки плавиковой кислоты |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| SU681144A SU139306A1 (ru) | 1960-10-04 | 1960-10-04 | Способ тонкой очистки плавиковой кислоты |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| SU139306A1 true SU139306A1 (ru) | 1960-11-30 |
Family
ID=48295400
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| SU681144A SU139306A1 (ru) | 1960-10-04 | 1960-10-04 | Способ тонкой очистки плавиковой кислоты |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| SU (1) | SU139306A1 (ru) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4936955A (en) * | 1988-08-12 | 1990-06-26 | Alameda Instruments, Inc. | Hydrofluoric acid reprocessing for semiconductor standards |
| US4980032A (en) * | 1988-08-12 | 1990-12-25 | Alameda Instruments, Inc. | Distillation method and apparatus for reprocessing sulfuric acid |
| US5061348A (en) * | 1988-08-12 | 1991-10-29 | Alameda Instruments | Sulfuric acid reprocessor with continuous purge of second distillation vessel |
-
1960
- 1960-10-04 SU SU681144A patent/SU139306A1/ru active
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4936955A (en) * | 1988-08-12 | 1990-06-26 | Alameda Instruments, Inc. | Hydrofluoric acid reprocessing for semiconductor standards |
| US4980032A (en) * | 1988-08-12 | 1990-12-25 | Alameda Instruments, Inc. | Distillation method and apparatus for reprocessing sulfuric acid |
| US5061348A (en) * | 1988-08-12 | 1991-10-29 | Alameda Instruments | Sulfuric acid reprocessor with continuous purge of second distillation vessel |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US2971607A (en) | Method for purifying silance | |
| US4482761A (en) | Bulk separation of inositol and sorbitol by selective adsorption on zeolitic molecular sieves | |
| RU2003117430A (ru) | Способ ажслоюционного раздедения с извлечением пара-ксилола | |
| SU139306A1 (ru) | Способ тонкой очистки плавиковой кислоты | |
| US2822304A (en) | Sugar treatment | |
| GB788276A (en) | A process for the purification of phthalic acids | |
| JPS5871868A (ja) | 羅漢果の甘味物質を精製する方法 | |
| DE2331668C2 (de) | Verfahren zur Reinigung von Sorbinsäure | |
| US2442804A (en) | Purification of sirups by solvent extraction | |
| US2833824A (en) | Purification of n, n'-diphenyl-p-phenylenediamine | |
| EP0275855B1 (fr) | Procédé de purification du benzène | |
| US2472912A (en) | Method of drying alcohols | |
| US3024264A (en) | Separation of trialkyl borate-alcohol mixtures | |
| SU322042A1 (ru) | Способ очистки госсипола | |
| SU504705A1 (ru) | Способ получени кристаллического азотнокислого серебра | |
| JPH0335910B2 (ru) | ||
| US2571237A (en) | Adsorption separation of zirconium and hafnium | |
| US3850967A (en) | Purification of benzophenone tetracarboxylic dianhydride using a silica containing adsorbent | |
| WO1982001720A1 (en) | Fat refining | |
| SU169793A1 (ru) | Способ очистки теллура | |
| JPS5266684A (en) | Purification and separation of 2-keto-l-glonic acid | |
| AT213845B (de) | Verfahren zur Entfernung borhaltiger Verunreinigungen aus Silan | |
| US4132733A (en) | Process for the manufacture of an addition compound of sorbic acid and potassium sorbate (potassium disorbate) | |
| SU386898A1 (ru) | Способ очистки алифатических спиртов | |
| GB1415427A (en) | Process for obtaining high-purity cyclopentene |