SU138797A1 - Способ бесконтактного измерени профил полированных асферических поверхностей вращени - Google Patents

Description

Известны способы бесконтактного измерени  профил  полированных асферических поверхностей вращени  по автоколлимационному или обычному отражению от них светового луча, однако с помощью таких способов невозможен контроль поверхностей с больщим относительным отверстием.

В описываемом способе дл  обеспечени  контрол  поверхностей с больщим относительным отверстием проектирующий объектив поворачивают относительно его фокальной точки.

На чертеже изображена схема устройства, предназначенного дл  осуществлени  способа.

Способ бесконтрольного измерени  профил  полированных асферических поверхностей вращени  состоит в том, что луч света от источника / через конденсор 2 и щель 5 попадает на зеркало 4, отразивщись, от которого , он проходит через объективы 5 и б и, вторично отразивщись от зеркала 7, дает в фокальной точке 8 полированной выпуклой поверхности 9, например гинерболоидной, изображение щели 5. Отраженное от поверхности изображение щели будет находитьс  в точке 10. При наличии на поверхности какого-либо дефекта отраженное изображение щели не попадет в точку 10, а окажетс  смещенным. Оценива  это смещение по щкале // при помощи окул ра 12, определ ют величину дефекта. Зеркало 7 сделано полупрозрачным дл  того, чтобы исключить виньетирование отраженного пучка лучей.

При контролировании поверхностей с больщим относительным отверстием проектирующую оптическую систему поворачивают относительно фокальной точки 8, при этом поверхность, щкалу и окул р оставл ют неподвижными. В этом случае оценку поверхности получают суммированием результатов измерени  отдельных ее участков. Возможно применение нескольких проектирующих оптических систем, при вращении которых ведут одновременное или последовательное изйерение нескольких параллельных сечений поверхности.

При измерении вогнутых полированных асферических поверхностей источник света или щель помещают непосредственно в фокальную точку поверхности, котора  в данном случае будет действительной, а не мнимой , и вместо автоколлимационного отражени  светового луча используют его действительное отражение.

Описываемый способ позвол ет повысить производительность труда при контроле, создать предпосылки дл  его автоматизации и получать очень высокую точность измерений, достигающую 0,5-1,0 мк.

Предмет изобретени 

Способ бесконтактного измерени  профил  полированных асферических поверхностей вращени  по автоколлимационному или обычному отражению от них светового луча, отличающийс  тем, что, с целью обеспечени  контрол  поверхностей с больщим относительным отверстием , -проектирующий объектив поворачивают относительно его фокальной точки.