SU1359638A1 - Устройство дл визуального контрол цилиндрических образцов - Google Patents

Устройство дл визуального контрол цилиндрических образцов Download PDF

Info

Publication number
SU1359638A1
SU1359638A1 SU817772124A SU7772124A SU1359638A1 SU 1359638 A1 SU1359638 A1 SU 1359638A1 SU 817772124 A SU817772124 A SU 817772124A SU 7772124 A SU7772124 A SU 7772124A SU 1359638 A1 SU1359638 A1 SU 1359638A1
Authority
SU
USSR - Soviet Union
Prior art keywords
cylindrical
samples
rolls
specimens
rus
Prior art date
Application number
SU817772124A
Other languages
English (en)
Inventor
Малц Дитрих
Дрехслер Вальтер
Original Assignee
Феб Карл Цейс-Йена (Инопредприятие)
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Феб Карл Цейс-Йена (Инопредприятие) filed Critical Феб Карл Цейс-Йена (Инопредприятие)
Application granted granted Critical
Publication of SU1359638A1 publication Critical patent/SU1359638A1/ru

Links

Landscapes

  • Crystals, And After-Treatments Of Crystals (AREA)
  • Investigating Strength Of Materials By Application Of Mechanical Stress (AREA)
  • Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)

Abstract

Изобретение относитс  к средствам дл  визуального контрол  цилиндрических образцов. Целью изобретени   вл етс  повышение производительности контрол  за счет улучшени  обзорности. Устройство содержит несколько  русов принудительно вращаемых , горизонтально расположенных валков и средства загрузки образцов на каждый из  русов. Принудительное вращение валков позвол ет осматривать всю нарз,гжнун) цилиндрическую поверхность образцов. Дл  осмотра второго торца образцов один из  русов механизма загрузки снабжен средством поворота вокруг вертикальной оси. 1 3.п. ф-лы, 2 ил. СО ел со О5 (pi/s.

Description

1
10
15
20
30
Изобретение относитс  к средствам изуального контрол , а икенно к риспособлени м дл  визуального контол  образцов.
Известны устройства дл  контрол  илиндрических образцов, содержащие основание, V-образные гнезда и рычажный механизм загрузки (Патент ФРГ 2653370, кл G 01 В 5/02, 1977).
Недостатком этих устройств  вл ет  ограниченность обзора поверхностей , поскольку часть контролируемых поверхностей перекрыта V-образными гнездами.
Наиболее близким техническим решением  вл етс  устройство дл  визуаль-- ного контрол  образцов, содержащее узел транспортировани  образцов, вы- полненньй в виде горизонтально расположенных , принудительно вращаемых валков, и узел загрузки (Патент ФРГ W 2621238, кл. G 01 В 11/04, 1977),
Недостатком этого устройства  вл етс  ограниченность обзора вследствие Г5 частичного взаимного перекрыти  образцов и трудность обзора торца, удаленного от наблюдател . Эти недостатки снижают производительность контрол ,
Целью изобретени   вл етс  повыше; ние производительности контрол .
На фиг 1 схематически изображено устройство дл  визуального контрол  цилиндрических образцов, вид сбоку;; на фиг, 2 - то же, вид спереди.
Устройство дл  визуального контрол  цилиндрических образцов содержит узел транспортировани  образцов, вь;-- полненньй в виде горизонтально-подвижного корпуса 1 с принудительно вращаемыми цилиндрическими валками 2, расположенными в несколько  русовj и. узел 4 загрузки, выполненный в ввде вертикально-подвижной каретки 3 с У образными гнездами 6 дл  контролируемых образцов. Валки верхнего  руса могут быть невращаег-ами. Валки каждого нижележащего  руса выступают за торец вьшележащего на величинуg несколько превышающую длину контролируемого образца 5, а V-образные гнезда размещены в соответствии с расположением торцов валков. Емрина V--o6-- разных гнезд выбрана такой,, чтобы обеспечить их прохождение между валками . V-образные гнезда одного или нескольких  русов могут быть выполнены поворотными вокруг вертикальной
&г,
50
10
15
20
30
Г5
596382
оси. в згстройстве (фиг. 1 и 2) поворотными выполнены гнезда 7 верхнего  руса. В каждом  русе может быть размещено несколько идентичных валков (в данном устройстве четыре) и несколько V-образных гнезд (три). Устройство целесообразно использовать совместно с автоматизированным каналом сортировки (не показан) и клавиатурой управлени  с матрично расположенными клавишами с числом строк и столбцов, равным соответственно числу  русов и числу V-образных гнезд в какодом  русе.
Устройство дл  визуального контро- |л  цилиндрических образцов работает следующим образом,
В исходном положении корпус 1 узла транспортировани  образцов находитс  в крайнем левом (фиг. 1) положении , а каретка 3 механизма 4 загрузки - в крайнем нижнем.
Контролируемые образцы 5 устанавливают на цилиндрические валки 2 верхнего  руса, после чего включают один цикл работы устройства. В течение этого цикла корпус 1 перемещаетс  в крайнее правое положение, а каретка 3 - в верхнее. При этом контролируемые образцы будут подн ты с валков и размест тс  в V-образных гнездах 6, .после чего корпус 1 вернетс  в-крайнее левое положение.
Визуальное наблюдение осуществл ют по стрелке А, что позвол ет контролеру наблюдать торец образца и
часть его периферии. В следующем I
цикле загрузки каретка перемещаетс  вниз, установив ранее загруженные образцы на валки среднего  руса, а на валки верхнего  руса загружаютс  новые образцы. В каждом последующем цикле происходит перегрузка контролируемых образцов на валки и V-об- разные гнезда ншкeлeжaDJ;eгo  руса. Из V-образных гнезд 6 нижнего  руса кoнтpoлиpye ыe образцы попадают в канал сортировки. Благодар  тому, что ваг. среднего и нижнего  русов выполнены поворотными, образцы, устанавливаемые на каждьш нижележащий  рус, повернз ты вокруг своей оси на некоторый угол (предпочтительно 180 )s что позвол ет контролеру обозреть те части поверхности, которые были недоступны наблюдению в вьше- лежащем  русе. Если необходи1 ю осматривать оба торца, то используют
&г,
50
3
поворотные V-абразныегнезда (см, поз.7) ,
Если контролер заметит на одном из обозреваемых образцов дефект поверхности (или кромки), то он долж нажать на матричной клавиатуре ту клавишу, позици  которой соответствует позиции расположени  забракованной детали. Электрическа  схема механизма сортировки выполнена так что заслонка канала сортировки открываетс  тогда, когда забракованн деталь находитс  в нижнем  русе.

Claims (2)

1. Устройство дл  визуального контрол  цилиндрических образцов, содержащее узел транспортировани  об-20 разцов, выполненный в В1 ще горизон
тально-подвижного корпуса с принудительно вращаемыми, горизонтально расположенными цилиндрическими валками, и узел загрузки с V-образньми гнездами дп  образцов, отличающеес  тем, что5 с целью повышени  произзодительносги, цилиндрические валки размещены в несколько  русов и вьтолнены так, что каждьш нижележащий  рус выступает за торец вьшележащего на величину несколько превышающую длину контролируемого образца, а V-образные гнезда механизма загрузки размещены ступенчато в соответствии с конфигурацией цилиндрических валков.
2. Устройство по п.1, о т л и - чающеес  тем, что V-образные гнезда одной из ступеней механизма загрузки выполнены поворотными вокруг вертикальной оси.
Составитель И. Гаранина Редактор Э. Слиган Техред И,Попович , Корректор, А. Зш-гакосов
Заказ 6145/43 Тираж 677Подписное
ВНИИПИ Государственного комитета СССР
по делам изобретений и открытий 113035, Москва, Ж-35, Раушска  наб., д. 4/5
Производственно-полиграфическое предпри тие, г. Ужгород, ул. Проектна , 4
(Раг.2.
SU817772124A 1981-01-20 1981-11-03 Устройство дл визуального контрол цилиндрических образцов SU1359638A1 (ru)

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DD22710081A DD160323A3 (de) 1981-01-20 1981-01-20 Vorrichtung zur visuellen kontrolle zylindrischer pruefkoerper

Publications (1)

Publication Number Publication Date
SU1359638A1 true SU1359638A1 (ru) 1987-12-15

Family

ID=5528707

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
SU817772124A SU1359638A1 (ru) 1981-01-20 1981-11-03 Устройство дл визуального контрол цилиндрических образцов

Country Status (4)

Country Link
BG (1) BG42801A1 (ru)
CS (1) CS249758B1 (ru)
DD (1) DD160323A3 (ru)
SU (1) SU1359638A1 (ru)

Also Published As

Publication number Publication date
DD160323A3 (de) 1983-06-01
BG42801A1 (en) 1988-02-15
CS249758B1 (en) 1987-04-16
CS815481A1 (en) 1985-04-16

Similar Documents

Publication Publication Date Title
DE10211922B4 (de) Waferuntersuchungssystem zur Untersuchung von Halbleiterwafern
US2051695A (en) Testing or inspecting machine
DE10237540A1 (de) Fehlerinspektionsvorrichtung und Herstellungsverfahren einer Halbleitervorrichtung
US6401554B1 (en) Device for testing wafer-transporting robot
DE112018006577T5 (de) Ionenfräsvorrichtung und Ionenquellen-Justierverfahren für Ionenfräsvorrichtung
SU1359638A1 (ru) Устройство дл визуального контрол цилиндрических образцов
DE102007039982B3 (de) Verfahren zur optischen Inspektion und Visualisierung der von scheibenförmigen Objekten gewonnenen optischen Messerwerte
KR101011242B1 (ko) 마이크로칼럼을 이용한 미세 패턴 및 형상 검사장치
AT392541B (de) Vorrichtung zum optischen abtasten
KR20010088425A (ko) 시료 표면의 관찰 기구를 갖는 x-선 분석 장치
US4062633A (en) O-ring inspection method and apparatus
DE102006042956A1 (de) Verfahren zur optischen Inspektion Visualisierung der von den scheibenförmigen Objekten gewonnenen optischen Messwerte
DE19927258A1 (de) Substratprüfung unter Verwendung von Ausbreitungscharakteristiken elektromagnetischer RF-Wellen
KR20190082574A (ko) 에칭 장치
SU1167465A1 (ru) Автомат для контроля герметичности полых изделий
TW416084B (en) Method of manufacturing a cathode ray tube and device for inspecting an electron gun
US20030145291A1 (en) Specimen analyzing method
DE19850144C2 (de) Verfahren und Vorrichtung zur optischen Oberflächenanalyse von Halbleiterscheiben
US20050090923A1 (en) Method for monitoring a batch system
DE3703928A1 (de) Funkenemissions-spektrometeranlage
KR102052887B1 (ko) 테이퍼롤러 인라인 외관검사장치
KR20190009124A (ko) 디스플레이 셀들을 검사하기 위한 장치 및 방법
JPH0247491Y2 (ru)
US1902109A (en) Method of and apparatus for quantitative spectrum analysis
JP2913747B2 (ja) ウェーハ検査装置