SU1303856A1

SU1303856A1 - Преобразователь давлени

Info

Publication number: SU1303856A1
Application number: SU853853483A
Authority: SU
Inventors: Олег Петрович Перепелицын
Original assignee: Специальное Конструкторское Бюро По Приборостроению
Priority date: 1985-02-11
Filing date: 1985-02-11
Publication date: 1987-04-15

Abstract

Изобретение относитс к измерительной технике, конкретно к измерению давлени электрическими методами на основе тензорезистивного эффекта в полупроводниках. Цель изобретени - уменьшение погрешности измерени гидростатического давлени . На монокристаллической сапфировой подложке 1 размещены зпитаксиальные кремниевые тензорезисторы 2 в виде мезаструкту- ры. Один из тензорезисторов ориентирован в направлении максимальной тен- зочувствительности. Смежный с ним тензорезистор, ориентированный в направлении минимальной тензочувстви- тельности, имеет отношение ширины к высоте более 30, а остальные - менее или равное 30. 1 з.п. ф-лы, 1 ил. S i WJ-Si I (fOO)Si j CA О CO CX) СП 05

Description

Изобретение относитс к точному приборостроению, а именно к измерени м давлени жидкостей и газов электрическими методами на основе тензорезис тинного эффекта в полупроводниках.

Цель изобретени - уменьшение погрешности измерени гидростатического давлени .

На чертеже показаны два возможных варианта конструкции преобразовател давлени .

Преобразователь содержит подложку 1, котора выполнена в виде пластины произвольной формы из монокристаллического диэлектрика тригональной структуры, например сапфира nL - в плоскости (1012). Тензорезисторы 2 изготовлены из монокристаллического полупроводника кубической структуры кремни р-типа проводимости (плоскость 100), эпитаксиально выращенного на подложке сапфира. Тензорезисторы соединены между собой по схеме моста Уинтстона. Конструктивно тензо- резисторы изготовлены в виде меза- структуры с шириной W и высотой Н, отношение которых менее или равно 30. При этом один из тензорезисто- ров ориентирован в направлении максимальной тензочувствительности, а смежный с ним - в направлении минимальной тензочувствительности. Кроме того, один тензорезистор, ориентированный в направлении минимальной тензочувствительности, имеет соотноРедактор Э.Слиган

Составитель В.Каза.ков

Техред А.Кравчук Корректор А. Зимокосов

Заказ 1298/41Тираж 777Подписное

ВЫКИПИ Государственного комитета СССР

по делам изобретений и открытий 113035, Москва, Ж-35, Раушска наб., д. 4/5

Производственно-полиграфическое предпри тие, г. Ужгород, ул. Проектна , 4

шение ширины к высоте более 30, а остальные - менее или равное 30.

Преобразователь работает следующим образом.

5Измер емое давление действует на

подложку 1 с тензорезисторами гидростатически , в результате чего измен етс их сопротивление.

Claims

1.Преобразователь давлени , содер- жаш;ий МО но кристаллическую сапфировую подложку, и расположенные на ней эпитаксиальные кремниевые тензорезис- торы, соединенные в мостовую измерительную схему, отличающий- с тем, что, с целью уменьшени погрешности измерени гидростатического давлени , в нем тензорезисторы выполнены в виде мезаструктуры с от ношением ширины к высоте менее или равным 30, при этом, по крайней мере, один из тензорезисторов ориентирован в направлении максимальной тензочувствительности , а любой смежный с ним- в направлении минимальной тензочувствительности .

2 .Преобразователь по п. 1 , о т л и

чающийс тем, что по крайней

мере один тензорезистор, ориентированный в направлении минимальной тензочувствительности , имеет отношение ширины к высоте более 30, а осталь- 35 ные - менее или равное 30.