SU130209A1

SU130209A1 - Interferometer

Info

Publication number: SU130209A1
Application number: SU576785A
Authority: SU
Inventors: И.И. Духопел; Ю.В. Коломийцев
Original assignee: И.И. Духопел; Ю.В. Коломийцев
Priority date: 1955-07-22
Filing date: 1955-07-22
Publication date: 1959-11-30

Description

Известны интерферометры дл контрол правильности изготовле-: ни сферических поверхностей путем наблюдени интерференционной картины в воздушном слое между контролируемой и эталонной поверхност ми .Interferometers are known to control the correctness of the fabrication of spherical surfaces by observing the interference pattern in the air layer between the test and reference surfaces.

Предлагаемый интерферометр отличаетс от известных тем, что его эталонна поверхность выполнена в виде концентрического мениска. Такое выполнение интерферометра позвол ет работать с одним его объективом при различных величинах радиуса контролируемых поверхностей .The proposed interferometer differs from the known ones in that its reference surface is made in the form of a concentric meniscus. Such an implementation of the interferometer allows one of its objectives to be operated at various radii of the tested surfaces.

На чертеже изображена принципиальна оптическа схема предлагаемого интерферометра.The drawing shows the principal optical scheme of the proposed interferometer.

Свет щеес тело монохроматического источника света 1 с помощью плоского зеркала 2 и конденсаторной линзы 5 проектируетс в плоскость отверсти 4 диафрагмы 5. Объектив 5 дает изображение отверсти 4 в точке 7, с которой посто нно совмещен центр кривизны эталонной поверхности 8 мениска 9 и приблизительно совмещаетс центр кривизнь провер емой поверхности 10 линзы 11. При этом в воздущном промежутке между поверхност ми 8 к 10 возникают интерференционные полосы . Если эти поверхности идеальны, то форма и щирина полос зависнт только от взаимного расположени точек центров кривизны указанных поверхностей. При точном их совмещении поверхность 8 мениска равномерно освещена; при смещении центра кривизны провер емой поверхности вдоль оптической оси на малое рассто ние на поверхности 8 мениска наблюдаютс кольца, аналогичные кольцам Ньютона; при смещении центра кривизны поверхности 10 в направлении, перпендикул рном: к оптической оси, -- на поверхности 8 наблюдаютс пр мые полосы. Кольца и пр мые полосы деформируютс , если провер ема поверхность 10 имеет местные дефекты.The light of the body of a monochromatic light source 1 using a flat mirror 2 and a condenser lens 5 is projected into the plane of the opening 4 of the diaphragm 5. The lens 5 gives an image of the opening 4 at point 7, with which the center of curvature of the reference surface 8 of the meniscus 9 is approximately aligned curvature of the inspected surface 10 of the lens 11. In this case, interference bands appear in the air gap between the surfaces 8 to 10. If these surfaces are perfect, then the shape and width of the bands depend only on the relative position of the points of the centers of curvature of these surfaces. With their exact combination, the surface 8 of the meniscus is evenly illuminated; when the center of curvature of the tested surface is displaced along the optical axis by a small distance on the surface 8 of the meniscus, rings similar to Newton's rings are observed; when the center of curvature of the surface 10 is displaced in the direction perpendicular to the optical axis, - straight bands are observed on surface 8. Rings and straight strips are deformed if the surface 10 to be inspected has local defects.

Дл обеспечени совмещени центров кривизны эталонной и прове-: р емой поверхностей столик, на который накладываетс провер ема линза, может перемещатьс в трех взаимно-перпендикул рных направлени х . Совмещение контролируетс наблюдением в окул р 12 автокол№ 130209- 2 лимационных изображений 13 отверсти 4, полученных после отражени лучей от новерхностей 8 и 10 н полупрозрачной пластинки М. Интерферометр обеспечивает возможность изменени кривизны полос, т. е. точный контроль местных дефектов по искривлению пр мых полос, астигматической разности радиусов кривизны поверхности в двух сечени х и отступлени радиусов поверхности от номинального значени по числу наблюдаемых колец. Оценка отступлений производитс невооруженным глазом, помещенным в точку J3, или с помощью телескопической лупы, снабженной сеткой или окул рным микрометром. Контроль радиуса кривизны поверхности относительный.To ensure the alignment of the centers of curvature of the reference and test surfaces, the table on which the checked lens is applied can be moved in three mutually perpendicular directions. The combination is monitored by observing in the ocular p 12 an automatic splinter no. 130209-2 of the abrasive images 13 of the aperture 4, obtained after reflecting rays from surfaces 8 and 10 n of the translucent plate M. stripes, the astigmatic difference in the radii of curvature of the surface in two sections, and the deviations of the surface radii from the nominal value of the number of rings observed. Evaluation of deviations is performed with the naked eye, placed at point J3, or with a telescopic loupe equipped with a net or ocular micrometer. The control of the radius of curvature of the surface is relative.

Использование в интерферометре монохроматического источника света и диафрагмы 5 с малым отверстием позвол ет производить контроль при воздушных промежутках между поверхност ми до 20 мм, а следовательно, контролировать поверхности с различными радиусами кривизны с помощью сравнительно небольшого числа эталонных менисков . Контроль вогнутых поверхностей с мал.ыми радиусами кривизны может производитьс по аналогичной схеме, но мениск с вогнутыми поверхпост ми должен быть заменен мениском с выпуклыми поверхност ми и помещен над точкой 7. Дл контрол вогнутых поверхностей больщих радиусов кривизны более выгодно применить схему интерферометра с объективом, имеющим отрицательное фокусное рассто ние.The use of a monochromatic light source and a small aperture 5 in the interferometer allows monitoring at air gaps between the surfaces up to 20 mm and, consequently, controlling surfaces with different radii of curvature using a relatively small number of reference menisci. Control of concave surfaces with small radii of curvature can be done in a similar pattern, but a meniscus with concave surfaces must be replaced by a meniscus with convex surfaces and placed over point 7. having a negative focal distance.

Предмет изобретени Subject invention

Claims

1. An interferometer for checking the correctness of the manufacture of spherical surfaces by observing the interference pattern in the air layer between the test and the reference surfaces, characterized in that, in order to enable the interferometer to work with a single lens at different values of the radius of the test surfaces, .

2. The form of the interferometer according to claim 1, wherein the table on which the test article is mounted is equipped with an adjusting device allowing the table to be moved in three mutually perpendicular directions.