SU1241060A1 - Устройство дл измерени амплитуды периодической разности хода лучей в интерферометрах - Google Patents

Устройство дл измерени амплитуды периодической разности хода лучей в интерферометрах Download PDF

Info

Publication number
SU1241060A1
SU1241060A1 SU843779263A SU3779263A SU1241060A1 SU 1241060 A1 SU1241060 A1 SU 1241060A1 SU 843779263 A SU843779263 A SU 843779263A SU 3779263 A SU3779263 A SU 3779263A SU 1241060 A1 SU1241060 A1 SU 1241060A1
Authority
SU
USSR - Soviet Union
Prior art keywords
output
measuring
input
modulator
counter
Prior art date
Application number
SU843779263A
Other languages
English (en)
Inventor
Виктор Павлович Шумилин
Геннадий Гурьевич Гусев
Original Assignee
Предприятие П/Я А-1742
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Предприятие П/Я А-1742 filed Critical Предприятие П/Я А-1742
Priority to SU843779263A priority Critical patent/SU1241060A1/ru
Application granted granted Critical
Publication of SU1241060A1 publication Critical patent/SU1241060A1/ru

Links

Landscapes

  • Instruments For Measurement Of Length By Optical Means (AREA)

Abstract

Изобретение относитс  к измерительной технике и может быть использовано дл  измерени  амплитуды периодической разности хода лучей в интерферометрах при проведении измерений . Изобретение позвол ет расширить диапазон измерени  за счет применени  дополнительного модул тора , установленного перед зеркалом измерительного плеча, и последовательно соединенных аттенюатора и фазовращател . При этом в случае измерени  амплитуды периодической разности хода, меньшей одной интерференционной полосы, с помощью дополнительного модул тора устанавливаетс  ориентировочно периодическа  разность хода более одной полосы, а затем производитс  точное измерение этого значени . 1 ил. S ю 4

Description

.1
124
Изобретение относитс  к измерительной технике, предназначено дл  оптико-интерференционных измерений и может быть использовано дл  измерени  амплитуды периодической разности хода лучей в интерферометрах при проведении измерений периодических изменений физических величин в оптически прозрачных средах.
Цель-изобретени  - расширение диапазона измерени .
На чертеже приведена блок-схема устройства дл  измерени  амплитуды периодической разности хода лучей в интерферометрах.
Устройство содержит лазер 1, светоделитель 2, зеркала опорного 3.1 и измерительного 3.2 плеча, фотоприемник 4, модул тор 5, установленный перед зеркалом 3.1 опорного плеча, камеру 6 давлени  с окнами 7, вибратор .8, установленный в камере 6, преобразователь 9 давлени , установленный на камере 6, усилитель 10 мощности , подключенный выходом к вибратору 8, генератор 11 сигналов, счетчик 12 периодов процесса, световод 13 дополнительный фотоприемник 14, св занный со световодом 13, счетчик 15 .числа интерференционных полос, осциллограф 16, перед экраном которого, установлен световод 13, генератор 17 пилообразного напр жени , выход которого подключен к управл ющему входу модул тора 5, блок 18 управлени , выход которого подключен к генератору 17, дополнительный модул тор 19, установленный перед зеркалом.3.2 измерительного плеча, управл ющий вход которого соединен с выходом генератора 11 сигналов, и последовательно соединенные аттенюатор 20, вход которого подключен к выходу генератора 11 сигналов, и фазовращатель 21, выход которого подключен ко входу усилител  10 мощности.
Устройство работает следующим образом.
Световой поток от лазера 1 попадает на светоделитель 2 и делитс  на два пучка, один из которых попадает на зеркало 3,1 опорного плеча, а другой-- на зеркало 3.2 измерительного плеча интерферометра. Отраженны от зеркал пучки интерферируют на светоделителе 2 и регистрируютс  фотоприемником 4. Перед началом измерений счетчики 12 и 15 устанавливаютс  в нуль. Измерение начинаетс  после
s
0
прихода с блока 18 управлени  импульса запуска. При этом на экране осциллографа 16 фаза синхронизированного изоб- ражени  с интерферометра начинает измен тьс  по пилообразному закону. В момент, когда изображение на осциллографа 16 достигает световода 13, на фотопрйемник 14 попадает световой сигнал, который вьфабатывает на его выходе импульс запуска счетчиков 12 и 15 и тактовый импульс, поступающий в блок 18 управлени .
Далее изображение сигнала с измен ющейс  фазой движетс  в обратном направлении и второй раз пересекает точку контакта световода 13 с экраном осциллографа 16. Возникающий при этом импульс на выходе фотоприемника 14 готовит блок 18 управлени  к остановке счетчиков 12 и 15.
В дальнейшем изображение сигнала на экране осциллографа 16 занимает первоначальное положение, а фаза сигнала измен етс  на ЗбО. В этот моJ мент в блоке 18 управлени  вьфабаты- ваетс  импульс останова счетчиков 12 и 15. При этом в счетчике 12 регистрируетс  число m периодов процесса в камере 6, а в счетчике 15 - числом п, равное числу интерференционных полос, зарегистрированных фотоприемником 4 за врем  измерени . С помощью величин m и п, зафиксированных в счетчиках 12 и 15, определ етс  амплитуда оптической разности хода E
5 лучей в интерферометре по формуле:
лг ,
При измерении амплитуды периодической разности хода лучей, меньщей одной интерференционной полосы, с помощью дополнительного модул тора 19 путем подачи на его вход сигнала от генератора 11 сигнала устанавливаетс  ориентировочно периодическа  раз- HdcTb хода лучей интерферометра более одной полосы и затем производитс  точное измерение этого значени  при помощи счетчиков 12 и 15.
е помощью аттенюатора 20 устанавливаетс  необходима  амплитуда исследуемого процесса в камере 6, а фазовращателем 21 совмещаютс  фазы периодической разности хода в интерферометре , полученные за счет иссле- 55 дуемого .процесса и модул ции, осуществл емой дополнительным модул тором 19. Контроль совмещени  фазы производитс  по максимуму амплитуды
0
0
5
50
разности хода лучей, наблюдаемой на экране осциллографа. йосле этога производитс  точное измерение суммарного значени  амплитуды разности хода лучей интерферометра с помощью счетчиков 12 и 15. Результат измерени  периодической разности хода, соответствующий амплитуде измер емого процесса, определ етс  как разность второго и первого измерений.

Claims (1)

  1. Формула изобретени 
    Устройство дл  измерени  амплитуды периодическ ой разности хода лучей в интерферометрах, содержащее лазер, светоделитель, зеркала опорного и измерительного плеч, установленные в потоках излучени  светодели- .тел , фотоприемйик, модул тор, установленный перед зеркалом опорного плеча, камеру давлени  с окнами, расположенными в потоке излучени  измерительного плеча, вибратор, установленный в камере давлени , преобразователь давлени , установленный на камере, усилитель мощности, подключенный выходом к вибратору, генератор сигналов, счетчик периодов процесса, световод, дополнительный фотоприемник, св занный со световодом , счетчик числа интерференционных полос, .осциллограф, перед зкраном которого установлен световод, гене-, ратор пилообразного напр жени , выход которого подключен к управл киде- му входу модул тора, и блок управлени  , вход которого подключен к выходу дополнительного фотоприемника, выход которого подключен к управл ющим входам, генератора пилообразного на- рр жеии , счетчика периодов процесса и счетчика числа интерференционных полос, от.ли чающеес  .тем, что, с целью расширени  диапазона измерени , оно снабжено дополн ительным модул тором, установленным перед зеркалом измерительного плеча, управл ющий вход которого подключен к выходу генератора сигналов, и последовательно соединенными аттенюатором, вход которого подключен к выходу генератора сигналов, и фазовращателем, выход которого подключен к входу усилител  мощности.
SU843779263A 1984-08-10 1984-08-10 Устройство дл измерени амплитуды периодической разности хода лучей в интерферометрах SU1241060A1 (ru)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU843779263A SU1241060A1 (ru) 1984-08-10 1984-08-10 Устройство дл измерени амплитуды периодической разности хода лучей в интерферометрах

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU843779263A SU1241060A1 (ru) 1984-08-10 1984-08-10 Устройство дл измерени амплитуды периодической разности хода лучей в интерферометрах

Publications (1)

Publication Number Publication Date
SU1241060A1 true SU1241060A1 (ru) 1986-06-30

Family

ID=21134180

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
SU843779263A SU1241060A1 (ru) 1984-08-10 1984-08-10 Устройство дл измерени амплитуды периодической разности хода лучей в интерферометрах

Country Status (1)

Country Link
SU (1) SU1241060A1 (ru)

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
Авторское свидетельство СССР, № 637838, кл. G 01 В 9/02, 1975. Авторское свидетельство СССР № 890068, кл. G 01 В 9/02, 1981, *

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JPH07500672A (ja) 光導波構造の反射欠陥検出用干渉装置
JPH0439038B2 (ru)
SU1241060A1 (ru) Устройство дл измерени амплитуды периодической разности хода лучей в интерферометрах
SU890068A1 (ru) Устройство дл измерени амплитуды периодической разности хода лучей винтерферометрах
RU2092787C1 (ru) Способ определения коротких дистанций до диффузно-отражающих объектов и устройство для его осуществления
SU1068782A1 (ru) Автоматическое интерференционное устройство дл измерени структурной характеристики показател преломлени атмосферы
SU1065707A1 (ru) Устройство дл градуировки преобразователей давлени
SU1441189A1 (ru) Измеритель длин волн
SU968615A2 (ru) Интерференционный измеритель перемещений
CN114543685B (zh) 一种干涉仪调制器、测量系统及测量方法
SU1716315A1 (ru) Устройство дл измерени перемещений объекта
SU765666A1 (ru) Устройство дл измерени фазочастотных характеристик механических колебаний
JPH06323810A (ja) マルチプローブ変位測定装置
SU1368851A1 (ru) Гетеродинный способ обработки голограмм и устройство дл его осуществлени
SU1758432A1 (ru) Относительный интерферометр
JPH0723708Y2 (ja) レーザ周波数計
SU1499122A2 (ru) Устройство контрол угловых перемещений
SU1035419A1 (ru) Оптико-электронное устройство дл измерени линейных перемещений
SU1032329A1 (ru) Пол ризационно-оптическое устройство дл реверсивного счета полос интерференции
SU1755050A1 (ru) Способ измерени рельефа поверхности
RU1832181C (ru) Оптическое устройство дл измерени давлени
SU1388721A1 (ru) Способ измерени фазового сдвига световых волн
JPH0648365Y2 (ja) レーザ周波数計
SU1465696A1 (ru) Оптический способ определени перемещени объекта
SU629444A1 (ru) Устройство дл измерени смещени контролируемой поверхности