SU1235834A1

SU1235834A1 - Способ изготовлени градиентных оптических элементов

Info

Publication number: SU1235834A1
Application number: SU853843910A
Authority: SU
Inventors: Анатолий Федорович Грошков; Игорь Касьянович Мешковский; Борис Захарович Питиримов
Original assignee: Ленинградский Ордена Трудового Красного Знамени Институт Точной Механики И Оптики
Priority date: 1985-01-02
Filing date: 1985-01-02
Publication date: 1986-06-07

Description

«

Изобретение относитс к оптике, в частности к оптическим элементам, а именно к способу изготовлени оптических элементов с градиентом показател преломлени , которые могут быть использованы при созданий оптических соединителей, разветвителей и т.д.

Целью изобретени вл етс упрощение технологического процесса за счет исключени операции вымьша- ни солей,

Пример. Дл изготовлени оптических элементов с градиентом показател преломлени изготавливают образцы из ликвидирукщего натрий- боросиликатного стекла марки Na 7/23 ( 7; BjO, 23; SiO - 70. мол.%) в виде пр моугольных заготовок размером 20 X 20 X 4 мм, полированных с двух сторон, заготовки выщелачивают в растворе НС концентрации 3N при 50°С в течение 7 сут. При выщелачивании происходит растворение оксидов натри и бора, Выщелаченна пориста матрица состоит в основном из диоксида кремни (94-96 мол%).Затем заготовку многократно промывают в дистиллированной воде до рН 6-7 и медленно в течение суток сушат на воздухе при комнатной температуре, а затйм при постепенном повышении температуры до 120 с. На полированную поверхность высушенньк заготовок

40 80 40

40

80 40

60

120

180

60

120 180

Из представленных в таблице результатов видно, что предлагаемый

10

SS

358342

методом центрифугировани нанос т слой фоторезиста. После сушки фоторе зиста заготовку экспонируют и про вл ют фоторезист в растворе щелочи. 5 В результате в слое фоторезиста от- крьшаютс окна 0 40-80 мкм, как это показано на чертеже.

Дл получени профил микролинз с градиентом показател преломлени в образовавшиес окна путем пропитки пористого стекла из водных растворов ввод т нитрат цези или смесь нитратов цези и свинца. Насыщенный раствор нитрата цези ввод т при температуре кипени раствора , а смесь нитратов цези и свинца, содержащую 170 г нитрата цези и 170 г нитрата свинца с добавлением 100 мл воды при ,Врем введени солей-модификаторов и пористую заготовку составл ет 1-3 мин. После введени солей образцы заготовок помещают в термостатируемую печь, где происходит разложение натратов до оксидов цези и свинца при постепенном повышении температуры. Оптимальна скорость подъема температуры 15°С/ч до 650 С. Затем температуру повышают до 850°С и в течение 30 мин происхо- 30 дит спекание заготовок.

Результаты, характеризующие оптические свойства полученных микролинз приведены в таблице,

20

25

10,1

9,2 8,0

5,5

6,9 2,8

30 24 17

15 21

способ позвол ет получать оптические элементы с градиентом показател преломлени . При этом в зависимости от конфигурации окон и режимов введени нитратов получают микролинзы с различными необходимыми пар 1метрами. Экспериментально установлено, что врем введени нитратов в зависимости от получаемых оптических элементов составл ет от нескольких секунд до 60 мин.

От большинства известных способов аналогичного назначени предлагаемый способ отличаетс возможностью его использовани при Создании элементов интегральной оптики.Например,этим способом могут быть созданы волноводы в стекл нной пластине путем локального

Редактор Н.Гунько

Составитель Г.Буровцева

Техред М.ХОДанич Корректор Е.Сирохмай

Заказ 3055/19 Тираж 457 . Подписное ВНИИПИ Государственного комитета СССР

по делам изобретений и открытий 113035, Москва, Ж-35, Раушска наб., д. А/5

.Производственно-полиграфическое предпри тие, г. Ужгород, ул. Проектна , 4,

введени нитратов через полученные окна в. фоторезисте и образовани каналов соответственно топологии оптической интегральной схемы с последующим спеканием.

Предлагаемый способ имеет широкие технические возможности и прост в осуществлении, так как все его операции при современном уровне технологии легко .управл емы, в сравнении с известным он характеризуетс следующими преимуществами: возможностью создани локальных оптических элементов; использованием групповой технологии; повышением производительности труда.

Claims

СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ГРАДИЕНТНЫХ ОПТИЧЕСКИХ ЭЛЕМЕНТОВ, включающий введение в полированные заготовки из пористого стекла солей нитратов из растворов и последующее спекание заготовки, отличающийся тем,что, с целью упрощения технологического процесса за счет исключения операции вымывания солей, перед введением солей нитратов пористую заготовку покрывают фоторезистом, экспонируют фотоспособом'элементы необходимых размеров и конфигураций , а затем проявляют фоторезист, образуя окна для введения солей нитратов . _с о о о о о о о о о о

-фоторезист

Пористая заготовка

SU „„ 1235834 А