SU1188615A1 - Способ изготовлени датчика влажности - Google Patents
Способ изготовлени датчика влажности Download PDFInfo
- Publication number
- SU1188615A1 SU1188615A1 SU843744666A SU3744666A SU1188615A1 SU 1188615 A1 SU1188615 A1 SU 1188615A1 SU 843744666 A SU843744666 A SU 843744666A SU 3744666 A SU3744666 A SU 3744666A SU 1188615 A1 SU1188615 A1 SU 1188615A1
- Authority
- SU
- USSR - Soviet Union
- Prior art keywords
- film
- electrode
- sensor
- electrodes
- sensitivity
- Prior art date
Links
Landscapes
- Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Fluid Adsorption Or Reactions (AREA)
Abstract
СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ДАТЧИКА ВЛАМОСТИ, заключающийс в том, что на изолированную подложку нанос т пленочный электрод, на поверхности которого размещают полупроводниковую пленку, поверх этой пленки нанос т проницаемый дл анализируемой среды второй электрод, отличающийс тем, что, с целью повьшени чувствительности и селективности датчика, полупроводниковую пленку изготавливают в виде напыленного сло , второй электрод изготавливают напылением Си, после чего полученную структуру облучают белым светом до достижени стабильного во времени сопротивлени между электродами.
Description
1 Изобретение относитс к гигрометрии , а именно к электрическим датчикам, служащим дл измерени влажности различных газов. Целью изобретени вл етс повы шение чувствительности и селективности датчика. Способ изготовлени датчика вла ности заключаетс в том, что на изолирующую подложку нанос т пленочный электрод, на поверхности которого размещают полупроводниковую пленку, поверх этой пленки нанос т проницаемый дл анализируемо среды второй электрод. Полупроводниковую пленку изготавливают в виде напыленного сло AsjS, второй электрод изготавливают напылением Си, после чего полученную структур облучают белым светом до достижени стабильного во времени сопротивлени между электродами. На чертеже схематически представлен датчик влажности, разрез. Датчик содержит непровод щую подложку 1, на которой вакуумным напылением в виде пленки нанесен слой металла, представл ющий собой нижний электрод 2, На этот электро напылена пленка халькогенидного аморфного полупроводника-AsjS-j 3. ,На этой пленке вакуумным напыление из меди нанесен верхний металличес 52 кий электрод 4, который вл етс проницаемым дл паров воды, содержащихс в воздухе. Эта влагопроницаемость достигаетс тем, что ввиду малой толщины верхнего электрода ( л, 50 А) он осаждаетс на пленку из „ в виде рыхлого сло , содержащего многочисленные сквозные поры. Дл создани электродов используютс такие металлы как А1, Ag, Си, In. Наиболее подход щим материалом дл электродов, обеспечивающих высокую чувствительность и стабильность, вл етс медь, так как пленка алюмини быстро разрушалась под действием паров воды и электрического пол , серебро значительно диффундирует под действием света в , а на индиевых электродах трудно получить пленку с достаточным количеством сквозных пор. После создани датчика его подвергали действию белого света мощностью 30 МВт/см дл проведени фотоформовки, что привело к стабилизации и увеличению чувствительности датчика. По истечении 10 мин электрические характеристики датчика стабилизировались и дальнейшее воздействие света не приводило к их изменению.
Claims (1)
- СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ДАТЧИКА ВЛАЖНОСТИ, заключающийся в том, что на изолированную подложку на носят пленочный электрод, на поверхности которого размещают полупроводниковую пленку, поверх этой пленки наносят проницаемый для анализируемой среды второй электрод, отличающийся тем, что, с целью повышения чувствительности и селективности датчика, полупроводниковую пленку изготавливают в виде напыленного слоя As?Sj, второй электрод изготавливают напылением Си, после чего полученную структуру облучают белым светом до достижения стабильного во времени сопротивления между электродами.>
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| SU843744666A SU1188615A1 (ru) | 1984-05-24 | 1984-05-24 | Способ изготовлени датчика влажности |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| SU843744666A SU1188615A1 (ru) | 1984-05-24 | 1984-05-24 | Способ изготовлени датчика влажности |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| SU1188615A1 true SU1188615A1 (ru) | 1985-10-30 |
Family
ID=21120540
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| SU843744666A SU1188615A1 (ru) | 1984-05-24 | 1984-05-24 | Способ изготовлени датчика влажности |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| SU (1) | SU1188615A1 (ru) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| MD1544G2 (ru) * | 1999-02-26 | 2001-04-30 | Государственный Университет Молд0 | Способ изготовления датчика для определения концентрации составов в газообразном состоянии |
-
1984
- 1984-05-24 SU SU843744666A patent/SU1188615A1/ru active
Non-Patent Citations (1)
| Title |
|---|
| Авторское свидетельство СССР № 541137, кл. G 01 W 1/11, 1976. Патент GB № 1482584, кл. G 01 N 27/12, 1977. * |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| MD1544G2 (ru) * | 1999-02-26 | 2001-04-30 | Государственный Университет Молд0 | Способ изготовления датчика для определения концентрации составов в газообразном состоянии |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| FI72393B (fi) | Foerfarande foer framstaellning av en tunt isolerad kapacitiv hygrometer och enligt detta foerfarande framstaelld hygrometer | |
| US4532016A (en) | Capacitive hygrometer and its production process | |
| US4305112A (en) | Capacitance humidity sensing element | |
| US3987676A (en) | Relative humidity detector | |
| US4433319A (en) | Moisture sensor and method of manufacturing the same | |
| JPS5778519A (en) | Production of electrochromic display element | |
| US4393434A (en) | Capacitance humidity sensor | |
| FR2650892A1 (fr) | Capteur d'humidite capacitif et procede de fabrication d'un tel capteur | |
| SE8405100L (sv) | Kapacitiv fuktsensor och forfarande for dess framstellning | |
| TW200839231A (en) | Sensor device | |
| US4924064A (en) | Method for trimming a planar capacitor | |
| US4632879A (en) | Moisture sensor | |
| SU1188615A1 (ru) | Способ изготовлени датчика влажности | |
| US5254371A (en) | Method of manufacturing a capacitive humidity sensor | |
| US3121853A (en) | Hygrometric elements | |
| DE2938434C2 (de) | Kapazitiver Feuchtigkeitsfühler und Verfahren zur Herstellung des Fühlers | |
| US3550057A (en) | Sensing element | |
| GB2043908A (en) | Humidity Sensor Element | |
| US2906648A (en) | Masking method of producing a humidity sensor | |
| FR2614700A1 (fr) | Procede de fabrication d'un detecteur electrique d'humidite a grande stabilite dans le temps, notamment pour des installations de sechage, en meteorologie, en medecine ou analogue | |
| JP3006191B2 (ja) | コンデンサ用金属化フィルムの製造方法 | |
| GB2237291A (en) | Method of bridging gaps in a substrate by electrodeposited film, for use in gas sensor manufacture | |
| JP2810779B2 (ja) | 容量式薄膜湿度センサおよびその製造方法 | |
| US3354544A (en) | Method and apparatus for making electrical elements | |
| SU443120A1 (ru) | Способ изготовлени провод щего покрыти |