SU1182691A1 - Контактное устройство дл контрол электрических параметров компонентов микроэлектронной аппаратуры с планарными выводами - Google Patents

Контактное устройство дл контрол электрических параметров компонентов микроэлектронной аппаратуры с планарными выводами Download PDF

Info

Publication number
SU1182691A1
SU1182691A1 SU833660974A SU3660974A SU1182691A1 SU 1182691 A1 SU1182691 A1 SU 1182691A1 SU 833660974 A SU833660974 A SU 833660974A SU 3660974 A SU3660974 A SU 3660974A SU 1182691 A1 SU1182691 A1 SU 1182691A1
Authority
SU
USSR - Soviet Union
Prior art keywords
probes
base
components
spherical
microelectronic
Prior art date
Application number
SU833660974A
Other languages
English (en)
Inventor
Владимир Васильевич Бербасов
Сергей Касьянович Горбачев
Original Assignee
Организация П/Я В-8466
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Организация П/Я В-8466 filed Critical Организация П/Я В-8466
Priority to SU833660974A priority Critical patent/SU1182691A1/ru
Application granted granted Critical
Publication of SU1182691A1 publication Critical patent/SU1182691A1/ru

Links

Landscapes

  • Measuring Leads Or Probes (AREA)
  • Testing Of Individual Semiconductor Devices (AREA)

Abstract

КОНТАКТНОЕ УСТРОЙСТВО ДЛЯ контрол  ЭЛЕКТРИЧЕСКИХ ПАРАМЕТРОВ КОМПОНЕНТОВ МИКРОЭЛЕКТРОННОЙ АППАРАТУРЫ С miAHAPHHMIi ВЬВОДАМИ, содержащее корпус, подвижное и неподвижное основани  и зонды, выполненные в форме плавных кривых и расположенные в отверсти х оснований, о т л и ч а ю щ е е с   тем, что, с целью повышени  технологичности и надежности в работе, оно содержит перфорированную эластичную мембрану, закрепленную на подвижном основании, диаметры отверстий которой меньше диаметра зондов, и эластичные трубки , расположенные в полости неподвижного основани , вьтолненного в виде сферической чаши, причем зонды расположены внутри эластичных трубок, а полость неподвижного основани  заполнена электропровод щим св зующим материалом, при этом радиус сферического основани  R определ етс  из следукицего соотношени : Р« D .1 2l1i« где Р площадь пол  контактируемой поверхности компонентов микроэлектронной аппаратуры , мм , (@ рассто ние между контак« (Л тами на контролируемой поверхности компонентов радиоэлектронной аппаратуры , мм; рассто ние между зондами «, по внутренней поверхности сферической чаши, MMJ сх - глубину сферической чаши, 1C мм. Од ;о

Description

1 Изобретение относитс  к радиоэлектронике , в частности к устройствам дл  контрол  электрических параметров комаонентов микроэлектронной аппаратуры с планарно расположенными выводами. Цель изобретени  - повышение тех нологичности и надежности в работе. На фиг.1 схематически изображено предлагаемое устройство, разрезJ на фиг.2 - то же, рабочее положение с контролируемым компонентом радиоэлектронной аппаратуры; на фиг.Зузел 1 на фиг.1 (контактна  часть зонда, исходное положение), на фиг.4 - узел Н на фиг.2,(то же, рабочее положение). Контактное устройство содержит зонды 1, выполненные из упругих стержней, свободно пропущенных через отверсти  подвижного 2 и неподвижного 3 диэлектрических оснований плавно изогнутых диэлектрических трубок 4, установленных в радиально направленных отверсти х основани  5, выполненного в виде сферической чаши. Дл  уменьшени  паразитных емкостей и индуктивностей в системе диэлектрические трубки 4 объединены и зафиксированы друг с другом и кор пусом 6 электропровод щим св зующим материалом, например контактором 7. Дл  обеспечени  идентичных контактных давлений по всему полю контакти ровани  стержнева  часть каждого зонда заканчиваетс  5 -образным пружин щим контуром 8, размеры которого опрздел ютс  исход  из услови  создани  необходимого давлени  при контактировании. Зонды выполнен из термообработанной бронзовой проволоки . При пропускании их через диэлектрические трубки 4 они принимают форму плавных кривых отрезка большой окружности с центром, расположенным в плоскости подвижной на правл ющей 2, поэтому зонды направлены по нормам к контактным площадкам контролируемого компонента радиоэлектронной аппаратуры 9. Зонды заканчиваютс  резьбовой опорой 10, установленной в основании 5. Пр увеличении числа контактов в изделии (преобразование малого шага меж ду контактами (а i 0,625 мм) в боле крупный шаг) дл  присоединени  коак сиальных кабелей 11 увеличивает изгиб направл ющих трубок 4 до 90. 91 При этом использование фторопластовых трубок 4 позвол ет получить разницу усилий на зондах, не превышающую 5%, что не отражаетс  на надежности контактировани . Дл  обеспечени  уравнени  длин зондов и создани  направленного плавного изгиба диэлектрических трубок 4 с зондом 1, основание 5 выполнено в форме сферической чаши (шарового сегмента). Радиус сферы определ етс  из услови  равенства длин центральных, и периферийных зондов по полю контактировани  исход  из формулы 27ГЪо( где Р - площадь пол  контактируемой поверхности издели , а - рассто ние между контактными площадками на контролируемом изделии; а АВ - рассто ние между зондами на . основании 5; А. - глубина сферической чаши основани  сегмента. Выбираетс  конструктивно при уравнивании длин центральных и периферийных зондов. Дл  повышени  технологичности установки зондов, регулировки их по высоте, а также создани  возможности их простой замены в случае выхода из стро , каждый зонд оканчиваетс  резьбовой опорой 10, установленной в основании 5. После регулировки зондов положение опор 10 фиксируетс  вследствие распайки на коаксиальный кабель 11, экран которого соединен с кожухом 12, заземленного корпуса 6. Помимо этого зонды с противоположной стороны по своей контактной части имеют беззазорное направление, обеспечиваемое эластичным уплотнением, выполненным в виде, например, полиамидной пленки ПМ-А ТУ6-19-121-79, имеющ;ей отвер сти  подзонды меньше их диаметра и закрепленной на подвижном основании 2. Наличие уплотнени  вносит р д пре имуществ, повьш1ающих надежность работы устройства при увеличении числа контактов, повыша  точность совмещени  зондов с контактными площадками контролируемого издели  и создава  начальное усилие на зондах, что повьш1ает надежность электрического контакта и служит дл  над гжного возвращени  зондов в исходное положение после окончани  контактировани Подвижное основание 2 установлено на подпружиненных резьбовых упорах 13, путем изменени  высоты :которых обеспечиваетс  регулировка величины начального усили  на зондах . Дл  технологичности сборки устройства основание 5 выполнено из двух половин. Дл  базировки контролируемого издели  на устройство служит ложемент 14. Дл  приведени  устройства в действие служит прижим 15, а дл  предохранени  контактов от загр знений и повреждений-мембра на 16. Устройство работает следующим образом. При опускании прижим 15 воздействует на компонент радиоэлектричес кой аппаратуры 9, опуска  его на контактные части зондов 1, которые 6914 преодолева  воздействие мембраны 16, с определенным усилием и строго направленно попадают на контактные площадки контролируемого компонента радиоэлектронной аппаратуры 9. При этом направл юща  2, опуска сь, достигает своего упора на корпусе 6, а каждый стержень зондов 1, перемеща сь вдоль диэлектрической трубки 4, воздействует на S -образный пружин щий контур 8, который деформиру сь , создает надежное усилие контактировани , компенсиру  перепады высот расположени  контактных площадок на контролируемом изделии. При подъе прижима 15 подвижна  направл ьа;а  2 от воздействи  подпружиненных упоров 13 поднимаетс  в исходное состо ние, вовлека  за счет кожуха 12 и распр млени  S-образного пружин щего контура, зонды 1 на подъем до исходного положени  .
11
Put.i
fPvt.2
IB
.1
Фиг. If
W

Claims (1)

  1. КОНТАКТНОЕ УСТРОЙСТВО ДЛЯ КОНТРОЛЯ ЭЛЕКТРИЧЕСКИХ ПАРАМЕТРОВ КОМПОНЕНТОВ МИКРОЭЛЕКТРОННОЙ АППАРАТУРЫ С ПЛАНАРНЫМИ ВЫВОДАМИ, содержащее корпус, подвижное и неподвижное основания и зонды, выполненные в форме плавных кривых и расположенные в отверстиях оснований, о т л и - ч а ю щ е е с я тем, что, с целью повышения технологичности и надежности в работе, оно содержит перфорированную эластичную мембрану, закрепленную на подвижном основании, диаметры отверстий которой меньше диаметра зондов, и эластичные трубки, расположенные в полости непод вижного основания, выполненного в виде сферической чаши, причем зонды расположены внутри эластичных трубок, а полость неподвижного основания заполнена электропроводящим связующим материалом, при этом радиус сферического основания R опре деляется из следующего соотношения:
    >
    где Р - площадь поля контактируемой поверхности компонентов микроэлектронной аппаратуры, мм2 , « - расстояние между контактами на контролируемой поверхности компонентов радиоэлектронной аппаратуры, мм·, я, - расстояние между зондами по внутренней поверхности сферической чаши, мм;
    h - глубину сферической чаши, мм.
    SU ,„1182691
    1 182691
SU833660974A 1983-11-04 1983-11-04 Контактное устройство дл контрол электрических параметров компонентов микроэлектронной аппаратуры с планарными выводами SU1182691A1 (ru)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU833660974A SU1182691A1 (ru) 1983-11-04 1983-11-04 Контактное устройство дл контрол электрических параметров компонентов микроэлектронной аппаратуры с планарными выводами

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU833660974A SU1182691A1 (ru) 1983-11-04 1983-11-04 Контактное устройство дл контрол электрических параметров компонентов микроэлектронной аппаратуры с планарными выводами

Publications (1)

Publication Number Publication Date
SU1182691A1 true SU1182691A1 (ru) 1985-09-30

Family

ID=21088558

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
SU833660974A SU1182691A1 (ru) 1983-11-04 1983-11-04 Контактное устройство дл контрол электрических параметров компонентов микроэлектронной аппаратуры с планарными выводами

Country Status (1)

Country Link
SU (1) SU1182691A1 (ru)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
RU202225U1 (ru) * 2020-03-06 2021-02-08 Акционерное общество "Уральский электромеханический завод" Контактное устройство для электроизделий со штырьковыми разъемами

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
Авторское свидетельство СССР № 481546, кл. Н 05 К 13/00, 1972. Авторское свидетельство СССР № 949860, кл. Н 05 К 1/18, 1982. *

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
RU202225U1 (ru) * 2020-03-06 2021-02-08 Акционерное общество "Уральский электромеханический завод" Контактное устройство для электроизделий со штырьковыми разъемами

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US5990697A (en) Electroconductive contact unit having compression spring with normally and coarsely wound segments
US7663387B2 (en) Test socket
US20210123950A1 (en) Probe card for high frequency applications
KR101930866B1 (ko) 반도체 디바이스 테스트용 콘택트 및 소켓장치
US3911361A (en) Coaxial array space transformer
KR910004624B1 (ko) Ic 칩 테스트 장치
US6902410B2 (en) Contact unit and socket for electrical parts
JP4886001B2 (ja) 柔軟電気接点
KR20080034886A (ko) 커넥터-투-패드 인쇄회로기판 트랜슬레이터 및 그 조립방법
KR20190037621A (ko) 전도성 접촉부 및 이를 포함하는 이방 전도성 시트
KR101482245B1 (ko) 전기적 검사소켓
KR101504873B1 (ko) 검사용 동축 커넥터
JP2005516344A5 (ru)
KR101340500B1 (ko) 고집적도 고성능 테스트 핀 및 검사용 소켓
KR20120044960A (ko) 고집적도용 테스트 핀 및 반도체 검사용 소켓
SU1182691A1 (ru) Контактное устройство дл контрол электрических параметров компонентов микроэлектронной аппаратуры с планарными выводами
KR102389136B1 (ko) 신호 손실 방지용 테스트 소켓
EP0033804A1 (en) Movable connector for high voltage arrester
JP2020537161A (ja) 検査装置
KR20210146663A (ko) 전기접속용 커넥터
US11047878B2 (en) Electrical connector
KR100679663B1 (ko) 반도체 디바이스 테스트 소켓
KR102032652B1 (ko) 스프링을 구비한 이방 전도성 시트
US20080191721A1 (en) Electrical test device for testing electrical test pieces
KR20230031638A (ko) 테스트 소켓 및 이를 포함하는 테스트 장치와, 테스트 소켓의 제조방법