SU1177789A1

SU1177789A1 - Проекционный объектив с увеличением-0,1 @

Info

Publication number: SU1177789A1
Application number: SU843691407A
Authority: SU
Inventors: Элла Семеновна Гуревич; Людмила Павловна Псикова; Галина Валерьяновна Фокова
Original assignee: Предприятие П/Я Р-6495
Priority date: 1984-01-16
Filing date: 1984-01-16
Publication date: 1985-09-07

Abstract

ПРОЕКЦИОННЫЙ ОНЬЕКТИВ С УВЕЛИЧЕНИЕМ -0,1 ,содержащий диафрагму , две положительные линзы, отрицательный мениск, обращенный выпуклостью к предмету, положитель ный мениск, склеенный из дво ко вог нутой и дво ковыпуклой линз, положительную линзу, склеенную из мени и дво ковыпуклой линзы, дво ковыпуклую линзу и положительный менис склеенный из отрицательного и поло жительного менисков, обращенных вы Плоекаеть пре9мето9 Апертур f Г / пуклост ми к предмету, о т л и чающийс тем, что, с целью уменьшени дисторсии и увеличени пол зрени , он снабжен положительным мениском, обращенным выпуклостью к предмету и установленным между второй положительной линзой и отрицательным мениском, обращенным выпуклостью к предмету, отрицательным мениском, склеенным из дво ковогнутой и дво ковыпуклой линз и установленным между склеенными положительным мениском и положительной, линзой, и отрицательным мениском, обращенным выпуклостью к предмету и установленным последним, при этом рассто ни между введенными менисками и преде щущими компонентами составл ют соответственно 0,002 0,015 и 0,058 фокусного рассто ни объектива, а диафрагма расположена перед первым отрицательным мениском, обращенным вьтуклостью к предмету, на рассто нии 0,00015 фокусного рассто ни от него. Плоекаемь аф/юема 10

Description

Изобретение относится к оптическим системам и может найти применение в микроэлектронике в проекционных установках экспонирования.

Целью изобретения является уменьшение дисторсии и увеличение поля зрения.

На чертеже- изображена оптическая схема проекционного объектива.

Объектив состоит'из четырнадцати линз, собранных в десять компонентов. ·

Первый компонент - одиночный положительный мениск 1, обращенный вогнутостью к плоскости изображения, выполненный из сверхтяжелого крона с соотношением радиусов 1:2,4.

Второй компонент - одиночная положительная линза 2, выполненная из стекла КУ-1, с соотношением радиусов 1:1,6.

Третий компонент - одиночный положительный мениск 3, обращенный вогнутостью к пространству изображений, выполненный из сверхтяжелого крона с соотношением радиусов 1:2,4.

Четвертый компонент - одиночный отрицательный мениск 4, обращенный вогнутостью к плоскости изображений, выполненный из кварцевого стекла с соотношением радиусов 20,5:1.

Пятый компонент - положительный в склеенный мениск, обращенный вогнутостью к плоскости предметов, состоящий из отрицательной линзы 5 и положительной линзы 6 с соотношением радиусов 1,25:1, выполненный из баритового флинта и баритового крона.

Шестой компонент - склеенный мениск, состоящий из отрицательной линзы 7 и положительной линзы 8, обращенной вогнутостью к плоскости предметов^ соотношением радиусов 1:1,9, выполненный из тяжелого флинта и тяжелого крона.

Седьмой компонент - положительная [склеенная линза, состоящая из отрицательного мениска 9 и положительной ·$θ линзы 10, выполненная из баритового

1177789 2 флинта и баритового крона с соотношением радиуса 5:1.

Восьмой компонент - одиночная положительная линза 11, выполненная из кварцевого стекла с соотношением радиусов 1:9,3.

Девятый компонент - положительный , состоящий из отримениска 12 и положительно13, выполненных из тяжеи баритового флинта с сорадиусов 1:1,24. компонент - отрицательный выполненный из кварцевого склеенный мениск цательного го мениска лого крона отношением Десятый мениск 14, стекла, обращенный вогнутостью к пространству изображений, с соотношением радиусов 1,06:1.

Диафрагма расположена перед четвертым компонентом на расстоянии 0,00015 f^f объектива от него.

В объективе достигнута высокая степень коррекции кривизны поля, астигматизма,сферической аберрации, хроматизма увеличения и дисторсии. Коррекцию астигматизма на поле 140 мм осуществляют пятый и девятый компоненты. Третий и шестой компоненты служат для исправления дисторсии. Коррекцию хроматизма выполняет шестой компонент, выполненный склеенным из отрицательной и положительной линз. Коррекции кривизны поля осуществляют четвертый и восьмой компоненты. Седьмой компонент совместно с четвертым осуществляют коррекцию комы. Остальные компоненты несут силовую нагрузку.

При фокусном расстоянии 65,4 мм объектив имеет поле зрения 150 мм. ' Качество изображения для края поля зрения У = -70,7 мм характеризуется коэффициентом передачи контраста Т = 0,15 для пространственной частоты т)= 1000 лин/мм и Т = 0,4 для л)= 600 лин/мм, что практически совпадает с характеристиками идеального безаберрационного объектива.

Спектральный диапазон 350-370 нм, апертура 0,25, разрешение 0,81 мкм, дисторсия 0,1%.

Claims

ПРОЕКЦИОННЫЙ ОБЪЕКТИВ С УВЕЛИЧЕНИЕМ —0,1·* , содержащий диафрагму, две положительные линзы, отрицательный мениск, обращенный выпуклостью к предмету, положительный мениск, склеенный из двояковогнутой и двояковыпуклой линз, положительную линзу, склеенную из мениска и двояковыпуклой линзы, двояковыпуклую линзу и положительный мениск, склеенный из отрицательного и положительного менисков, обращенных вы пуклостями к предмету, о т л и чающийся тем, что, с целью уменьшения дисторсии и увеличения поля зрения, он снабжен положительным мениском, обращенным выпуклостью к предмету и установленным между второй положительной линзой и отрица->тельным мениском, обращенным выпуклостью к предмету, отрицательным мениском, склеенным из двояковогнутой и двояковыпуклой линз и ус* тановленным между склеенными положительным мениском и положительной, линзой, и отрицательным мениском, обращенным выпуклостью к предмету и 19 установленным последним, при этомL· расстояния между введенными менис-[Ч ками и предыдущими компонентами составляют соответственно 0,002' 0,015I и 0,058 фокусного расстояния объектива,2 а диафрагма расположена перед первым отрицательным мениском, обращенным выпуклостью к предмету, на расстоянии 0,00015 фокусного расстояния от него.

1 1