SU1175692A1 - Robot grip - Google Patents

Robot grip Download PDF

Info

Publication number
SU1175692A1
SU1175692A1 SU843711230A SU3711230A SU1175692A1 SU 1175692 A1 SU1175692 A1 SU 1175692A1 SU 843711230 A SU843711230 A SU 843711230A SU 3711230 A SU3711230 A SU 3711230A SU 1175692 A1 SU1175692 A1 SU 1175692A1
Authority
SU
USSR - Soviet Union
Prior art keywords
base
substrate
electrode
switch
voltage source
Prior art date
Application number
SU843711230A
Other languages
Russian (ru)
Inventor
Вагиз Нургалиевич Абраров
Игорь Тимофеевич Рассохин
Юрий Павлович Андреев
Александр Сергеевич Сигов
Андрей Валентинович Алферов
Аркадий Васильевич Лисин
Original Assignee
Всесоюзный заочный машиностроительный институт
Московский Институт Радиотехники,Электроники И Автоматики
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Всесоюзный заочный машиностроительный институт, Московский Институт Радиотехники,Электроники И Автоматики filed Critical Всесоюзный заочный машиностроительный институт
Priority to SU843711230A priority Critical patent/SU1175692A1/en
Application granted granted Critical
Publication of SU1175692A1 publication Critical patent/SU1175692A1/en

Links

Abstract

СХВАТ РОБОТА, содержащий металлическое основание, подложку из полупроводникового материала, укрепленную на основании и покрытую поли.мерной пленкой, и источник напр жени , один полюс которого заземлен, отличающийс  тем. что, с полью обеспечени  надежности захвага дета лей, он снабжен резистором, коммутатором и по крайней мере одним игольчатым электродом , установленным по оси схЕ5ата в основании , подпружинершым к нему и изо.мпрованным от него, при этом в подложке и. полимерной пленке выполнен паз дл  прохода электрода, электрод заземлен и подключен к основанию через резистор, а основание соединено через коммутатор с другим по.посом источника напр жени . (Л Г2 СП 05 со 1СROBOT CAPTURE, containing a metal base, a semiconductor material substrate, supported on the base and covered with a polymeric film, and a voltage source, one pole of which is grounded, distinguished by that. that, with the reliability of capturing the details, it is equipped with a resistor, a switch and at least one needle electrode installed along the axis of the circuit at the base, spring-loaded to it and isompulated from it, while in the substrate and the polymer film has a groove for the passage of the electrode, the electrode is grounded and connected to the base through a resistor, and the base is connected through a switch to another position of the voltage source. (L G2 SP 05 with 1C

Description

Изобретение относитс  к схватам роботов , в частности к электростатическим захватывающим и крепежным устройствам, и может быть использовано в машино- и приборостроении , радиоэлектронной промышленности дл  выполнени  широкого перечн  манипул ционных заданий с листовыми материалами и плоскими детал ми типа пластин .The invention relates to grips of robots, in particular, to electrostatic gripping and fixing devices, and can be used in machine-building and instrument-making industries of the radio-electronic industry to perform a wide range of handling tasks with sheet materials and flat details of the plate type.

Целью изобретени   вл етс  обеспечение надежности захвата деталей за счет создани  заданного эффективного потенциального рельефа в электростимулированном адгезионном контакте (ЭАК) и сохранени  стабильного значени  количества разноименных зар дов на границе раздела полупровод ща  подложка - полимерна  пленка - закрепл ема  деталь.The aim of the invention is to ensure the reliability of capturing parts by creating a predetermined effective potential relief in an electrostimulated adhesive contact (EAC) and maintaining a stable value of the number of different charges at the interface of the semiconductor substrate - polymer film - fixed part.

На фиг. 1 изображен схват, разрез; на фиг. 2 - вид А на фиг. 1; на фиг. 3 - схема распределени  электростатического пол  в установившемс  режиме при закороченном ЭАК и отключенном источнике питани ; на фиг. 4 и 5 - зависимости усили  захвата F от напр жени  питани  U; на фиг. 6 - то же, от времени релаксации зар да .FIG. 1 shows a gripper cut; in fig. 2 is a view A of FIG. one; in fig. 3 is a diagram of the distribution of the electrostatic field in a steady state with a shorted EAK and a disconnected power source; in fig. 4 and 5 are the dependences of the capture force F on the supply voltage U; in fig. 6 - the same, from the relaxation time of the charge.

Схват содержит металлическое основание 1, на котором укреплена подложка 2 из полупровод щего электрический ток материала . Поверхность полупровод щей подложки 2 покрыта полимерной пленкой 3. В металлическом основании 1 по оси схвата установлен игольчатый электрод 4, отделенный от основани  изол цией 5 и подпружинен к нему пружиной 6. Электрод 4 заземлен и через резистор 7 соединен с металлическим основанием 1. В подложке и пленке выполнен паз дл  прохода электрода. Высоковольтный полюс источника 8 напр жени  через коммутатор 9 соединен с основанием 1, а второй полюс источника 8 заземлен. В диэлектрическом корпусе 10 размещены камеры 11 с кассетами 12 дл  восстановлени  использованной пленки 3 и программное устройство 13, соединенное с коммутатором 9 и камерами И. Позицией 14 обозначена захватываема  деталь.The grip contains a metal base 1 on which a substrate 2 of a material that is semiconducting an electrical current is fixed. The surface of the semiconducting substrate 2 is covered with a polymer film 3. In a metal base 1, a needle electrode 4 is installed along the tongue axis, separated from the base by insulator 5 and spring-loaded 6 to it. and the film is made a groove for the passage of the electrode. The high voltage pole of the voltage source 8 is connected via the switch 9 to the base 1, and the second pole of the source 8 is grounded. The dielectric case 10 houses cameras 11 with cassettes 12 for recovering the used film 3 and a software device 13 connected to the switch 9 and the cameras I. The position 14 denotes a gripping part.

Схват работает следующим образом.The grip works as follows.

Дл  захвата детали 14 поверхность схвата , покрытую полимерной пленкой.3, привод т в контакт с деталью. При этом электрод 4 находитс  в посто нном контакте с деталью через паз в пленке 3. По команде сIn order to grip the workpiece 14, the grip surface coated with a polymeric film 3 is brought into contact with the workpiece. The electrode 4 is in constant contact with the part through the groove in the film 3. On command from

программного устройства 13 через коммутатор 9 от источника 8 на ЭАК подложка - полимер - деталь подаетс  напр жение. В ЭАК возникает усилие F электростатического взаимодействи , закрепл ющее деталь на подложке схвата. При этом с деталью выполн ют необходимый перечень манипул ционных заданий.the software device 13 through the switch 9 from the source 8 on the EAK substrate - polymer - the part is energized. In EAK, a force F of electrostatic interaction arises, fixing the part on the gripper substrate. At the same time, the required list of manipulation tasks is performed with the detail.

Дл  работы схвата в более экономичном энергетическом режиме по команде с программного устройства после захвата детали источник 8 напр жени  может быть отключен . В таком случае усилие F определ етс  напр женностью Е внещнего электрического пол  пленки 3. Расположение элементов вIn order to operate the gripper in a more economical energy mode, a command from a software device after capturing a part, the voltage source 8 can be turned off. In this case, the force F is determined by the strength E of the external electric field of the film 3. The arrangement of the elements in

5 схвате можно условно рассматривать как два плоских конденсатора, одной из обкладок которых  вл етс  поверхность полимерной пленки, другой - закрепл ема  деталь и полупровод ща  подложка (фиг. 3). При закорачивании обкладок конденсаторов происходит компенсаци  зар дов обкладок , а усилие захвата детали определ етс  стабильным взаимодействием гомозар да (зар да совпадающего по знаку с зар дом прилегающих электродов) полимернойThe gripper 5 can be conventionally viewed as two flat capacitors, one of the plates of which is the surface of a polymer film, the other a fixable part and a semiconductive substrate (Fig. 3). When shorting the capacitor plates, the charges of the plates are compensated, and the gripping force of the part is determined by the stable interaction of the homozar (charge coinciding in sign with the charge of the adjacent electrodes) of the polymer

5 пленки с зар дами, индуцированными им на обкладках конденсатора (фиг. 3). В этом случае напр женность Ej внутреннего пол  в диэлектрике равна нулю, а усилие захвата определ етс  напр женностью Е и Ej электрических полей в зазорах d и dj.5 films with charges induced by them on the capacitor plates (Fig. 3). In this case, the intensity Ej of the internal field in the dielectric is zero, and the gripping force is determined by the intensity E and Ej of the electric fields in the gaps d and dj.

0 Дл  откреплени  детали (одновременно с выключением источника напр жени ) на ЭАК подаетс  компенсирующа  разность потенциалов противоположной пол рности рабочему напр жению длительностью не более 1 с. При этом усилие F захвата в течение долей секунды спадает до нулевого значени , и деталь открепл етс  от подложки схвата.0 To detach a part (at the same time as the voltage source is turned off), a compensating potential difference opposite to polarity is applied to the EAK operating voltage of not more than 1 s. Here, the gripping force F falls to zero within fractions of a second, and the part is detached from the gripper substrate.

По команде с программного устройства происходит перемещение на закрепл ющуюUpon a command from the software device, a movement to the fixing

0 поверхность подложки схвата нового участка полимерной пленки. В камерах 11 при комбинированном воздействии повышенной температуры , влажности и тлеющего электрического разр да происходит быстра  релаксаци  остаточного электретного зар да, резко снижающего величину и стабильность усили  F захвата. Восстановленна  и очищенна  от загр знений в камере 11 полимерна  пленка наматываетс  на кассету 12 дл  дальнейшего использовани .0 the surface of the substrate gripper new section of the polymer film. In the chambers 11, with the combined effect of elevated temperature, humidity and glowing electrical discharge, a rapid relaxation of the residual electret charge occurs, drastically reducing the magnitude and stability of the capture force F. The reconstituted and cleaned polymer film in the chamber 11 is wound onto the cassette 12 for further use.

ID 3ID 3

1,0 2,0 3,0 ,0 50 U,KB Фиг Л1.0 2.0 3.0, 0 50 U, KB Fig L

0,1 0,8 1,6 и, к 8 Фиг.50.1 0.8 1.6 and, to 8 Figure 5

Claims (1)

СХВАТ РОБОТА, содержащий ме-TAKING A ROBOT containing Фиг.1 мFig. 1 m СП о ς© КЗSP o ς © KZ
SU843711230A 1984-03-16 1984-03-16 Robot grip SU1175692A1 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU843711230A SU1175692A1 (en) 1984-03-16 1984-03-16 Robot grip

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU843711230A SU1175692A1 (en) 1984-03-16 1984-03-16 Robot grip

Publications (1)

Publication Number Publication Date
SU1175692A1 true SU1175692A1 (en) 1985-08-30

Family

ID=21107540

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
SU843711230A SU1175692A1 (en) 1984-03-16 1984-03-16 Robot grip

Country Status (1)

Country Link
SU (1) SU1175692A1 (en)

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
Авторское свидетельство СССР .NO 515086, кл. Н 01 L 21/47, 1974. *

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CA1329637C (en) Electrostatic holding apparatus
US5737175A (en) Bias-tracking D.C. power circuit for an electrostatic chuck
TW334609B (en) Electrostatic chuck, method and device for processing sanyle use the same
EP0360529A3 (en) Electrostatic chuck
KR890006344A (en) Discharge element and its application
SU1175692A1 (en) Robot grip
JPH08191099A (en) Electrostatic chuck and its manufacture
US20060023393A1 (en) Electrostatic holding device and electrostatic tweezers using the same
GB2293689A (en) Electrostatic chuck
US2883606A (en) Charging systems for inductionconduction charged belt electrostatic generators
JP2574407B2 (en) Wafer holder for electron beam exposure equipment
US4785372A (en) Method and device for charging or discharging member
JPS6418236A (en) Removal of static electricity
KR20030020072A (en) Unipolar electro-static chuck
JPS56163272A (en) Plasma etching device
JPS5760593A (en) Sample holding circuit
JPS63308340A (en) Dielectric breakdown detection apparatus of electrostatic chuck
KR970053315A (en) Structure and Dechucking Method of Electrostatic Chuck
JPH08321394A (en) Static eliminator
SU1367173A1 (en) Device for removing protective film from flat backing
JPH0771859B2 (en) Electrostatic adsorption device
JPS61262750A (en) Image forming device
SU1180831A1 (en) Device for local charging of electrographic information medium
SU1525905A1 (en) Touchless switch
JPS61254966A (en) Corona charging device