SU1173151A1 - Устройство дл закреплени тонкопленочных образцов - Google Patents

Description

Изобретение относитс  к сектро- метрии, а и 1енно к средствам закреплени  равномерно раст гиваёмш;, в плоскости тон|с6пленочных образ цов.

Цель изобретени  - уменьшение деформаций при закреплении.

На фиг. 1 изображена опорна  база , на фиг. 2 - образец на фиг. механизм прижима.

Устройство дл  закреплени  тон копленочных образцов содержит опорную базу t, выполненную в виде кольца с плоской торцовой поверхностью, механизм призкима, выполненный в виде двухстепенного карданного подвеса с ведущим наружным кольцом 2 (изображены только части этого, кольца) промежуточным кольцом 3 и ведомым внутренним кольцом 4.

Ведущее наружное кольцо 2 соединено с промежуточным 3 цилиндрическими шарнирами 5 и 6, а промежуточное 3 с ведомым внутренним 4 соединено цилиндрическими шарнирами 7 (показан тоЛько один шарнир). На ведомом внутреннем кольце 4 закреплен эластичный прижимной элемент 8 с тороидальной -торцовой, коническими внутренней и наружной поверхност ми . Крепление эластичного прижимного элемента 8 к внутреннему ведомому кольцу 4 выполн етс  гайкой 9 близ меньшего основани  конического кольца.

Устройство работает следующим образом .

Тонкопленочный образец 10 прикладьшают к плоской торцовой поверхности опорной базы 1, приближают к нему до касани  эластичный прижимной элемент 8 и с помощью механизма прижима нагружают его силой F (через шарниры 5 и 6 на промежуточное кольцо 3 передаютс  силы F/2, которые показаны на чертеже).

Благодар  двухстепенной карданной подвеске прижимного элемента, последний равномерно прижимает тонкопленочный образец к опорной базе.

В процессе прижима происходит деформаци  эластичного прижимного элемента, вследствие которой нескол ко увеличиваетс  диаметр большого (опорного) основани  этого элемента Силами трени , действующими между тороидальной торцовой поверхностью прижимного элемента и тонкопленочным образцом , последний изотропно раст гиваетс  в плоскости торца опорной базы, что позвол ет минимизировать местные деформации при закреплении.

Claims (1)

1. УСТРОЙСТВО ДЛЯ ЗАКРЕПЛЕНИЯ ТОНКОПЛЕНОЧНЫХ ОБРАЗЦОВ, содержащее опорную базу, выполненную в виде кольца с плоской торцовой поверх- ностью, эластичный прижимной элемент и механизм прижима, отличающееся тем, что, с целью уменьшения деформаций при закреплении, механизм прижима выполнен в виде двухстепенного карданного подвеса с ведущим наружным и ведомым внутренним кольцами, а прижимной элемент - в виде кольца с тороидальной торцовой, коническими внутренней· и наружной поверхностями, скрепленного с ведомым внутренним кольцом механизма прижима около меньшего основания конического кольца.