SU1154224A1

SU1154224A1 - Glass for coating on steel

Info

Publication number: SU1154224A1
Application number: SU843686893A
Authority: SU
Inventors: Нинель Мироновна Бобкова; Галина Григорьевна Скрипко; Маргарита Петровна Гласова; Светлана Пахомовна Ржевская
Original assignee: Белорусский Ордена Трудового Красного Знамени Технологический Институт Им.С.М.Кирова
Priority date: 1984-01-09
Filing date: 1984-01-09
Publication date: 1985-05-07

Abstract

СТЕКЛО ДЛЯ ПОКРЫТИЙ НАСТАЛИ, включающее SiO, АЦО, ВаО, , отличающеес тем, что, с целью снижени диэлектрической проницаемости и повышени удельного объемного сопротивлени , оно дополнительно содержит SrO и V,0 при следующем соотношении компонентов,мае.%: SiOj30,90-34,70 ,4,95-5,35 ВаО31,40-51,80 ВгО,4,80-5,30 SrO5,00-26,60 0,90-1,00 V.O аGLASS FOR COATINGS POSTS, including SiO, ACO, BaO,, characterized in that, in order to reduce the dielectric constant and increase the volume resistivity, it additionally contains SrO and V, 0 in the following ratio of components, wt.%: SiOj30.90- 34.70, 4.95-5.35 BaO31,40-51.80 VgO, 4.80-5.30 SrO5.00-26.60 0.90-1.00 VO a

Description

елate

4four

ISDISD

4 four

I I

Изобретение относитс к технологии силикатов и может быть использовано в микроэлектронике дл создани изол ционных покрытий на стальной подложке дл коммутационньгх пла а также в качестве запщтного покрыти металлических частей микроэлектронных приборов.The invention relates to the technology of silicates and can be used in microelectronics to create insulating coatings on a steel substrate for switching circuits as well as a mechanical coating of the metal parts of microelectronic devices.

Известно стекло, содержащее,мас. SiOj 44,7-53,8; , 12,6-16,3; SrO 30,0-40,2} Cr О,. 0,5-1,0; , 0,5-3,0.Known glass containing, by weight. SiOj 44.7-53.8; , 12.6-16.3; SrO 30.0-40.2} Cr O ,. 0.5-1.0; 0.5-3.0.

Указанное стекло предназначено дл защиты тугоплавких металлов от окислени при работе на воздухе при повышенных температурах fl .Said glass is intended to protect refractory metals from oxidation when operating in air at elevated temperatures fl.

Недостатками указанного состава стекла вл ютс недостаточно большой ТКПР (71-8О10 град-) дл возможности использовани его в качестве покрыти по стали и невысокие диэлектрические свойства (диэлектрическа проницаемость при f 1,0 МГ 9,4-14,7).The disadvantages of this glass composition are not sufficiently large TKPR (71-8 O10 degrees-) to be able to use it as a coating for steel and low dielectric properties (dielectric constant at f 1.0 MG 9.4-14.7).

Наиболее близким к изобретению по технической сущности и достигаемому результату вл етс стекло дл защиты сталей и сплавов от высокотемпературной газовой коррозии следующего состава, мас.%: SiOj 27,231 ,2; ВаО 35,7-39,7,- BgO 5,3-7,3, TiO 13,4-15,4; GrjO, 3,5-5,5; А170 6,7-8,7; КгО 0,1-0,3 fz.The closest to the invention in technical essence and the achieved result is glass for protecting steels and alloys from high-temperature gas corrosion of the following composition, wt.%: SiOj 27.231, 2; BaO 35.7-39.7, - BgO 5.3-7.3, TiO 13.4-15.4; GrjO, 3.5-5.5; A170 6.7-8.7; CgO 0.1-0.3 fz.

Недостатками известного стекла вл ютс довольно высока .диэлектрическа проницаемость (11,5-11,9) и низкое удельное объемное электросопротивление Ом-м.The disadvantages of the known glass are rather high dielectric constant (11.5-11.9) and low specific volume electrical resistivity Ohm-m.

Цель изобретени вл етс снижение диэлектрической проницаемости и повышение удельного объемного сопротивлени .The purpose of the invention is to reduce the dielectric constant and increase the volume resistivity.

Поставленна цель достигаетс те что стекло дп покрытий на стали, включающее SiOj, AlgO, BaO, , дополнительно содержит SrO и MfOi при следующем соотношении компонентов , мас.%:The goal is achieved by the fact that glass dp coatings on steel, including SiOj, AlgO, BaO,, additionally contains SrO and MfOi in the following ratio of components, wt.%:

Si02 30,90-34,70Si02 30.90-34.70

МгО, 4,95-5,35MgO, 4.95-5.35

Вас 31,40-51,80You 31.40-51.80

BjO,- 4,80-5,30BjO, 4.80-5.30

SrO5,0-26,60SrO5.0-26.60

0,90-1,00 0.90-1.00

Синтез стекла осуществл ют в газовой пламенной печи при 1400-1450 С в корундовых тигл х емкостью 0,1 л.Synthesis of glass is carried out in a gas fiery furnace at 1400-1450 C in corundum crucibles with a capacity of 0.1 l.

4224242242

В качестве сырьевых материалов используютс кварцевый песок, глинозем , борную кислоту, углекислый барий , углекислый стронций, п тлоксид 5 ванади .The raw materials used are quartz sand, alumina, boric acid, barium carbonate, strontium carbonate, vanadium carbon dioxide 5.

Стекломассу гранулируют на воду, высушивают и размапывают до величины удельной поверхности 5000-6000 см /г. Нанесение покрытий на пластины из стали провод т методом электрофореза или методом нанесени водной суспензии . Пластины сушат на воздухе при 90-100°Св течение 15-20 мин, после чего обжигают в электрической печи при 8005 850°Св течение 15-20 мин. В процессе охлаждени покрытие кристаллизуетс .The glass mass is granulated into water, dried and spread to a specific surface of 5000-6000 cm / g. The coating on the plates of steel is carried out by electrophoresis or by applying a water suspension. The plates are dried in air at 90-100 ° C for 15-20 minutes, then burned in an electric furnace at 8005 850 ° C for 15-20 minutes. During the cooling process, the coating crystallizes.

В табл. 1 приведены предпагаемые составы стекол.In tab. 1 shows the estimated glass composition.

В табл. 2 даны физико-механические свойства предлагаемых составов стекол, Выбранное соотношение компонентой обеспечивает предлагаемому стеклу диэлектрическую проницаемость на 32- 38% ниже, чем у известной эмали и высокое удельное объемное электросопротивление (вьнпе на 3-4 пор дка) .In tab. 2 shows the physicomechanical properties of the proposed glass compositions. The selected ratio of the component provides the dielectric constant of the proposed glass by 32–38% lower than that of the known enamel and high specific volume electrical resistance (by 3-4 times the order).

Высокие диэлейтрические характеристики предлагаемого стекла в сочетании с ТКЛР, согласугацимс с ТКПР стали, 30 позвол ет получить качественное электроизол ционное покрытие по стали.The high dielectric characteristics of the proposed glass in combination with TCLE, matching with steel TKPR, 30 allows to obtain a high-quality electrically insulating coating on steel.

Технологический процесс нанесени известного покрыти существенно . отличаетс от толс опленочной техноло- 35 гии получени стекловидных покрытий,The process of applying a known coating is substantial. differs from the thickness of film technology for the production of vitreous coatings,

Эмалирование стали предусматривает приготовление пшикера, в состав которого входит фриттованна эмаль, лина и оксид хрома в определенныхSteel enameling involves the preparation of a puffer, which includes fritted enamel, lina and chromium oxide in certain

4040

количественных соотношени х. Температура обжига эмали состаап ет 11501 .180 С. Изготовление элёктроизол iijioHHoro покрыти на основе предлагаемого стекла осуществл ют методом quantitative ratios. The enamel firing temperature is 11501 .180 ° C. The manufacture of an electrolysis iijioHHoro coating based on the proposed glass is carried out

45 электрофореза с последующим вжиганием элементов провод щей схемы.45 electrophoresis with subsequent firing of the elements of the conductive scheme.

Температура вжигани покрыти составл ет 800-850 с, т.е. на 300330°С ниже,чем у известной эмали.Высо50 ка температура вжигани недопустима из-за оплавлени медных проводников при создании многоуровневой разводки.The firing temperature of the coating is 800-850 s, i.e. 300330 ° C lower than that of the known enamel. A high firing temperature is unacceptable due to the melting of the copper conductors when creating multi-level wiring.

Таким образом, проведенный сопоставительный анализ показал, что Thus, a comparative analysis showed that

55 предлагаемое стекло отличаетс от из вестного улучшенными диэлектрическими характеристиками, низкой температурой ,- вжигани .55, the proposed glass differs from the known one with improved dielectric characteristics, low temperature, and firing.

Таблица 1Table 1

Таблица 2table 2

Claims

GLASS FOR COVERINGS OF STEEL, including SiO ₂ , A1 _g 0 ₃ , BaO, B _? 0 ₃ , characterized in that, in order to reduce the dielectric constant and increase the specific volume resistance, it additionally contains SrO and V ₇ 0 ₅ in the following ratio of components, May

SiOj 30.90-34.70 A1.0 _? 4.95-5.35 Wow 31.40-51.80 in _r about ₃ 4.80-5.30 Sro 5.00-26.60 v ₂ o _? 0.90-1.00

SL 4 * Yu go 4 *>

f