SU1366486A1

SU1366486A1 - Electric insulating glass

Info

Publication number: SU1366486A1
Application number: SU864056081A
Authority: SU
Inventors: Нинель Мироновна Бобкова; Галина Евтихиевна Рачковская; Галина Григорьевна Скрипко; Ирина Маратовна Егорова
Original assignee: Белорусский технологический институт им.С.М.Кирова
Priority date: 1986-04-17
Filing date: 1986-04-17
Publication date: 1988-01-15

Abstract

Изобретение относитс к техноло- гии силикатов и предназначено дл изол ционного покрыти титановых подложек , используемых при изготовлении интегральных схем в электронных приборах . С целью снижени коэффициента линейного расширени , повышени влагоустойчивости и удельного объемного электросопротивлени , электроизол ционное стекло имеет следукиций химический состав, мас.%: SiO 42,84- 44,31; 4,69-7,04; 3,45- 5,42; BaO 19,08-24,35; CaO 17,22- 19,24; 5,10-7,26. Коэффициент линейного расширени стекла (86,9- 88,3) 10 1/град. Стекло относитс к I гидролитическому классу. 2 табл.The invention relates to the technology of silicates and is intended for the insulating coating of titanium substrates used in the manufacture of integrated circuits in electronic devices. In order to reduce the linear expansion coefficient, increase the moisture resistance and the specific volume resistivity, the electrically insulating glass has a follow-up chemical composition, wt%: SiO 42.84- 44.31; 4.69-7.04; 3.45-5.42; BaO 19.08-24.35; CaO 17.22-19.24; 5,10-7,26. The coefficient of linear expansion of glass (86.9- 88.3) 10 1 / degree. Glass belongs to the hydrolytic class I. 2 tab.

Description

со а о 4co a o 4

СХ) О5CX) O5

13664861366486

Изобретение относитс к техноло-т гии силикатов и предназначено дл создани , изол ционных покрытий на титановых подложках, используемых в электронных приборах.The invention relates to the technology of silicates and is intended to create insulating coatings on titanium substrates used in electronic devices.

Цель изобретени - снижение коэффициента линейного расширени , повышение влагоустойчивости и удельного объемного электросопротивлени .The purpose of the invention is to reduce the linear expansion coefficient, increase moisture resistance and specific volume resistivity.

Изобретение по сн етс конкретными составами электроизол ционного стек10The invention is illustrated by specific formulations of electrically insulated glass

ла, приведенными в табл. 1,la, are given in table. one,

Сырьевые материалы - кварцевый песок, глинозем, углекислый барий, углекислый кальций, борна кислота, оксид марганца, взвешивают на технических весах и тщательно перемешивают . Готовую шихту засыпают в ко- рундизовые тигли емкостью 0,1 л и помещают в газовую печь. Врем выдержки при максимальной температуре варки 1380120 С 1 ч.Raw materials - quartz sand, alumina, barium carbonate, calcium carbonate, boric acid, manganese oxide, are weighed on technical scales and mixed thoroughly. The finished mixture is poured into a 0.1 L corundy crucible and placed in a gas furnace. Exposure time at maximum cooking temperature 1380120 С 1 h.

Сваренную стекломассу выливают на воду дл получени гранул та, который затем высушивают и размалывают в планетарной мельнице,The welded glass melt is poured onto water to form a granulate, which is then dried and ground in a planetary mill.

Нанесение покрытий из разработанного стекла на пластины из титанового сплава ОТ-4 провод т методом трафаретной печати. Дл этого из стекл готов т пасту, добавл органические св зующие.Coating of the developed glass on the plates of titanium alloy OT-4 is carried out by screen printing. To do this, a paste is prepared from the glass by adding organic binders.

Пластины с нанесенным покрытием сушат на воздухе при 85 С в течение 15 мин, после чего обжигают в электрической конвейерной печи с максимальной температурой обжига , (врем нахождени в зоне максимальной температуры 0,5 ч).The coated plates are dried in air at 85 ° C for 15 minutes, after which they are calcined in an electric conveyor furnace with a maximum calcining temperature (residence time in the maximum temperature zone is 0.5 h).

Изготовление образцов дл определени физико-химических свойств осуществл ют методом отливки в сталные формы. Отжиг образцов провод т при в течение 2 ч в электрической муфельной печи. The preparation of samples for the determination of physicochemical properties is carried out by the method of casting into steel forms. The samples are annealed for 2 hours in an electric muffle furnace.

Предлагаемые составы обладают свойствами, приведенными в табл.2.The proposed compositions have the properties shown in table 2.

Использование титановых подложек с покрытием из предлагаемого состава электроизол ционного стекла обеспечивает повышение качества, надежности и долговечности микроэлектронных устройств.The use of titanium substrates with a coating of the proposed composition of electrically insulating glass improves the quality, reliability and durability of microelectronic devices.

Claims

Invention Formula

Electrically insulating glass, including SiOj, AljOg, BaO, CaO, characterized in that, in order to reduce the linear expansion coefficient, increase moisture resistance and specific volume resistivity, it additionally contains MnijiO in the following ratio of components, wt.%:

table 2

Cooking temperature, С 1380 ± 20 1380120 1380 ± 20 1380120

Temperature coefficient of linear expansion (20-: 300 C), e / -W deg.

Moisture resistance

weight loss,%

Hydrolytic class

Specific volume

electrical resistance

f. Ohm.cm (at 25 ° С)

The tangent of dielectric loss angle, tgcflO (when)

Dielectric constant, (when)

7.5

Specific volumetric resistivity, at 1.3-10

at

2.3-10

87,8

88.3

110