SU1145496A1 - Импульсный лазер на парах веществ - Google Patents

Импульсный лазер на парах веществ Download PDF

Info

Publication number
SU1145496A1
SU1145496A1 SU833629545A SU3629545A SU1145496A1 SU 1145496 A1 SU1145496 A1 SU 1145496A1 SU 833629545 A SU833629545 A SU 833629545A SU 3629545 A SU3629545 A SU 3629545A SU 1145496 A1 SU1145496 A1 SU 1145496A1
Authority
SU
USSR - Soviet Union
Prior art keywords
electrode
area
substrate
processing
foil
Prior art date
Application number
SU833629545A
Other languages
English (en)
Inventor
В.П. Пеленков
В.Е. Прокопьев
Н.А. Юдин
Original Assignee
Институт Оптики Атмосферы Со Ан Ссср
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Институт Оптики Атмосферы Со Ан Ссср filed Critical Институт Оптики Атмосферы Со Ан Ссср
Priority to SU833629545A priority Critical patent/SU1145496A1/ru
Application granted granted Critical
Publication of SU1145496A1 publication Critical patent/SU1145496A1/ru

Links

Landscapes

  • Electrical Discharge Machining, Electrochemical Machining, And Combined Machining (AREA)
  • Manufacturing Of Printed Circuit Boards (AREA)
  • Electrolytic Production Of Metals (AREA)

Abstract

СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ПЕЧАТНЫХ СХЕМ, включающий электрохимическую обработку фольгированной подложки вращающимс  электродом, на цилиндрической поверхности которого нанесен нега:тивный рисунок схемы отличающийс  тем, что, с целью повывени  надёжности схем за счет повыпени  точности обработки концевых участков схемы, обработку подложки провод т с переменной угловой скоростью вращени  ) электрода, причем скорость измен ют обратно пропорционально величине площади обрабатываемой поверхности подложки на участке контактировани  с электродом по формуле .u-e, &), 1 R-Z y.5-rv h коэффициент выхода по току,где электрохимический эквиваf лент материала фольги, г/Ас; (J напр жение на электродах, в; 3 б - площадь обрабатываемой .поверхности подложки см i У - плотность материала фольги, г/см, радиус электрода, см, R сопротивление межэлектродi е ного промежутка. Ом, «рдлина рабочей части электрода на участке обработки, см, Z толщина фольги, см. сл со 9д

Description

1 . - Изобретение относитс  к технологии производства печатных схем и мо жет быть использова«о при изготовле нии печатных схем методом размерной электрохимической обработки в услови х массового производства. Известен способ электрохимической обработки печатных плат в кото ром избирательную обработку участков фольгированной подложки осущест вл ют струей электролита, вытекающей из отрицательно зар женного соп ла, перемещающегос  по траектории, обеспечивающей получение заданного /рисунка, а положительный потенциал источника питани  подают на фоль У . Недостатком способа  вл етс  низ ка  разрешающа  способность изг-за делокализации процесса при растекании струи электролита по поверхнос и подложки. ; Наиболее близким к предлагаемому  вл етс  способ изготовлени  печатных схем, включающий электрохимичес кую обработку фольгированной поДлож ки вращающимс  электродом, на цилин рической поверхности которого в .качестве катодной поверхности нанесен негативный рисунок печатной схемы. В процессе формообразовани  рабочую поверхность вращающегос  электрода перемещают синхронно с обрабатьгоаемой поверхностью фольгированной заготовки , а в образовавшийс  между ними межэлектродный зазор прокачива ют электролит. В известном способе на рабочую, поверхность электрода подают отрицательный потенциал источника питани , а анодом служит фольга заготов ки. При этом скорость вращени  элек рода выбирают посто нной 2 . Недостатком известного способа  вл етс  низка  точность обработки коНцевых участков печатной схемы, так как при изменении площади обрабатываемой поверхности измен етс  сопротивление межэлектродного проме жутка и происходит перераспределение падени  напр жени  на посто нно внутреннем сопротивлении источника питани  с естественной вольт-амперной характеристикой и переменном сопротивлении межэлектродного проме жутка. При обработке концевых участ ков печатной схемы изменение напр ж ни  при посто нной скорости враще962 ни  электрода приводит к изменению скорости анодного растворени  материала и снижению точности обработки. На концевых участках печатной схемы проводники получаютс  более узкими , имеет место их подтравливание. При этом измен етс  площадь поперечного сечени  проводника, что  вл ет с  причиной локального перегрева проводника и снижени  надежности при эксплуатации. . Цель изoбpeteни  - повьшшние надежности схем за счет повышени  точности обработки концевых участков схемы. Поставленна  цель достигаетс  тем, что согласно способу изготовлени  печатных схем, включающему электрохимическ то обработку фольгированнсй подложки вращающимс  электродом, на цилиндрической поверхности которого нанесен негативный рисунок схемы , обработку подложки провод т с переменной угловой скоростью вращеНи  и (1/с) электрода, причем скорость измен ют обратно пропорционально величине площади обрабатываемой поверхности подложки на участке контактировани  с электродом по формуле е-и-бр - f ;;л:г где - коэффициент выхода по току; электрохимический эквивалент материала фольги, г/А«с; и - напр жение на электродах. В/ У - плотность материала фольги, 5 - площадь обрабатываемой поверхности , см , к - радиус электрода, см. R - сопротивление межэлектродного промежутка. ОмВр- длина рабочей части электрода на участке обработки, см; 2 - толщина фольги, см. В начальный и конечный период обработки , когда площадь обрабатьгоаемой поверхности измен етс  от нул  до номин .ального значени  и от номинального значени  до нул , напр жение на электродах измен етс  от величины ЭДС источника питани  до номинального значени  и от номинальной величины .до величины ЭДС источника питани . Изменение напр жени  на электродах приводит к изменен11ю скорости анод3 ного райтворени  токопровод щего сло , котора  увеличиваетс  на конц вых участках, что приводит к подтравливанию проводников и снижению точности обработки. Стабилизаци  напр жени  источника питани  не поз вол ет увеличить точность обработки ввиду нелинейного характера сопроти лени  межэлектродного промежутка пр изменении температуры, газонаполнени  и зашламленного электролита, Дп  компенсации изменени  напр жени  электродов при обработке концевых участков печатных схем измен  ют скорость вращени  электрода-инст румента, В этом случае скорость съе ма металла на концевых участках печатной схемы будет посто нной. На фиг, 1 представлена схема об работки, где показана фольгированна подложка 1 и электрод 2; на фиг, 2совмещенна  диаграмма изменени  напр жени  Up, площади обрабатываемой поверхности S, угловой скорости вращени  C3 электрода по длине обра батываемой поверхности печатной схе мы,. При положении II электрода 2 от J носительно обрабатываемой фольгированной подложки 1 напр жение, площадь обрабатьгеаемой поверхности и скорость прот гивани  посто нные. При обработке участка €р (положение I ) площадь обработки увеличиваетс  по мере входа электродаинструмента в зону обработки и умен шаетс  напр жение на межэлектродном промежутке (фиг, 2), Дл  полного растворени  фольги скорость вращени  электрода-инструмента измен ют обратно пропорционально величине площади обрабатьтаемой поверхности по указанной формуле. Приме Pi Обрабатывают печатный кабель шириной 30 мм, длиной 500 мм, Берут фольгированную подложку стеклотекстолита СФ-1-35 и фиксируют в приспособлении дл  электрохимического травлени . На цилиндрический электрод-катод подают отрицательный потенциал источника питани  напр жением .12В, а положительный потенциал подают на фольгу с противоположного началу обработки конца подложки, Ус6 4 танавливают межэлектродный зазор 80 мкм и подают электролит на основе 1А%-ного водного раствора NaNO со скоростью 15м/с, Обработку провод т импульсами тока длительностью 5 мс. На начальном и концевых участках, где площадь обрабатываемой. поверхности измен лась от О до 4 см , скорость вращени  катода измен ют обратно пропорционально площади обрабатываемой поверхности, В случае обработки печатных кабелей величина площади измен етс  по линейному закону , поэтому скорость вращени  равномерно мен лась от. 5 до 1 l/с, На участках с установившейс  площадью обработки скорость вращени  ка- тода-инструмента посто нна и составл ет 1 i/с , Дл  сравнени  обрабатывают аналогичные печатные платы с посто нной скоростью вращени  цилиндрического катода. Платы, обработанные с переменной скоростью вращени  электрода-инструмента (предла- гаемый способ), имеют одина.ковую; точность ширины проводников. Образцы, обработанные с посто нной скоростью, имеют меньшую на 0,5-0,7, мм ширину проводников на концевых участках. Дл  расчета О на концевых участках печатной схемы, где U var и S var, изменение U, R, S по длине fp осуществл ют путем замеров на образце, затем,подставив полученные значени  в уравнение, определ ют значени  Ы, Тогда в .соответствии с уравнением имеют: дл  случа  S 4 см . Р к 2zZ2-0.01978. с У/ 8,9-4.6.о7о44 0,0035 л  случа  S О,-4 см е-и-ер 2 .0127-iLi liL. -, , / 8,9.0,4-6«0,440,0035Т Использование изобретени  позвол ет повысить качество печатных схем, повысить производительность труда и устранить загр знение окружающей среды.
и
Ши
fpUB.I
фиг.2

Claims (1)

  1. СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ПЕЧАТНЫХ СХЕМ, включающий электрохимическую обработку фольгированной подложки вращающимся электродом, на цилиндрической поверхности которого нанесен негативный рисунок схемы, о тлич ающийс я тем, что, с целью повывения надёжности схем за счет повывения точности обработки концевых участков схемы, обработку подложки проводят с переменной угловой скоростью вращения QK(1/c) электрода, причем скорость изменяют обратно пропорционально величине площади обрабатываемой поверхности подложки на участке контактирования с электродом по формуле ε u-gp где h - коэффициент выхода по току,· £ - электрохимический эквивалент материала фольги, г/Ас;
    И - напряжение на электродах, в;
    S - площадь обрабатываемой .поверхности подложки, см2
    J - плотность материала фольги, г/см3, гк - радиус электрода, см,·
    R - сопротивление межэлектродного промежутка, Ом,
    Вр - длина рабочей части электрода на участке обработки, см,’
    И - толщина фольги, см.
    1 1145496 1
SU833629545A 1983-07-27 1983-07-27 Импульсный лазер на парах веществ SU1145496A1 (ru)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU833629545A SU1145496A1 (ru) 1983-07-27 1983-07-27 Импульсный лазер на парах веществ

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU833629545A SU1145496A1 (ru) 1983-07-27 1983-07-27 Импульсный лазер на парах веществ

Publications (1)

Publication Number Publication Date
SU1145496A1 true SU1145496A1 (ru) 1985-03-15

Family

ID=21077178

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
SU833629545A SU1145496A1 (ru) 1983-07-27 1983-07-27 Импульсный лазер на парах веществ

Country Status (1)

Country Link
SU (1) SU1145496A1 (ru)

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
1. Авторское свидетельство СССР 210851, кл. Н 05 К 3/06, 1965. 2. Патент US W 3239441, кл. 204-143, 1967 (прототип). *

Similar Documents

Publication Publication Date Title
Malik et al. An experimental investigation on developed WECSM during micro slicing of e-glass fibre epoxy composite
CA1085177A (en) Apparatus and method of assisting pile driving by electro-osmosis
GB710235A (en) Printed electric circuits and electric circuit components
US6099709A (en) Method of producing an electrode foil for use in aluminum electrolytic capacitors
SU1145496A1 (ru) Импульсный лазер на парах веществ
CA1156317A (en) Removal of metal coating from dielectric material by corona discharge
JP3241936B2 (ja) 絶縁材料の放電加工方法
US4053977A (en) Method for etching thin foils by electrochemical machining to produce electrical resistance elements
Kwon et al. Wall Profile Developments in Through‐Mask Electrochemical Micromachining of Invar Alloy Films
US6596152B2 (en) Method and device for simultaneous arc processing and chemical etching
JPH0353099A (ja) Ta基材の加工方法
Harugade et al. A comparative study for selection of effective electrolyte solution for electrochemical discharge machining
JPS60189939A (ja) 薄層電気回路の形成法
US3324276A (en) Spark erosion apparatus and method of removing thin metal layers
XIA et al. Research on removal amount difference between anode and cathode in EDM process
Trinh et al. Large area controllable ITO patterning using micro-EDM and electrochemical etching
JP4442944B2 (ja) 非導電性材料の放電加工方法
SU984080A1 (ru) Электрод-инструмент дл изготовлени печатных кабелей с параллельными проводниками на фольгированной подложке
RU2519266C2 (ru) Способ изготовления печатных плат из фольгированных диэлектриков
JP2632235B2 (ja) アルミニウム製品の連続電解処理装置および方法
SU1133053A1 (ru) Способ электрохимической обработки печатных кабелей
KR820002089B1 (ko) 페라이트(Ferrite)의 가공법
Chaudhary et al. Parametric Optimization and Consequences of Instant Electrolyte Temperature on MRR of Electro Chemical Discharge Machining (ECDM) for Micro Machining on Borosilicate Glass
SU854662A1 (ru) Способ электрохимической обработки
JPH01234114A (ja) 放電加工用電源装置