SU1140170A1

SU1140170A1 - Устройство дл осаждени цилиндрических магнитных пленок на подложку

Info

Publication number: SU1140170A1
Application number: SU833588784A
Authority: SU
Inventors: Елена Касторовна Станина; Татьяна Николаевна Шадрина; Людмила Ивановна Пыхтина; Любовь Константиновна Стяжкина; Виктор Сергеевич Пилексин; Владимир Павлович Гогин
Original assignee: Предприятие П/Я В-2969
Priority date: 1983-05-04
Filing date: 1983-05-04
Publication date: 1985-02-15

Abstract

УСТРОЙСТВО ДЛЯ ОСАВДЕНИЯ ЦИЛИНДРИЧЕСКИХ МАГНИТНЫХ ПЛЕНОК А НА ПОДЛОЖКУ, содержащее анодную коробку с двум боковыми соосными отверсти ми , внутри которой расположены группы анодов и анионитовые мембраны , отличающеес тем, что, с целью упрощени устройства, аноды групп выполнены в виде плоских пластин или штырей и расположены в анодной коробке в два р да параллельно оси анодной коробки, проход щей через ее боковые отверсти , причем плоские пластины или штыри казвдой группы расположены внутри соответствующей анионитовой мембраны , выполненной в форме пр моугольного параллелепипеда. « Jik О

Description

Изобретение относится к вычислительной технике и может быть использовано при производстве цилиндрических магнитных пленок (ЦМП) для оперативных запоминающих устройств ме- 5 тодом электроосаждения магнитного сплава на металлическую подложку.

Известно устройство для осаждения ЦМП на подлложку, содержащее электролизер с цилиндрическими ано- 10 дами tl1.

Недостатком этого устройства является его сложность.

Наиболее близким к предлагаемому является устройство для осаждения 15 ЦМП на подложку, содержащее анодную камеру, выполненную в виде металлического анодного кольца с электрическим выводом, и анионитовую мембрану также в виде кольца для разделе- 20 ния анодного и катодного пространстве?].

Недостатками известного устройства являются необходимость остановки всей технологической линии при замене анодных колец в случае их 25 неисправности, усложнение процесса установки проволочной подложки при протягивании ее через анодные кольца в процессе подготовки технологической линии к работе. 30

Цель изобретения - упрощение устройства для осаждения ЦМП на подложку.

Поставленная цель достигается тем, что в устройстве для осаждения ЦМП на подложку, содержащем анодную коробку с двумя боковыми соосными отверстиями, внутри которой расположены группы анодов и анионитовые мембраны, аноды группы выполнены „ 4U в виде плоских пластин или штырей.., и расположены в анодной коробке в два ряда параллельно оси анодной коробки, проходящей через ее боковые отверстия, причем плоские пластины или штыри каждой группы расположены внутри соответствующей анионитовой мембраны, выполненной в форме прямоугольного параллелепипеда.

На чертеже схематически представлена конструкция предлагаемого устройства.

Устройство для осаждения ЦМП на подложку содержит анодную коробку 1 с двумя боковыми соосными отверстиями^ и съемной крышкой 2, изготовленную

2 из винипласта. В .боковые отверстия вставляются штуцеры ·3, через которые по центру анодной коробки проходит проволочная подложка 4, на которую происходит осаждение магнитного сплава. По бокам крышки прикреплены две анионитовые мембраны 5 в форме прямоугольного параллелепипеда, предназначенные для разделения анодного и катодного пространств, внутри каждой анионитовой мембраны 5 равномерно по ее длине расположены группы платиновых анодов 6, выполненных в виде штырей или плоской пластины. Концы анодов ^выведены на крышку анодной коробки и заканчиваются клеммами 7 для подвода электрического тока извне.

Устройство работает следующим образом.

Перед началом раббты технологической линии проволочную подложку 4 устанавливают в анодную коробку 1, затем в нее заливают электролит и сверху закрывают крышкой 2 с прикрепленными к ней анионитовыми мембранами,в которых установлены плоские аноды.Через отверстия в крышке электролит заливают также в околоанодное пространство, ограниченное мембранами.

При подаче напряжения между ано. дом и катодом анионы электролита устремляются к аноду, а катионы — к катоду. Катионы, восстанавливаясь на катоде, образуют электролитическое покрытие на проволочной подложке. Анионы проходят анионитовую мембрану и окисляются, отдавая аноду заряд. Анионитовая мембрана 5 не пропускает обратно в электролит продукты анод. ного окисления. Эти продукты накапливаются в околоанодном пространстве, образованном анионитовой мембраной, не распространяются в катодное пространство и не оказывают вредного влияния на процессы катодного осаждения.

Изобретение позволяет существенно упростить технологический процесс осаждения ЦМП, так как в случае ремонта элемента при его разгерметизации крышку с анодами можно снять и заменить новой, не останавливая линии и не обрезая проволочную подложку. Кроме того, благодаря прямоугольной форме анионитовых мембран и плоской форме анодов существенно упрощается конструкция самого устройства.

ВНИИПИ Заказ 266/40 . Тираж.584___Подписное,

ФилмвлпПП^пПатент , г. Ужгород, ул.Проектная,4

Claims

УСТРОЙСТВО!ДЛЯ ОСАВДЕНИЯ

ЦИЛИНДРИЧЕСКИХ МАГНИТНЫХ ПЛЕНОК

НА ПОДЛОЖКУ, содержащее анодную коробку с двумя боковыми соосными отверстиями, внутри которой расположены группы анодов и анионитовые мем* браны, отличающееся тем, что, с целью упрощения устройства, аноды групп выполнены в виде плоских пластин или штырей и расположены в анодной коробке в два ряда параллельно оси анодной коробки, проходящей через ее боковые отверстия, причем плоские пластины или штыри каждой группы расположены внутри соответствующей анионитовой мембраны, выполненной в форме прямоугольного параллелепипеда.

SU ,.,1140170

1 11401