SU1122756A1 - Раствор дл очистки деталей из коррозионностойких сплавов - Google Patents

Abstract

РАСТВОР ДЛЯ ОЧИСТКИ ДЕТАЛЕЙ ИЗ КОРРрЗИОННОСТОЙКИХ СПЛАЮВ преимущественно системы железо-никёль-хром, содержащий гидроксид натри , динатриевую соль этилендиаминтетрауксусной кислоты (трилон Б), поверхностноактивное вещество и воду, отличающийс  тем, что, с целью повышени  качества очистки поверхности , он дополнительно содержит, диметилформамид , а в качестве поверхностно-активного вещества смесь моноалкиловых эфиров полиэтиленгликол  на основе первичных жирных спиртов (синтанол ДС-10) при следукицем соотношении компонентов, мас.%: Гидроксид натри  1-2 Трилон Б1,5-2,0 Диме тилформамид 12-15 Синтанол ДС-10 0,2-0,3 ВодаОстальное

Description

1 Изобретение относитс  к химической обработке металлических поверхностей , а именно к. очистке деталей из сплавов железо-никель-хрома, и может быть использовано дл  очистки металличсескнх поверхностей перед вакуумньм напылением диэлектрика на основе Cr-SiO в микроэлектронике при подготовке поверхностей перед нанесением гальванических покрытий. Дл  получени  высококачественных тензосхем по тонкопленочной технологии большое значе;зие имеет не только тшательна  химическа  очистка металлических подложек из коррозионностой ких сплавов на Fe-N.-Cr, но и активаци  ее по:зерхности, т.е. соз дание активных центров, способствующих , увеличению а гезии напыл емого материала к подлозкке. Лобые пленки (кировые, окисные и др,) создава  барьер на чистой поверхности металла, преп тствуют Прочному сцеплению покрытий. Известен щелочньй раствор дл  обезжиривани  полированных деталей L11 содержащий компоненты в сле дующем соотношении,, мае.%: Гидроокись натри  2,0-3,0 Тринатрийфосфа 7-8 Жидкое стекло 0,5-0,8 Добавка ОП-7 или ОП-10 0,5-0,7 Вода деионизов нна  Остальное Этот состав со с ержит все компонен ты, не6бходи1уые кл,  удалени  жиров так и минерального как растительного. происхождени . . Гидроокись натри  опыл ет жиры жи вотного и растительного происхождени , перевод  их в хорошорастворимые в воде соединени . Жидкое стекло образует на поверхности металла тонкие пленки, которые защищают очищенную| поверхность метал ла от коррозии. I Соединени  OII-7 или ОП-10 при тем пературе свыше 60°С образуют с минеральньми жирами змульсии. Известные щелочные составы дл  хи мической обработки металлических поверхностей , несмот;з  на то, что они дешевы и практичес ки безопасны в обращении , не всегда обеспечивают дост жение требуемой чистоты поверхности металлических подложек из коррозион- 55

ностойких сталей, необходимой дл  получени  тензосхем иысокого качества, приведенные составы не всегда полносвключений и т.д.).

Целью изобретени   вл етс  повьшение качества очистки поверхности. 56 тью удал ют с поверхности подложек низкомолекул рные продукты, что приводит к понижению адгезионной способности напыл емого материала с подложкой , а иногда и его отслоению. Кроме того, подложки, прошедшие обработку вышеуказанными составами, требуют тщательной финишной очистки деионизированной водой. Но даже сама  тщательна  финишна  очистка не может полностью удалить с поверхности подложки ионы NaJ, которые привод т к известному эффекту нестабильности зар да. Наличие низкомолекул рных продуктов и ионов щелочных металлов на поверхности подложки влечет за собой образование пор в диэлектрических напыленных пленках, что приводит к отрицательному эффекту. Кроме того, дл  получени  поверхности, отвечающей требовани м современной технологии микро:электроники , кроме обработки вьшёуказанны- ми составами требуетс  предварительна  ее обработка органическими растворител ми дл  удалени  минеральных масел , полировочных паст, консистентных смазок, что облегчает дальнейшее удаление их с поверхности металла. Наиболее близким к изобретению по технической сущности  вл етс  раствор дл  очистки металлических поверхностей , содержащий гидроксид натри , трилон Б и поверхностно-активное вещество. Это раствор предназчен дл  очистки трубопроводов или других металлических поверхностей, к которым не предъ вл етс  высоких требований по качеству очистки, к полированию поверхности после очистки, к наличию ионов щелочных металлов на поверхности. Этот состав содержит значительно больше гидроксидов щелочных металлов, способных пассивировать поверхность подложки из сплавов на Fe-Ni-Cr основе С2. . I Недостатком раствора  вл етс  то, то растворы, содержащие большое коичество щелочных металлов Na, отриательно вли ют на электрические хаактеристики микроэлектронных устройств . Больша  концентраци  активно воздействующих на полированную поерхность веществ приводит к коррозии в местах расположени  металлургических дефектов (пор, неметаллических Указанна  цель достигаетс  тем, что раствор дл  очистки деталей из коррозионностойких сплавов преимущественно системы железо-никель-хром, содержащий гидроксид натри , динатриевую соль этилендиаминтетрауксусной кислоты (трилон Б), поверхностно активное вещество и воду, дополнительно содержит диметилформамид, а в качестве поверхностно-активного вещества смесь моноалкиловых эфиров полиэтиленгликол  на основе первичных жирных спиртов (синтанол ДС-10) при следующем соотнощении компонентов , мае.%: Гидроксид натри  Динатриева  соль этилендиаминтетрауксусной кислоты ( трилон Б) 1,5-2,0 12-15 Диметилформамид 0,2-0,3 Синтанол ДС-10 Остальное Раствор характеризуетс  высокой степенью очистки и большой маслоем костью , способностью сохран ть высокое моющее действие до накоплени  в них 60-80 г/л масл нистых загр зне ний, что позвол ет интенсифицировать процесс подготовки поверхности перед напьшением и способствует существенному увеличению срока службы состава Эффективность обезжиривани  раствора велика за счет введени  диметил формамида и трилона Б. Диметилформамид (СН,), NCOH,, вл  сь хоротиим органическим растворителем , способен экстрагировать жировые загр знени  благодар  сродству химической структуры их молекул. Трилон Б используетс  как комплек сон, который настолько прочно св зывает ионы металлов, что последних в растворе практически не остаетс . Он (удал ет остатки полировочных паст, механические примеси и переводит в раствор даже такие, почти нераствори мые в воде соединени , как оксалат кальци , сульфат бари  и т.д. В качестве поверхностно-активного вещества используют смесь моноалкилфеноловых эфиров полиэтиленгликол  на основе первичных жирных спиртов формулы RO(CH2CH2О). Н, где R алкильный радикал, содержащий tO 13 атомов углерода и п 10. Приготовление раствора осуществ л етс  следующим образом. Навеску синтанола ДС-10 и трилона Б раствор ют в деионизованной воде при 50-60 0. Полученный раствор приливают к диметилформамиду, перемешивают , затем порци ми добавл ют навеску гидроокиси натри  при тщательном перемешивании.. До общего объема довод т раствор деионизованной водой, и перемешивают не менее. 2-3 мин. -В табл. 1 представлено соотношение компонентов исследованных составов ,- в табл. 2 - технологические параметры очистки и результаты исследовани  металлических поверхностей . За базовый прин т состав, содержащий компоненты в следующем соотношении , мас.%: Гидроокись натри  2 Тринатрийфосфат 5 Натрий углекислый 2,5 Жидкое стекло 0,5 ВодаОстальное Исход  из данных таблиц видно, что растворы № 1-3 удовлетвор ют требовани м к раствору дл  очистки металлических поверхностей из высококоррозионных сплавов. Обработка поверхности в данных растворах позвол ет . удал ть минеральные масла, полировочные пасты, консистентные смазки, в т.ч. низкомолекул рные продукта и ионы щелочных метадпов, что, в свою очередь, позвол ет увеличить адгезию пленок на металлических подложках . Концентраци  ионов натри  в растворе снижена до минимума, а количество имеющегос  в составе трилона Б обеспечивает полное удаление ионов натри  с поверхности, фметипформамид введен дл  экстрагировани  отработанного поверхностно-активного вещества (синтанола), усилени  действи  остальных компонентов раствора и защиты очищенной поверхности от коррозии и пассивации под действием гидроксида натри . Предлагаемый раствор обеспечивает более качественную очистку с концентрацией остаточных загр знений не более 110 г/см.

. Продолжение таблицы

Синтанол ДС-tO

0,25 Вода Остальное

2 15

0,3 Остальное

Claims (1)

1. РАСТВОР ДЛЯ ОЧИСТКИ ДЕТАЛЕЙ ИЗ КОРРОЗИОННОСТОЙКИХ СПЛАВОВ преимущественно системы железо-никёль-хром, содержащий гидроксид натрия, динат- риевую соль этилендиаминтетрауксусной кислоты (трилон Б), поверхностноактивное вещество и воду, отличающийся тем, что, с целью повышения качества очистки поверхности, он дополнительно содержит диме тилформамид, а в качестве поверхностно-активного вещества смесь моно- . алкиловых эфиров полиэтиленгликоля на основе первичных жирных спиртов (синтанол ДС-10) при следующем соотношении компонентов, мас.%:

   Гидроксид натрия Трилон Б Диме тилформамид Синтанол ДС-10 Вода

   1-2

   1.5-2,0 12-15 0,2-0,3 Остальное