SU1116301A1 - Устройство дл контрол толщины пленок - Google Patents

Abstract

УСТРОЙСТВО ДЛЯ КОНТРОЛЯ ТОЛЩИНЫ ПЛЕНОК, содержащее излучаю1ЦИЙ тракт, состо щий из последовательно соединенных источника СВЧ излучени , пол ризатора, вращател  плоскости пол ризации и излучак цей антенны, первый приемный тракт, сос .то щий из последовательно соединенных первой приемной антенны, делител  электромагнитной волны на две ортогонально-пол ризованные составл к цие , к второму выходному плечу которого подсоединен вращатель плоскости пол ризации, коммутатора,- детектора и блока обработки сигнала, при этом выход вращател  плоскости пол ризации соединен с вторым входом коммутатора, а также индикатор, при этом электрические оси излучающей и первой приемной антенн ориентированы под углом 2 oL друг к другу и под углом к плоскости исследуемой пленки, где Ф - угол падени  СВЧ излучени  на исследуемую пленку, отличающеес  тем, что, с целью повышени  точности контрол  двухслойных пленок и покрытий листовых i диэлектриков, введень- отражатель, (Л который выполнен в виде пол ризующей проволочной решетки и расположен на пути распространени  СВЧ волны, прошедшей через исследуемую пленку, вторай приемна  антенна,котора  соединена с введенной согласованной нагрузкой и размещена за отражателем, второй приемный тракт, идентичный первому приемному тракту, и блок вы читани , подключенный к выходам пер&о вого и второго приемного трактов.

Description

I Изобретение относитс  к измери- тельной технике и может использовать с  в химической, радиотехнической промышленности дл  неразрушающего ко трол  толщины двухслойных пленок, в частности покрытий листовых диэлектриков . Известно устройство дл  контрол  толщины пленок етодом СВЧ, содержащее последовательно соединенные гене ратор, модул тор, вращатель плоскост пол ризации и анализатор, между кото рыми расположен контролируемый образец , два приемника на выходах аналвзатора , три измерител  отношени  напр жении , коммутатор, компаратор, корректор, манипул тор и индикатор СИ Однако данное устройство сложно п конструкции и его точность уже при малых вариаци х характеристик и свойств подложек недостаточна. Наиболее близким техническим реше нием к изобретению  вл етс  устройст во дл  контрол  толщины пленок, содержащее излучающий тракт, состо щий из последовательно соединенных источ ника СЕЧ излучени , пол ризатора, вращател  плоскости пол ризации и из лучающей антенны, первый приемный гракт, состо щий из последовательно соединенных первой приемной антенны, делител  электромагнитной вoJiJHЫ на две ортогонально-пол ризованные составл ющие , к второму выходному плечу которого подсоединен вращатель плоскости пол ризации, коммутатора, детектора и блока обработки сигнала, при этом выход вращател  плоскости пол ризации соединен с вторым входом коммутатора, а также индикатор, при этом электрические оси излучающей и первой приемной антенн ориентирова ны под углом 2ф друг к другу и под углом 90 ф к плоскости исследуемой пленки, где ф - угол падени  СВЧ J (- J л VJi Itr LJ1. / Л-/ J, излучени  на исследуемую пленку С21. Однако известное устройство дл  контрол  толщины пленок не обеспечивает высокую точность контрол  двухслойных пленок и покрытий листовых диэлектриков. Цель изобретени  - повышение точности контрол  двухслойных пленок И покрытий листовых диэлектриков. Цель достигаетс  тем, что в уст .ройство дл  контрол  толщины пленок, содержащее излучающий тракт, состо щий из последовательно соединенных 1 012 источника СВЧ излучени , пол ризатора , вращател  плоскости пол ризации и излучающей антенны, первый приемный тракт, состо щий из последовательно соединенных первой приемной антенны, делител  электромагнитной волны на две ортогонально-пол ризованные составл ющие, к второму выходному плечу которого подсоединен вращатель плоскости пол ризации, коммутатора , детектора и блока обработки сигнала, при этом выход вращател  плоскости пол ризации соединен с вторым входом коммутатора, а также инди|катор , при этом электрические оси излучающей и первой приемной антенн ориентированы под углом 2ф друг к другу и под углом к плоскости исследуемой пленки, где ф - угол падени  СВЧ излучени  на исследуемую пленку, введены отражатель, который выполнен в виде пол ризующей проволочной решетки и расположен на пути распространени  СБЧ волны, прошедшей через исследуемую пленку, втора  приемна  антенна, котора  соединена с введенной согласованной нагрузкой и размещена за отражателем, второй приемный тракт, идентичный первому приемному тракту, и блок вычитани , |подключенный к выходам первого и второго приемного трактов. На чертеже приведена структурна  электрическа  схема устройства дл  контрол  толщины пленок. Устройство дл  контрол  толщины пленок содержит излучающий тракт 1, состо щий из последовательно соединенных источника 2 СБЧ излучени , пол ризатора 3, вращател  А плоскости пол ризации и излучающей антенны 5, первый приемньм тракт 6, состо щий из последовательно соединенных первой приемной антенны 7, делител  8 электромагнитной волны на две ортогонально-пол ризованные составл ющие, коммутатора 9, детектора 10, блока 11 обработки сигнала, а также индикатор 12, при этом электрические оси излучающей и первой приемной антенн 5 и 7 ориентированы, например, под углом 90 другк другу и под углом 45 к плоскости исследуемой пленки 13, отражатель 14, который выполнен в виде пол ризующей проволочной решетки , вторую приемную антенну 15, котора  соединена с введенной согласованной нагрузкой 16, второй прием

Claims (1)

1. УСТРОЙСТВО ДЛЯ КОНТРОЛЯ ТОЛЩИНЫ ПЛЕНОК, содержащее излучающий тракт, состоящий из последовательно соединенных источника СВЧ излучения, поляризатора, вращателя плоскости поляризации и излучающей антенны, первый приемный тракт, состоящий из последовательно соединенных первой приемной антенны, делителя электромагнитной волны на две ортогонально-поляризованные составляющие, к второму выходному плечу которого подсоединен вращатель плоскости поляризации, коммутатора,· детектора и блока обработки сигнала, при этом выход вращателя плоскости поляризации соединен с вторым входом коммутатора, а также индикатор, при этом электрические оси излучающей и первой приемной антенн ориентированы под углом 2 6L друг к другу и под углом 90°-ψ к плоскости исследуемой пленки, где ψ - угол падения СВЧ излучения на исследуемую пленку, отличающееся тем, что, с целью повышения точности контроля двухслойных пленок и покрытий листовых диэлектриков, введены отражатель, который выполнен в виде поляризующей проволочной решетки и расположен на пути распространения СВЧ волны, прошедшей через исследуемую пленку, вторая приемная антенна,которая соединена с введенной согласованной нагрузкой и размещена за отражателем, второй приемный тракт, идентичный первому приемному тракту, и блок вычитания, подключенный к выходам первого и второго приемного трактов.