SU1113180A1 - Центрифуга дл нанесени фоторезиста на пластины - Google Patents

Abstract

ЦЕНТРИФУГА ДЛЯ НАНЕСЕНИЯ . ФОТОРЕЗИСТА НА ПЛАСТИНЫ, содержаща  корпус, крышку с воздушной камерой, тормозной накладкой и штуцером дл  подачи сжатого воздуха, столик дл  размещени  пластин, соосно расположенные внутри корпуса на подшипниках маховик с фрикционной накладкой и шпиндель, на котором установлен с возможностью вертикального перемещени  диск сцеплени , размещенный между тормозной накладкой и фрикционной накладкой, и приспособление дл  вакуумного присоса пластин, отличающа с  тем, что, с целью повышени  равномерности распределени  фоторезиста на пластине за счет сокращени  времени разгона центрифуги , воздушна  камера сверху перекрыта диском сцеплени , на нижней поверхности которого выполнены дросселирующие радиальные и дуговые микроканавки .

Description

со сх Изобретение относитс  к устройст вам дл  нанесени  покрытий со средс вами дл  распределени  на поверхнос ти издели  материала покрыти  и может быть использовано в производстве полупроводниковых приборов, в ча стности дл  нанесени  светочувствительного сло  на полупроводниковые пластины микросхем с субмикронными элементами топологии. Известна центрифуга дл  нанесени  фоторезиста на пластины, включающа  сборник фоторезиста, установ ленную внутри него вращающуюс  оправку дл  вакуумного закреплени  пл тины, канал дл  подвода вакуума, ва куумное уплотнение и электродвигатель , причем оправка установлена на валу электродвигател , а вакуумное уплотнение выполнено в виде вращающихс  шайб из антифрикционного мате риала и неподвижного диска, размещенного между ними, при этом каналы дал  подвода вакуума выполнены в тел диска .11. Конструкци  известной центрифуги не обеспечивает высокое качество пленки фоторезиста. Пленка имеет ра ную толщину, обусловленную значител ным временем разгона центрифуги. Кр ме того, известный антифрикционный материал, например фторопласт, не обеспечивает скорость центрифуги, н обходимую дл  получени  пленки фото резиста толщиной менее 1 мкм. Более близкой к изобретению по технической сущности и достигаемому результату  вл етс  центрифуга дл  нанесени  фоторезиста на.пластины, содержаща  корпус, крышку с воздушной камерой, тормозной накладкой и штуцером дл  подачи сжатого воздуха , столик дл  размещени  пластин соосно расположенные внутри корпуса на подшипниках маховик с фрикционной накладкой и шпиндель, на котором установлен с возможностью вертикального перемещени  диск сцеплени , размещенный между тормозной накладкой и фрикционной накладкой, и приспособление дл  вакуумного присоса пластин t2, В известной центрифуге на шпинделе закреплен шарикоподшипник дл  передачи от толкател , соединенного с диафрагмой воздушной камеры, осевого движени  диску сцеплени , что необходимо дл  осуществлени  контакта диска сцеплени  с фрикционной, накладкой вращающегос  маховика. В известной центрифуге из-за наличи  на шпинделе шарикового подшипника , увеличивающего маховой момент шпиндел , а также из-за сил трени  в этом подшипнике, возникающих в момент действи  толкател  на наружное кольцо подшипника, создаетс  дополнительное сопротивление ее разгону , в технической характеристике указано, что известна  центрифуга набирает скорость 8000 об/мин за 0,03 с. Это врем  разгона слишком велико дл  того, чтобы обеспечить необходимую равномерность покрыти  пластины пленкой толщиной 0,3 мкм, что  вл етс  об зательным условием дл  получени  высококачественной пленки. Цель изобретени  - повышение равномерности распределени  фоторезиста на пластине за счет сокращени  времени разгона центрифуги. Поставленна  цель достигаетс  тем, что в центрифуге дл  нанесени  фоторезиста на пластины, содержащей корпус , крышку с воздушной камерой, тормозной накладкой и штуцером дл  подачи сжатого воздуха, столик дл  размещени  пластин, соосно располоf- женные внутри корпуса на подшипниках маховик с фрик1.ионной накладкой и шпиндель, на котором установлен с возможностью вертикального перемещени  диск сцеплени , размещенный между тормозной накладкой и фрикционной накладкой, и приспособление дл  вакуумного присоса пластин, воздушна  камера сверху перекрыта диском сцеплени , на нижней поверхности которого выполнены дросселирующие радиальные и дуговые микроканавки. На фиг. 1 схематично изображена . центрифуга, )одольный разрез; на фиг. 2 - диск сцеплени , вид снизу; на фиг. 3 - разрез А-А на фиг. 2. Центрифуга дл  нанесени  фоторезиста на пластины содержит крышку 1 и корпус 2, в котором размещена опора 3. На опоре 3 закреплены подшипники 4, в которых размещен маховик 5 с фрикционной накладкой б, а также подшипники 7 г в которых расположен шпиндель 8. На крышке 1 имеетс  тормозна  накладка 9. Между фрикционной накладкой 6 и тормозной накладкой 9 расположен диск 10 сцеплени  закрепленный на шпинделе 8 с возможностью перемещени  в вертикальном направлении. На нижней стороне диска 10 выполнены дросселирующие радиальные и дуговые микроканавки 11 глубиной 0,5-0,8 мм дл  подачи в них сжатого воздуха под давлением 3 4 кгс/см. Крышка 1 выполнена с воздушной камерой 12, сверху перекрытой диском 10 сцеплени  и ограниченной в верхней части боковых сторон тормозной Накладкой 9, с каналом 13 и штуцером 14 дл  подачи сжатого воздуха в воздушную камеру 12. Центрифуга включает также столик 15 дл  размещени  пластин, соединенный со шпинделем 8. Центрифуга имеет штуцер 16 с лабиринтным уплотнением 17 дл  осуществлени  через него вакуумного присоса пластин и пружину 18 дл  обеспечени  контакта диска 10 сцеплени  с тормозной накладкой 9.

Центрифуга работает следующим образом .

Маховик 5 приводитс  в посто нное вращение через плоскоременную передачу от электродвигател  (не показан ) . Полупроводникова  пластина (не показана), предназначенна  дл  нанесени  планки фоторезиста, укладываетс  на столик 15 и закрепл етс  на нем вакуумным присосом через 1чтуцер 16. В центре пластины наноситс  необходимое количество фоторезиста. Затем через штуцер 14 и канал 13 производитс  подача сжатого воздуха который поступает в воздушную камеру 12, а оттуда - под диск 10 сцеплени  через микроканавки 11 и равHOMepfho распредел етс  под всей нижней поверхностью диска. Между диско 10 сцеплени  и тормозной накладкой 9 образуетс  воздушна  подушка, Диск 10 сцеплени , выполн ющий роль аэростатического подп тника с газовой смазкой, смещаетс  вверх на ;0,03-0,04 мм, прижимаетс  к вращающейс  фрикционной накладке 6 и мгновенно приводит во вращение шпиндель 8. При этом.происходит распределение фоторезиста по всей поверхности пластины. Дл  выключени  центрифуги прекращают подачу сжатого воздуха через штуцер 14 и канал 13. Диск 10 сцеплени  опускаетс  вниз и под действием пружины 18 прижимаетс  к тормозной накладке 9, в результате чего центрифуга быстро останавливаетс . Затем выключают вакуумный присос и пластину с нанесенным покрытием фоторезиста снимают со столика 15. Конструкци  центрифуги обеспечивает получение эффекта аэростатического подп тника, в результате чего за счет частичного исключени  сил трени , тормоз щих движение шпиндел , уменьшаетс  маховой момент шпиндел . При - этом врем  разгона центрифуги сокращаетс  до 0,015-0,02 с, что позвол ет при ускорении растекани  фоторезиста исключить возникновение разнотолщинности пленки от центра пластины к периферии и проколов на пленке и тем самым повысить качество покрыти .

Использование предлагаемого изобретени  обеспечивает увеличение выхода годной продукции за счет повышени  равномерности распределени  фоторезиста на пластине в 2 раза по сравнению с прототипом.

fO

fj

Y/y/yy/ / X

Ю

А-А

i

Y/y////yA

1Х ХХХ/Х

Claims (1)

1. ЦЕНТРИФУГА ДЛЯ НАНЕСЕНИЯ ФОТОРЕЗИСТА НА ПЛАСТИНЫ, содержащая корпус, крышку с воздушной камерой, тормозной накладкой и штуцером для подачи сжатого воздуха, столик для размещения пластин, соосно располо женные внутри корпуса на подшипниках маховик с фрикционной накладкой и шпиндель, на котором установлен с возможностью вертикального перемещения диск сцепления, размещенный между тормозной накладкой и фрикционной накладкой, и приспособление для вакуумного присоса пластин, отличающаяся тем, что, с целью повышения равномерности распределения фоторезиста на пластине за счет сокращения времени разгона центрифуги, воздушная камера сверху перекрыта диском сцепления, на нижней поверхности которого выполнены дрос селирующие радиальные и дуговые микроканавки.