RU214216U1 - Устройство для передачи вакуума через вращающийся вал - Google Patents
Устройство для передачи вакуума через вращающийся вал Download PDFInfo
- Publication number
- RU214216U1 RU214216U1 RU2022106028U RU2022106028U RU214216U1 RU 214216 U1 RU214216 U1 RU 214216U1 RU 2022106028 U RU2022106028 U RU 2022106028U RU 2022106028 U RU2022106028 U RU 2022106028U RU 214216 U1 RU214216 U1 RU 214216U1
- Authority
- RU
- Russia
- Prior art keywords
- vacuum
- seals
- shaft
- housing
- rings
- Prior art date
Links
- 229920002313 fluoropolymer Polymers 0.000 claims abstract description 5
- 229910001220 stainless steel Inorganic materials 0.000 claims abstract description 3
- 239000010935 stainless steel Substances 0.000 claims abstract description 3
- 238000009434 installation Methods 0.000 abstract description 3
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 abstract 2
- 238000005119 centrifugation Methods 0.000 abstract 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 abstract 1
- 239000000758 substrate Substances 0.000 abstract 1
- 238000005406 washing Methods 0.000 abstract 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 4
- 238000000034 method Methods 0.000 description 2
- 229920001343 polytetrafluoroethylene Polymers 0.000 description 2
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 1
- 239000000571 coke Substances 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 238000011089 mechanical engineering Methods 0.000 description 1
- 229920002120 photoresistant polymer Polymers 0.000 description 1
- 238000007789 sealing Methods 0.000 description 1
Images
Abstract
Полезная модель предназначена для использования в технологических установках обработки полупроводниковых пластин методом центрифугирования (операции нанесения, проявления и отмывки подложек) с созданием вакуума между столиком установки и обрабатываемой пластиной. Устройство подачи вакуума на столик центрифуги включает корпус подшипников со штуцером подвода вакуума, установленный в корпусе вал с отверстиями для подачи вакуума к столику, установленные между подшипниками и зеркально расположенные уплотнения, между которыми размещена втулка с торцевыми и радиальными резиновыми кольцами, при этом уплотнения выполнены в виде фторопластовых колец с бортиками, запрессованных в обоймы из нержавеющей стали. Технический результат: сохранение стабильного вакуума в камере, через которую осуществляется вращение вала без замены пар трения при длительной работе устройства. 5 ил.
Description
Область техники, к которой относится полезная модель: машиностроение.
Полезная модель относится к вакуумной технике, а конкретнее к устройству для передачи вакуума на столик центрифуги для удержания обрабатываемых пластин в установках фотолитографического оборудования.
Из уровня техники известны центрифуги, которые описаны в SU 1113180, SU 1210890, SU 751439, вакуумный стол центрифуги, описанный в RU 125074, установка, описанная в Учебно-методическом пособии для вузов: Е.С. МАШКИНА и др. «Литографические процессы в технологии твердотельной электронике», Издательско-полиграфический центр Воронежского государственного университета, 2013, с. 12-13.
В существующих центрифугах, применяемых в составе фотолитографического оборудования, передача вакуума на столик, осуществляется через фторопластовую втулку, установленную либо на свободном конце полого вала электродвигателя, либо через ту же втулку на исполнительном валу, вращение на который передается через зубчато-ременную передачу от электродвигателя.
Таким образом, для передачи вакуума в данных конструкциях требуется либо наличие электродвигателя специального исполнения с полым валом, либо ременная передача.
Такие конструкции применяются для того, чтобы иметь возможность быстрой замены фторопластовых втулок, которые быстро нагреваются за счет трения о поверхность вала и разрушаются, соответственно теряется вакуумная плотность уплотнения (см. Вакуумная техника, Справочник, Москва, «Машиностроение», 1985 г. стр. 125, рис. 8-2).
Технический результат обеспечиваемой полезной моделью заключается в сохранении стабильного вакуума в камере, через которую осуществляется вращение вала без замены пар трения при длительной работе устройства.
На рис. 1 приведена общая схема узла вращения центрифуги.
На рис. 2 приведена схема узла уплотнения новой конструкции.
Через штуцер, расположенный в корпусе подшипников, осуществляется передача вакуума. В корпусе подшипников между подшипниками вращения, установлены два зеркально расположенных уплотнения типа В2РТ, между которыми находится втулка с торцевыми и радиальными резиновыми кольцами, обеспечивающая герметичность вакуумной камеры. Далее вакуум подается через радиальное и осевое отверстие вала, установленного в корпусе, на столик.
Зеркальное расположение уплотнений позволяет более эффективно удерживать вакуум в камере, за счет пружинных свойств фторопластовых колец.
В данных уплотнениях рабочим элементом является кольцо с бортиком, выполненное в виде тарельчатой пружины из коксонаполненного фторопласта марки Ф4К20 (так как его износостойкость в 600 раз выше, чем у фторопласта ф4), запрессованное в обоймы из нержавеющей стали, и с минимальным контактом с валом (см. рис. 3).
Такие уплотнения серийно выпускаются несколькими иностранными компаниями, в том числе немецкими и китайскими.
В нашем варианте конструкции, использовано уплотнение типа В2РТ немецкой компании «Simmerring».
Производитель гарантирует работоспособность данного типа уплотнений на «сухом» ходе при линейной скорости до 30 м/с (см. Каталог Simrit, 2007 стр. 1.19).
Усредненный диаметр вала в зоне уплотнения для установок данного типа составляет 30 мм.
Формула перевода угловой скорости в линейную:
где n - угловая скорость;
V - линейная скорость;
R - радиус окружности.
Подставляя исходные значения в данную формулу, получим:
Так как для центрифуг нанесения фоторезиста максимальная скорость вращения (согласно технологическому процессу) составляет 10000 об/мин, то видим, что полученный результат превышает максимальную скорость вращения почти в два раза.
Claims (1)
- Устройство подачи вакуума на столик центрифуги, включающее корпус подшипников со штуцером подвода вакуума, установленный в корпусе вал с отверстиями для подачи вакуума к столику, установленные между подшипниками и зеркально расположенные уплотнения, между которыми размещена втулка с торцевыми и радиальными резиновыми кольцами, при этом уплотнения выполнены в виде фторопластовых колец с бортиками, запрессованных в обоймы из нержавеющей стали.
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
RU214216U1 true RU214216U1 (ru) | 2022-10-17 |
Family
ID=
Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
SU751439A1 (ru) * | 1978-04-17 | 1980-07-30 | Предприятие П/Я Р-6707 | Центрифуга дл нанесени фоторезиста на пластины |
SU1113180A1 (ru) * | 1983-02-24 | 1984-09-15 | Предприятие П/Я Г-4466 | Центрифуга дл нанесени фоторезиста на пластины |
SU1210890A1 (ru) * | 1984-08-29 | 1986-02-15 | Предприятие П/Я Р-6707 | Центрифуга дл нанесени фоторезиста на пластину |
DE69326706T2 (de) * | 1992-02-18 | 2000-11-16 | Nec Corp., Tokio/Tokyo | Verfahren zur Herstellung einer Schicht auf einem Halbleiterkörper |
DE69831496T2 (de) * | 1997-05-30 | 2006-06-29 | Suss Microtec Lithography Gmbh | Verfahren und vorrichtung zum zentrifugalbeschichten von chemikalien |
RU125074U1 (ru) * | 2012-06-26 | 2013-02-27 | Закрытое Акционерное Общество "Научно-Технический Центр Элинс" | Вакуумный стол центрифуги |
DE102017004542B3 (de) * | 2017-05-11 | 2018-07-05 | Carl Freudenberg Kg | Dichtring |
Patent Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
SU751439A1 (ru) * | 1978-04-17 | 1980-07-30 | Предприятие П/Я Р-6707 | Центрифуга дл нанесени фоторезиста на пластины |
SU1113180A1 (ru) * | 1983-02-24 | 1984-09-15 | Предприятие П/Я Г-4466 | Центрифуга дл нанесени фоторезиста на пластины |
SU1210890A1 (ru) * | 1984-08-29 | 1986-02-15 | Предприятие П/Я Р-6707 | Центрифуга дл нанесени фоторезиста на пластину |
DE69326706T2 (de) * | 1992-02-18 | 2000-11-16 | Nec Corp., Tokio/Tokyo | Verfahren zur Herstellung einer Schicht auf einem Halbleiterkörper |
DE69831496T2 (de) * | 1997-05-30 | 2006-06-29 | Suss Microtec Lithography Gmbh | Verfahren und vorrichtung zum zentrifugalbeschichten von chemikalien |
RU125074U1 (ru) * | 2012-06-26 | 2013-02-27 | Закрытое Акционерное Общество "Научно-Технический Центр Элинс" | Вакуумный стол центрифуги |
DE102017004542B3 (de) * | 2017-05-11 | 2018-07-05 | Carl Freudenberg Kg | Dichtring |
Non-Patent Citations (1)
Title |
---|
Е.С. МАШКИНА и др., Литографические процессы в технологии твердотельной электроники, Учебно-методическое пособие для вузов, Издательско-полиграфический центр Воронежского государственного университета, 2013, с.12-13. * |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US2990202A (en) | Labyrinth face seal plate | |
US3026114A (en) | Rotary face seal device with fluid director | |
US3035841A (en) | Compensating seals | |
EA013364B1 (ru) | Гибкое плавающее уплотнительное кольцевое устройство для динамических насосов | |
US2917329A (en) | Rotary seal | |
RU214216U1 (ru) | Устройство для передачи вакуума через вращающийся вал | |
US20170307019A1 (en) | Seal Assembly For A Turbomachine | |
NO831838L (no) | Tetningsanordning | |
US3921986A (en) | Shaft seal | |
EP0211051B1 (en) | Mechanical seal | |
EP0012596B1 (en) | Journal bearing assemblies | |
US4167243A (en) | Scroll discharge decanter centrifuges | |
US2843404A (en) | Mechanical seal assembly for rotating shafts | |
CN109681637A (zh) | 一种用于螺杆式真空干泵的双端面干气密封 | |
KR880006455A (ko) | 회전식 결합장치 | |
KR100356502B1 (ko) | 회전축부재의 밀폐장치 | |
JP2011144933A (ja) | 静的および動的な排出機の耐圧シャフトシール | |
US3994544A (en) | Bearing for a high speed air turbine | |
JP6001073B2 (ja) | 垂直な両吸込ポンプ、及びケーシングアセンブリ,シャフト,そして一体型ベローズ式メカニカル面シールを備える装置 | |
KR200229077Y1 (ko) | 회전축부재의 밀폐장치 | |
US2957711A (en) | Shaft seal for alternate wet and dry operation | |
CN110259950B (zh) | 可延伸和旋转的机械密封装置 | |
JPH04262096A (ja) | ウォータポンプ | |
US2721773A (en) | Slip sleeve bearing | |
KR200322731Y1 (ko) | 축류펌프 실링장치 |