SU1112225A1 - Устройство дл поверки электромагнитного толщиномера покрытий - Google Patents
Устройство дл поверки электромагнитного толщиномера покрытий Download PDFInfo
- Publication number
- SU1112225A1 SU1112225A1 SU833623571A SU3623571A SU1112225A1 SU 1112225 A1 SU1112225 A1 SU 1112225A1 SU 833623571 A SU833623571 A SU 833623571A SU 3623571 A SU3623571 A SU 3623571A SU 1112225 A1 SU1112225 A1 SU 1112225A1
- Authority
- SU
- USSR - Soviet Union
- Prior art keywords
- substrate
- base
- transducer
- thickness gauge
- main
- Prior art date
Links
Landscapes
- Measurement Of Length, Angles, Or The Like Using Electric Or Magnetic Means (AREA)
Abstract
1. УСТРОЙСТВО .ДЛЯ ПОВЕРКИ ЭЛЕКТРОМАГНИТНОГО ТОЛЩИНОМЕРА ПОКРЫТИЙ , содержащее основание, установленный на нем кронштейн дл креплени преобразовател тол1циномера, основную металлическую подложку, расположенную на основании, и микрометрический винт, отличающеес тем, что, с целью повьш1ени точности, оно снабжено дополнительной металлической подложкой, основна и дополнительна металлические подложки выполнены клиновидными и сопр жены наклонными поверхност ми так,- что их стороны противоположные сопр женным-, параллельны , преобразователь закреплен на кронштейне перпендикул рно параллельной стороне дополнительной подложки, последн подпружинена вдоль оси преобразовател толщиномера, а.основ«Л на подложка св зана с подвижной частью микрометрического винта и установлена с возможностью возвратнопоступательного перемещени по основанию перпендикул рно оси преобразовател толщиномера. 7/ Ю i IOOOOOOQ о у ооооо oooooi
Description
2. Устройство по
п. I, о т личающеес
тем, что, с
целью расширени диапазона повер емых толщин, сопр гаемые поверхности подложек выполнены
многогрэнными .
Изобретение относитс к измерительной технике, а именно к метроло гическому обеспечению электромагнит ных приборов, измер ющих толщину по крытий, и может быть применено в различных област х машиностроени . Известно устройство дл поверки электроконтактного датчика, содержа щее кронштейн, датчик, подвижный стол, клин и отсчетное устройство Устройство позвол ет достаточно точно осуществл ть поверку датчика, однако не может быть применено Дл поверки электромагнитных толщиномеров покрытий, Наиболее близким по технической сущности к изобретению вл етс устройство дл поверки электромагнит ного толщиномера покрытий, содержаще основание, установленный на нем кронщтейн дл креплени преобразовател толщиномера, основную металлическую подложку, расположенную на основании, и микрометрический винт Однако известное устройство обладает недостаточной точностью, поскол ку измерени в диапазоне толщин покрытий до 10 мкм характеризуютс значительной погрешностью (до 20%). Цель изобретени - повышение точности . I Поставленна цель достигаетс тем, что устройство дл поверки электромагнитного толщиномера покрытий , содержащее основание, установленный на нем кронштейн дл креплени преобразовател толщиномера, основную металлическую подложку, расположенную на основании, и микрометрический винт, снабжено дополнительной металлической подложкой, основна и дополнительна металлические подло ки ,выполнены клиновидными и сопр жены наклонными поверхност ми так, что их стороны, противоположные сопр женнь1М , параллельны, преобразователь закреплен на кронштейне перпендикул рно параллельной стороне дополнительной подложки, последн подпру: инена вдоль оси преобразовател толщиномера, а основна подложка св зана с подвижной частью микрометрического винта и установлена с возможностью возвратно-поступательного перемещени по основанию перпендикул рно оси преобразовател толщиномера . С целью расширени диапазона повер емых толщин сопр гаемые поверхности подложек вьшолнены многогранными . На чертеже представлено устройство дл поверки электромагнитного толпщномера покрытий. Устройство дл поверки электрома .гнитного толщиномера покрытий содержит основную металлическую клиновидную подложку 1, расположенную на основании 2 и дополнительную металлическую клиновидную подложку 3. Основна и дополнительна металлические подложки 1 и 3 сопр жены наклонньми поверхност ми таким образом, что их стороны, противоположные сопрйженным , параллельны. Преобразователь 4 закреплен на кронштейне 5 перпендикул рно параллельной стороне дополнительной; подложки 3. Устройство |Содержит также втулку 6 и пружину 7 дл обеспечени вертикального перемещени дополнительной металлической подложки 3, а дл обеспечент-ш возвратно-поступательного перемещени по основанию 2 перпендикул рно оси преобразовател 4 толщиномера - микрометричеЬкий винт 8 с отсчетной шкалой , толкатель 9 микрометрического винта, направл ющий стержень 10 и пружину 11. Горизонтальное перемещение основой металлической подложки 1, измериельна поверхность которой наклоне3 на относительно вертикальной оси пре образовател 4, позвол ет многократно уменьшить погрешность поверки толщиномера при контроле покрытий малой толщины (до 10 мкм), наиболее широко примен емых дл защиты изделий . Это объ сн етс тем, что дл изменени воздушного зазора между преобразователем 4 и измерительной поверхностью дополнительной подложки 3 основна подложка должна быть перемещена на рассто ние в п раз большее . Таким образом, точность перемещ ни подложки 1 характеризуетс в П раз меньшей погрешностью установлени необходимой величины воздушного зазора /L . Поверка электромагнитного толщино мера покрытий осуществл етс следующим образом. На основании 2 устанавливают основную металлическую подложку 1 длиной П;, мм. При этом толкатель 9 микрометрического винта 8 вьщвинут, на максимально возможную длину, а показание его шкалы соответствует началу отсчета. Преобразователь 4 толщиномера устанавливают без зазора на дополнительную металлическую подложку 3 и в этом положении фиксируют начальное показание толщиномера покрытий . Вращением барашка микрометри ческого винта 8 уменьшают длину вьщВижени его толкател 9 и соответственно в этом направлении по основанию под действием пружины 11 смещает с основна подложка 1. Дополнительна подложка 3 под действием пружины 7 прижимаетс к основной подложке 1 и в результате образуетс зазор S между подложкой 3 и преобразователем 4. Величина зазора п определ етс по формуле h 1 tgA , где 1 - показание по отсчетной шкал микрометрического винта; dl - угол наклона сопр гаемой поверхности основной металлической подложки 1. Сопоставл значени получаемых зазоров п между преобразователем 4 дополнительной подложкой 3 и показа ни толщиномера покрытий, суд т о его точностных характеристиках в со ответствующем диапазоне измерений. При поверке электромагнитного толщи 54 номера в другом диапазоне на основании устанавливают основную подложку 3, имеющую другой угол наклона сопр гаемых поверхностей и длину oLn , и повтор ют все операции аналогично и в том же пор дке, что первом диапазоне . Выполнение сопр гаемых поверхностей подложек 1 и 3 многогранными . позвол ет повер ть толщиномеры покрытий в различных диапазонах без увеличени при этом линейных размеров используемых подложек и, следовательно , без увеличени размеров самого устройства. Например, дл поверки метрологических параметров толщиномера покрытий контролирующего покрыти в пределах 0-0,1 мм наклон измерительной поверхности основной подложки 1 должен быть таким, чтобы изменение зазора h в пределах О - 100 мкм между этой поверхностью и преобразователем 4 обеспечивалс , например, перемещением основной подложки 1 в горизонтальном направлении на 25 мм. Тогда дл изменени зазора Vi на 1 мкм основна подложка 1 должна быть перемещена на рассто ние в 250 раз большее, т.е. на 0,25 мм. Перемещение и контроль горизонтального перемещени основной подложки 1 осуществл етс микрометрическим винтом 8. Б качестве микрометрического винта 8 можно примен ть микрометры с ценой делений 0,01 мм, что позвол ет очень точно устанавливать необходимые значени зазоров п между дополнительной подложкой 3 и преобразователем 4. Таким образом, погрешность выставлени минимального зазора, равного 1 мкм, что вл етс наиболее трудным, не превышает величины 2%, в то врем как в известном устройстве выставление того же зазора характеризуетс погрешностью , равной 20%. Если выполн ть сопр гаемые поверхности подложек 1 и 3 одногранными, то дл получени зазоров в пределах до 2 мм длина основной подложки 1 должна соответствовать 500 мм. Дл уменьшени длины подложки 1 и возможности получени зазоров в диапазоне 0,1-2 мм не обходимо, чтобы наклон сопр гаемьж поверхностей подложек 1 и 3 бьш большим, чем при получении зазора в диапазоне 0-0,1 мм. Обща длина подложки 1 дл получени зазоров Ь в диапазонах 0-0,1 мм и 0,12 мм составит 75 мм.также расширить диапазон повер емых
Изобретение позвол ет повыситьтолщин без значительного увеличени
точность измерений при поверке элект-при этом размеров устройства.
1112225 .
ромагнитного-толщиномера покрытий, а
Claims (2)
1. УСТРОЙСТВО ДЛЯ ПОВЕРКИ ЭЛЕКТРОМАГНИТНОГО ТОЛЩИНОМЕРА ПОКРЫТИЙ, содержащее основание, установ- ленный на нем кронштейн для крепления преобразователя толщиномера, основную металлическую подложку, расположенную на основании, и микрометрический винт, отличающееся тем, что, с целью повышения точности, оно снабжено* дополнительной металлической подложкой, основная и дополнительная металлические подложки выполнены клиновидными и сопряжены наклонными поверхностями так/ что их стороны противоположные сопряженным, параллельны, преобразователь закреплен на кронштейне перпендикулярно параллельной стороне дополнительной подложки, последняя подпружинена вдоль оси преобразователя толщиномера, а.основная подложка связана с подвижной частью микрометрического винта и установлена с возможностью возвратнопоступательного перемещения по основанию перпендикулярно оси преобразователя толщиномера.
и .··, Ϊ112225
1 1 12225
2. Устройство личающеес целью расширения по п. ί, о т я тем, что, с диапазона поверяемых толщин, ности подложек грэнными.
сопрягаемые поверхвыполнены много—
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
SU833623571A SU1112225A1 (ru) | 1983-07-14 | 1983-07-14 | Устройство дл поверки электромагнитного толщиномера покрытий |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
SU833623571A SU1112225A1 (ru) | 1983-07-14 | 1983-07-14 | Устройство дл поверки электромагнитного толщиномера покрытий |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
SU1112225A1 true SU1112225A1 (ru) | 1984-09-07 |
Family
ID=21074978
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
SU833623571A SU1112225A1 (ru) | 1983-07-14 | 1983-07-14 | Устройство дл поверки электромагнитного толщиномера покрытий |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
SU (1) | SU1112225A1 (ru) |
-
1983
- 1983-07-14 SU SU833623571A patent/SU1112225A1/ru active
Non-Patent Citations (1)
Title |
---|
1. Поверка мер и механических приборов дл .измерени длин и углов. Сборник инструкций. М., Изд-во Государственного комитета стандартов мер и измерительных приборов СССР, 1965, с. 598. 2. Грешников В.А. Поверка некоторых типов электромагнитных толщиномеров покрытий с использованием воздушного зазора. - Измерительна техника, 1976, № 5 (прототип). * |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US4569137A (en) | Linear scale type displacement measuring device and main scale attaching method thereof | |
US6694797B2 (en) | Dial indicator calibration apparatus | |
SU1112225A1 (ru) | Устройство дл поверки электромагнитного толщиномера покрытий | |
US4684257A (en) | Measuring instrument | |
US5045710A (en) | Coplanarity inspection machine | |
US3956925A (en) | Hardness tester | |
US6289713B1 (en) | Method of calibrating gages used in measuring intensity of shot blasting | |
GB2153995A (en) | Coordinate measuring instrument | |
CA2043020A1 (en) | Device for and method of measurement of an angle of incidence of a luminous beam | |
US6434845B1 (en) | Dual-axis static and dynamic force characterization device | |
JP3124659B2 (ja) | 平面度測定装置の較正方法 | |
US4611408A (en) | Mechanical averaging gauge | |
GB2260819A (en) | Gauge for checking dimensions of springs | |
US6983549B2 (en) | Method to accurately measure small angular differences between surfaces | |
SU1665222A1 (ru) | Мера толщины покрытий | |
SU1252658A1 (ru) | Устройство дл поверки электромагнитного толщиномера покрытий | |
US4914965A (en) | Crack shear displacement gage | |
SU1231392A1 (ru) | Способ поверки электромагнитных толщиномеров немагнитных покрытий на электропр овод щей основе | |
KR200157841Y1 (ko) | 자의 정밀도 교정장치 | |
SU1428907A1 (ru) | Способ поверки электромагнитных толщиномеров покрытий | |
US4547974A (en) | Dynamic alignment fixture | |
CN220982920U (zh) | 集成电路推力检测装置 | |
US4630473A (en) | Versatile force measuring system | |
SU1288495A2 (ru) | Устройство дл поверки электромагнитного толщиномера покрытий | |
Borc | Effect of Surface Tilt on Nanoindentation Measurement on Copper and Glass |