CN220982920U - 集成电路推力检测装置 - Google Patents

Abstract

一种集成电路推力检测装置。所述集成电路推力检测装置包括：载台、推杆以及活动板。所述推杆设置在所述载台之上。所述推杆可沿第一方向延伸。所述活动板设置在所述载台之上并用以承载集成电路产品。所述活动板可与所述载台进行相对运动以调整所述集成电路产品和所述推杆的接触角度。

Description

集成电路推力检测装置

技术领域

本申请是有关于半导体领域，详细来说，是有关于一种集成电路推力检测装置。

背景技术

为了确保集成电路产品在使用过程中的稳定性和可靠性，需要对生产出的产品进行严格的检验。其中，推力测试是衡量集成电路产品质量的一个重要指标，而推力测试仪则是实现这一目标的关键设备之一。通过对集成电路推力检测装置的使用，可以准确地检测芯片焊点是否牢固，从而提高集成电路产品的质量和可靠性。然而，现有的集成电路推力检测装置并无法灵活地调整对集成电路产品的施力方向，造成推力无法有效地施加给集成电路产品，进而降低了测试的准确性。

实用新型内容

有鉴于此，本申请提出一种集成电路推力检测装置来解决上述问题。

依据本申请的一实施例，提出一种集成电路推力检测装置。所述集成电路推力检测装置包括：载台、推杆以及活动板。所述推杆设置在所述载台之上。所述推杆可沿第一方向延伸。所述活动板设置在所述载台之上并用以承载集成电路产品。所述活动板可与所述载台进行相对运动以调整所述集成电路产品和所述推杆的接触角度。

依据本申请的一实施例，所述活动板的一端通过固定轴与所述载台连接，所述活动板的另一端可以所述固定轴为中心轴进行转动。

依据本申请的一实施例，所述集成电路推力检测装置还包括推杆固定座。所述推杆固定座设置在所述载台之上。所述推杆的一端嵌入所述推杆固定座之中。

依据本申请的一实施例，所述集成电路推力检测装置还包括第一调节杆和第二调节杆。所述第一调节杆嵌入所述推杆固定座中与所述推杆连接。所述第一调节杆调节所述推杆在所述第一方向上的延伸长度。所述第二调节杆嵌入所述推杆固定座中。所述第二调节杆调节所述推杆在第二方向上的位置。

依据本申请的一实施例，所述第一调节杆包括第一螺杆。所述第一螺杆与所述推杆固定座螺纹连接。

依据本申请的一实施例，所述第一调节杆通过旋紧所述第一螺杆调节所述第一螺杆在所述推杆固定座内的深度以调节所述推杆在所述第一方向上的延伸长度。

依据本申请的一实施例，所述第二调节杆包括第二螺杆，所述推杆固定座通过所述第二螺杆与所述载台连接。

依据本申请的一实施例，所述第二调节杆通过旋紧所述第二螺杆调节所述推杆固定座在所述第二方向上的位置，进而调节所述推杆在所述第二方向上的位置。

通过本申请提出的集成电路推力检测装置可以调整推杆与芯片的接触面积，使得推杆的推力可以最大化地传递给芯片，增加测试的准确性。

附图说明

附图是用来提供对本申请的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与下面的具体实施方式一起用于解释本申请，但并不构成对本申请的限制。在附图中：

图1A和图1B分别演示依据本申请一实施例的集成电路推力检测装置的侧视视图和俯视视图。

图2演示依据本申请一实施例的集成电路推力检测装置对集成电路产品进行推力测试的示意图。

具体实施方式

以下揭示内容提供了多种实施方式或例示，其能用以实现本揭示内容的不同特征。下文所述之组件与配置的具体例子系用以简化本揭示内容。当可想见，这些叙述仅为例示，其本意并非用于限制本揭示内容。举例来说，在下文的描述中，将一第一特征形成于一第二特征上或之上，可能包括某些实施例其中所述的第一与第二特征彼此直接接触；且也可能包括某些实施例其中还有额外的组件形成于上述第一与第二特征之间，而使得第一与第二特征可能没有直接接触。此外，本揭示内容可能会在多个实施例中重复使用组件符号和/或标号。此种重复使用乃是基于简洁与清楚的目的，且其本身不代表所讨论的不同实施例和/或组态之间的关系。

再者，在此处使用空间上相对的词汇，譬如「之下」、「下方」、「低于」、「之上」、「上方」及与其相似者，可能是为了方便说明图中所绘示的一组件或特征相对于另一或多个组件或特征之间的关系。这些空间上相对的词汇其本意除了图中所绘示的方位之外，还涵盖了装置在使用或操作中所处的多种不同方位。可能将所述设备放置于其他方位(如，旋转90度或处于其他方位)，而这些空间上相对的描述词汇就应该做相应的解释。

虽然用以界定本申请较广范围的数值范围与参数皆是约略的数值，此处已尽可能精确地呈现具体实施例中的相关数值。然而，任何数值本质上不可避免地含有因个别测试方法所致的标准偏差。在此处，「约」通常系指实际数值在一特定数值或范围的正负10％、5％、1％或0.5％之内。或者是，「约」一词代表实际数值落在平均值的可接受标准误差之内，视本申请所属技术领域中具有通常知识者的考虑而定。当可理解，除了实施例之外，或除非另有明确的说明，此处所用的所有范围、数量、数值与百分比(例如用以描述材料用量、时间长短、温度、操作条件、数量比例及其他相似者)均经过「约」的修饰。因此，除非另有相反的说明，本说明书与附随权利要求书所揭示的数值参数皆为约略的数值，且可视需求而更动。至少应将这些数值参数理解为所指出的有效位数与套用一般进位法所得到的数值。在此处，将数值范围表示成由一端点至另一端点或介于二端点之间；除非另有说明，此处所述的数值范围皆包括端点。

图1A和图1B分别演示依据本申请一实施例的集成电路推力检测装置1的侧视视图和俯视视图。在某些实施例中，集成电路推力检测装置1是一种用于测量机器产生推力的仪器。在某些实施例中，集成电路推力检测装置1用于测量集成电路产品上的芯片所承受的推力。在某些实施例中，集成电路推力检测装置1具有高精度的测力传感器和放大器，可以准确地检测到测量集成电路产品上的芯片受到的推力并记录数据。集成电路推力检测装置1的测力传感器可以由弹性金属制成，并且在外部施加力的作用下发生形变，所述形变进一步转换为电信号，电信号的大小正比于所测得的力的大小。通过检测测试结果，可以判断集成电路产品键合连接处的可靠性，并对集成电路产品的质量进行评估。

在某些实施例中，集成电路推力检测装置1包括载台10、推杆固定座11、推杆12、活动板13、第一调节杆14以及第二调节杆15。在某些实施例中，载台10可以是用金属材质制成的金属载台。在某些实施例中，推杆固定座11设置在载台10之上。在某些实施例中，推杆12沿第一方向(即x方向延伸)。在某些实施例中，推杆12的一端嵌入推杆固定座11之中，另一端用以对集成电路产品施加推力。

在某些实施例中，第一调节杆14同样嵌入推杆固定座11中，并且在推杆固定座11中与推杆12连接。在某些实施例中，第一调节杆14用以调节推杆12在第一方向(即x方向)上的延伸长度。在某些实施例中，第一调节杆14包括第一螺杆141。在某些实施例中，第一螺杆141与推杆固定座11内壁的螺纹结构(图未示)连接。在某些实施例中，第一调节杆14可通过旋紧第一螺杆141来调节第一螺杆141在推杆固定座11内的深度，进而调节推杆12在第一方向(即x方向)上的延伸长度。在某些实施例中，第一螺杆141可以使用金属材质制成。

在某些实施例中，第二调节杆15同样嵌入推杆固定座11中。在某些实施例中，第二调节杆15用以调节推杆12在第二方向(即y方向)上的位置。在某些实施例中，第二调节杆15包括第二螺杆151。在某些实施例中，第二螺杆151与推杆固定座11内壁的螺纹结构(图未示)连接。在某些实施例中，推杆固定座11通过第二螺杆151与载台10连接。在某些实施例中，第二调节杆15可通过旋紧第二螺杆151调节推杆固定座11在第二方向(即y方向)上的位置，进而调节推杆12在第二方向(即y方向)上的位置。在某些实施例中，第二螺杆151可以使用金属材质制成。

在某些实施例中，活动板13设置在载台10之上并用以承载集成电路产品。在某些实施例中，活动板13可与载台10进行相对运动以调整集成电路产品和推杆12的接触角度。在某些实施例中，活动板13的一端通过固定轴130与载台10连接，使得另一端可以固定轴131为中心轴在载台10的上表面进行转动，借此调整集成电路产品和推杆12的接触角度。在某些实施例中，活动板13可以是由塑料材质制成。

图2演示依据本申请一实施例的集成电路推力检测装置1对集成电路产品20进行推力测试的示意图。在某些实施例中，当要对集成电路产品20进行推力测试时，先将集成电路产品20放置于活动板13之上。接着，旋转第二螺杆151以调节推杆固定座11在第二方向(即y方向)上的位置，进而使得推杆12在第二方向(即y方向)上对准集成电路产品20的芯片201。接着，旋转第一螺杆141以调节推杆12在第一方向(即x方向)上的延伸长度，使得推杆12远离推杆固定座11的一段靠近集成电路产品20的芯片201。需说明的是，当集成电路产品20上的芯片201与推杆12之间不是以最大接触面积接触时，推杆12的推力并无法最大化地传递给芯片201，如此一来所测得的芯片201所能承受的推力的准确性会降低。据此，为了使得芯片201与推杆12之间以最大接触面积接触，可以通过转动活动板13，调整芯片201的角度，使得芯片201以最大面积和推杆12接触。接着锁紧固定轴131避免活动板13继续转动，并旋转第一螺杆141以调节推杆12在第一方向(即x方向)上的延伸长度，使得推杆12接触芯片201，并对芯片201施加推力。

通过本申请提出的集成电路推力检测装置1可以调整推杆12与芯片201的接触面积，使得推杆12的推力可以最大化地传递给芯片201，增加测试的准确性。

如本文中所使用，术语“近似地”、“基本上”、“基本”及“约”用于描述并考虑小变化。当与事件或情况结合使用时，所述术语可指事件或情况精确地发生的例子以及事件或情况极近似地发生的例子。如本文中相对于给定值或范围所使用，术语“约”大体上意味着在给定值或范围的±10％、±5％、±1％或±0.5％内。范围可在本文中表示为自一个端点至另一端点或在两个端点之间。除非另外规定，否则本文中所公开的所有范围包括端点。术语“基本上共面”可指沿同一平面定位的在数微米(μm)内的两个表面，例如，沿着同一平面定位的在10μm内、5μm内、1μm内或0.5μm内。当参考“基本上”相同的数值或特性时，术语可指处于所述值的平均值的±10％、±5％、±1％或±0.5％内的值。

如本文中所使用，术语“近似地”、“基本上”、“基本”和“约”用于描述和解释小的变化。当与事件或情况结合使用时，所述术语可指事件或情况精确地发生的例子以及事件或情况极近似地发生的例子。举例来说，当与数值结合使用时，术语可指小于或等于所述数值的±10％的变化范围，例如，小于或等于±5％、小于或等于±4％、小于或等于±3％、小于或等于±2％、小于或等于±1％、小于或等于±0.5％、小于或等于±0.1％，或小于或等于±0.05％。举例来说，如果两个数值之间的差小于或等于所述值的平均值的±10％(例如，小于或等于±5％、小于或等于±4％、小于或等于±3％、小于或等于±2％、小于或等于±1％、小于或等于±0.5％、小于或等于±0.1％，或小于或等于±0.05％)，那么可认为所述两个数值“基本上”或“约”相同。举例来说，“基本上”平行可以指相对于0°的小于或等于±10°的角度变化范围，例如，小于或等于±5°、小于或等于±4°、小于或等于±3°、小于或等于±2°、小于或等于±1°、小于或等于±0.5°、小于或等于±0.1°，或小于或等于±0.05°。举例来说，“基本上”垂直可以指相对于90°的小于或等于±10°的角度变化范围，例如，小于或等于±5°、小于或等于±4°、小于或等于±3°、小于或等于±2°、小于或等于±1°、小于或等于±0.5°、小于或等于±0.1°，或小于或等于±0.05°。

举例来说，如果两个表面之间的位移等于或小于5μm、等于或小于2μm、等于或小于1μm或等于或小于0.5μm，那么两个表面可以被认为是共面的或基本上共面的。如果表面相对于平面在表面上的任何两个点之间的位移等于或小于5μm、等于或小于2μm、等于或小于1μm或等于或小于0.5μm，那么可以认为表面是平面的或基本上平面的。

如本文中所使用，除非上下文另外明确规定，否则单数术语“一(a/an)”和“所述”可包含复数指示物。在一些实施例的描述中，提供于另一组件“上”或“上方”的组件可涵盖前一组件直接在后一组件上(例如，与后一组件物理接触)的情况，以及一或多个中间组件位于前一组件与后一组件之间的情况。

如本文中所使用，为易于描述可在本文中使用空间相对术语例如“下面”、“下方”、“下部”、“上方”、“上部”、“下部”、“左侧”、“右侧”等描述如图中所说明的一个组件或特征与另一组件或特征的关系。除图中所描绘的定向之外，空间相对术语意图涵盖在使用或操作中的装置的不同定向。设备可以其它方式定向(旋转90度或处于其它定向)，且本文中所使用的空间相对描述词同样可相应地进行解释。应理解，当一组件被称为“连接到”或“耦合到”另一组件时，其可直接连接或耦合到所述另一组件，或可存在中间组件。

前文概述本公开的若干实施例和细节方面的特征。本公开中描述的实施例可容易地用作用于设计或修改其它过程的基础以及用于执行相同或相似目的和/或获得引入本文中的实施例的相同或相似优点的结构。这些等效构造不脱离本公开的精神和范围并且可在不脱离本公开的精神和范围的情况下作出不同变化、替代和改变。

Claims (8)

1.一种集成电路推力检测装置，其特征在于，包括：

载台；

推杆，设置在所述载台之上，所述推杆可沿第一方向延伸；以及

活动板，设置在所述载台之上并用以承载集成电路产品，所述活动板可与所述载台进行相对运动以调整所述集成电路产品和所述推杆的接触角度。

2.根据权利要求1所述的集成电路推力检测装置，其特征在于，所述活动板的一端通过固定轴与所述载台连接，所述活动板的另一端可以所述固定轴为中心轴进行转动。

3.根据权利要求1所述的集成电路推力检测装置，其特征在于，还包括：

推杆固定座，设置在所述载台之上，所述推杆的一端嵌入所述推杆固定座之中。

4.根据权利要求3所述的集成电路推力检测装置，其特征在于，还包括：

第一调节杆，嵌入所述推杆固定座中与所述推杆连接，所述第一调节杆调节所述推杆在所述第一方向上的延伸长度；以及

第二调节杆，嵌入所述推杆固定座中，所述第二调节杆调节所述推杆在第二方向上的位置。

5.根据权利要求4所述的集成电路推力检测装置，其特征在于，所述第一调节杆包括第一螺杆，所述第一螺杆与所述推杆固定座螺纹连接。

6.根据权利要求5所述的集成电路推力检测装置，其特征在于，所述第一调节杆通过旋紧所述第一螺杆调节所述第一螺杆在所述推杆固定座内的深度以调节所述推杆在所述第一方向上的延伸长度。

7.根据权利要求5所述的集成电路推力检测装置，其特征在于，所述第二调节杆包括第二螺杆，所述推杆固定座通过所述第二螺杆与所述载台连接。

8.根据权利要求7所述的集成电路推力检测装置，其特征在于，所述第二调节杆通过旋紧所述第二螺杆调节所述推杆固定座在所述第二方向上的位置，进而调节所述推杆在所述第二方向上的位置。