SU1107707A1 - Способ получени отрицательных ионов и устройство дл его осуществлени - Google Patents

Способ получени отрицательных ионов и устройство дл его осуществлени Download PDF

Info

Publication number
SU1107707A1
SU1107707A1 SU823516010A SU3516010A SU1107707A1 SU 1107707 A1 SU1107707 A1 SU 1107707A1 SU 823516010 A SU823516010 A SU 823516010A SU 3516010 A SU3516010 A SU 3516010A SU 1107707 A1 SU1107707 A1 SU 1107707A1
Authority
SU
USSR - Soviet Union
Prior art keywords
electrode
ions
negative
negative ions
electrons
Prior art date
Application number
SU823516010A
Other languages
English (en)
Inventor
Н.Ф. Лазарев
Original Assignee
Предприятие П/Я А-7797
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Предприятие П/Я А-7797 filed Critical Предприятие П/Я А-7797
Priority to SU823516010A priority Critical patent/SU1107707A1/ru
Application granted granted Critical
Publication of SU1107707A1 publication Critical patent/SU1107707A1/ru

Links

Landscapes

  • Electron Sources, Ion Sources (AREA)

Abstract

1. Способ получени  отрицательных ионов, преимущественно изотоrioB водорода и их соединений, включаю1зц1й воздействие на ионизуемый газ отличающийс  электронами, тем, что, с целью повышени  выхода двукратно зар женных ионов, осуществл ют пол ризацию ионизуемого газа электрическим полем в области воздействи  на него электронами. 2. Устройство дл  получени  отри- цательных ионов, содержащее ионизационную камеру, систему получени  электронов , систему извлечени  пучка ионов и эмиссионным электродом и систему электропитани , отличающеес  тем, что, с целью повьппени  выхода двукратно зар женных ионов, в ионизационной камере установлен дополнительный электрод соосно эмисси-i: онному электроду, а в систему электропитани  введен дополнительный источник электропитани , положительный полюс которого соединен с эмиссионным электродом, а отрицательньй полюс с дополнительгам электродом. г

Description

Изобретение относитс  к технике получени  зар лсенных частиц и может быть использовано при конструировании источников отрицательных ионов,а также в экспериментальной физике и / химии.
Известны способы получени  отрицательных ионов водорода и его изотопов , включающие воздействие на газ электронами в контрагированном разр  де и извлечение из него отрицательных ионов.
Известные способы реализуютс  в . газоразр дных источниках отрицатель-,
О
VJ
ных ионов различного типа, например
О в дугоплазмотронах, содержащих разр дную камеру, образованную катодом, анодом и промежуточным электродом, а
VI также магнитную и ионно-оптическую
системы.
Известные способы и устройства гфедназначены дл  получени  одйократно зар женных отрицательных ионов.
Ближайшим техническим решением  вл етс  способ получени  отрицательных ионов, включающий воздействие на ионизуемый газ электронами.
В лзпестиом способе удаетс  получить диуь:рат1 О зарллдаиные отрицательИ1 .;е rio;;bi MHODIX элементов:- О, F, С1, Вг, J, Те, BL. Слособ заключаетс  в
;оиизац11и в гaзoвo ; разр де Пенниига с холодным катодом,
Пзвес Iiibiii способ реализуетс  в исTOMiiiiKC отг1;1, 1ел ;1и:1х ионов, содержаи ем иоиизациоикуп камеру, систему из; .,|гечепи  ку-п.са попои с эмиссио И ым IleKTpo.iati и скгстему электропитани . Образог5ап е дпукратпо зар женных огрицато.мь ых ионов в укагзанном cvioси .бе и ycTpofiCrue происходит в ллазf-se газо;юго разр да   маглитно - ноле п результате присоединени  двух свобод .ных злектгонов атома -п элементов 1сходного ве ;сства (О, F, С1 , Вг, J, Те, 151) .
од сделие спобод ых электронов к ta iicxojfHoro вещества осу1дествл : . за счет Uin ;e:ni r электронов, обуюгихс  л газовом разр хге при газа.
Одна1:о т;1кол снособ и устроГк.тво лл  его осуи;.ествлени  малоэффективui-i , особенно при получении ионов 1 зотопов Бод,(зрода, поскольку в плазме газового разр да тктр ду с нрол,ессоь образовагн1  двукратно зар .кенных- отрицатель;;1лх ионов проггсход т и Д)угие Г1обочнь;е элементарные г;родессы (ионизал ,и  3 возбуждение с лоследующим излучением Лотона и др.), которые преп тствуют образованию отридательпых ионов или способствуют ра.зруше1 ию уже образоБаннь х., На указанные сопутствуюгцие эле 1с итарные продессы затрачиваетс  большое количество энергии и исходного вещества. При таком способе и устройстве нельз  н.епосредственио управл ть лpoцecco образоваии  двукратно зар ;ке И ЫХ отридательных ионов, HeoбxoдI- ым условием дл  получени  д,вукрагио зар женных отрицательных в указанном способе и устройстве  вл етс  ионизади  рабочего газа в ь агнитн.ом поле.
Целью изобрете1л-1   вл етс  повьпиеиие выхода двукрат 1О зар женных ионов
Эта дель достигаетс  тем, что в известном способе получени  отридательных ионов, преимущественно изотопов водорода и их соединений, вклю-. чаюсдем воздействие на ионизуемый газ электронами, осуг ествл ют пол ризацию ионизуемого газа электрическим полем в области воздействи  на него электронами . Способ реализуют с помощью устройства дл  получени отрицательных ионов, содержащего ионизационную камеру, систеьгу получени  электронов cиcтe iy извлечели  пучка ионов с э иcсиоиным электродом и систему электропитапи , в ионизап,ио1И1ой камере устаиовлеи дополнительный электрод cooctio эмиссионному электроду, а в систему электропитани  введен дополнительный источник электроиитали  , полойлтельный долюс которого соединен с эмиссионным элегггродом, а отрицательный полюс - с допол 1ительньа-1 электродом.
Па Лиг. 1 изобрал ено устройство с формированием электронного пучка под углом к направлению извлечени  ионов на оиг. 2 - вариант выполнени  устройства , электроны получаютс  непосред ственно в той обла.сти газового разр да, где осуществл етс  иол ризаГИ  aiiOMOB, на фиг. 3 - вариант выпсхчнени  устюйства с соосными вводом электронов и в,водом ионов J на фиг. 4 крива  разб;юс;а отрИ1 ательнь х ионов водорода Ю энергии,
Tipел.лагаемое устройство содержит ноллр1затор, образойанньм зазоро э:1ектричес;ки изс:п рован; ыми д,руг от э ;iIccиoнии 1 и доподнительньи- 2 э:Ieктpoдa ;и, В электроде 1 пол ризатора имеетс  отверстие 3. дл  отбора отргш.ательггых ионов. Одновремсн ю электрод, 1 выполн ет роль ст-енки, раздел ю1цей камеру i с 1- сход ;ijM веществом от камеры, в которой i:o:-ieui;eH экстрагиру-опдй электрод 5,. Электрод 2 лол рз-гзатора по -:еп;ен в камере с исходным веществом так, что V его поверхность расположена напротив отверсти  3 и перекрывает его просвет . Б камере 4 помещен источник : электронов, состо щий из катода б, анода 7 и промелуточного электрода 8. Отверсти  дд  выхода электронов в аноде 7 и промел-уточном электроде 8 соосны, а их ось с осью отверсти  3 образует угол 90°. Дл  извлечени  отридательных ионов через отверстие 3 источник содери1т экстрагируюи;ий электрод 5 с отверстием 9 дл  формировани  пучка отридательных ионов. Отверсти  3 и 9 раслоложены соосно. В камере 4 предусмотрен патрубок 10 дл  введетиш исход}юго вещества, откачки газа и измерени .давлени  газа в камере.
обычно ислользуемых источников электропитани  11 и 12 введен до1 полпительный источник 13, положитель Hbtft полюс которого соединен с эмиссионным 1, а отрицательный - с допол нительным 2 электродами. Устройство в качестве источника отрицательных ионов работает следующим образом. Через патрубок 10 в камеру 4 напускают исходное вещество в газообразной фазе, прикладывают электрический потенциал между электродами 1 и 2, причем на электрод 1. подают (+), а на электрод 2 (-), включают источник электронов зажиганием газового разр да межцу предвари тельно накаленным катодом 6 и анодом 7.За счет ускорени  электронов в двойном электрическом слое, возникаю щем у отверсти  электрода-диафрагмы 8,а так же у отверсти  анода 7, электроны пролетают в пол ризатор частиц исходного веще,ства, т.е. в пространство между электродами 1 и 2 где они присоедин ютс  к электрическим пол ризационньм атомам и молекулам исходного вещества. Образованные отрицательные ионы в пол ризаторе пе ремещаютс  по направлению к отверстию 3, через которое они выт гиваютс  электрическим полем, заключенным между электродом 1 и экстрагйрую1чим электродом 5, и через отверстие 9 от рицательные ионы выход т в виде пучка дл  их использовани . Дл  проверки способа получени  от рицательных ионов с кратностью электрического зар да больше единицы,были опробованы и другие варианты источииков отрицательных ионов, отличающихс  друг от друга способом подведени  свободных электронов к пол ризованным частицам исходного вещества . Например, на фиг. 2 изображен вариант источника отрицательных : ионов, где свободные электроны получают с помощью газового разр да, за сигаемого ме  у катодом 6 и анодом 7 (остальные элементы выполнены также, как и на фиг. 1). На фиг. 3 представ лен вариант источника отрицательных ионов, отличающийс  от предыдущих ва;риантов направлением вводимых в пол  ризатор электронов. Если в первых .двух вариантах направление движени  электронов пересекает ось отверстий Э и 9, то в варианте фиг. 3 это направление совпадает или параллельно указанной оси. При этом пучок электронов инжектируетс  в пол ризатор частиц через отверстие в электроде 2, 7 В устройстве по фиг. 1 в св зи с отклонением вводимых электронов между электродами пол ризатора в сторону электрода 1 целесообразно вводить их с направлением под углом к оси отверсти  3. Причем, если выбрать направление оси от электрода 1 к электроду 2, величина угла между этими направлени ми должна находитьс  в пределах от 0° до 90. В качестве источника электронов можно использовать электронные пушки с регулировкой величины энергии инжектируемых электронов . Источник электропитани  11 представл ет собой источник посто нного тока с регулируемьп-i напр жением от О до 1000 В и предназначен дл  за  гани  и поддержани  разр да в источниках электронов (фиг. 1 и фиг. 3), а в варианте (фиг. 2) - в области пол ризатора мехсду катодом 6 и анодом 7. Мбщнрсть источника 11 составл ет 1 кВт. Источник электропитани  13 представл ет собой источник посто нного тока с регулируе№1м напр жением от О до 500 В и предназна:чен дд  поддержани  электрического поЛ  в пол ризаторе частиц между электродами 1 и 2. Мощность источника 13 составл ет 0,5 кВт. Источник 12 представл ет собой источник йосто нного тока с регулируемым напр жением от О до 30 кВ и предназначен дл  выт гивани  отрицательных ионов через отверстие 3 и их ускорени  в промежутке -между элек.тродами 1 и 5 во всех 3-х вариантах. Общим существенным признаком всех указанных вариантов источников отрицательных ионов. вл етс  наличие электрического пол ризатора частиц, которьш состоит из двух электроизолированных друг от друга электродов, в одном из которых (эмиссионньй) имеетс  отверстие дл  выхода отрицательных ионов и который подсоединен к выводу источника электропитани , имеющему положительную пол рность. Электрический пол ризатор частиц как элемент устройства содержит пространство, образованное зазором между электродами 1 и 2, причем объем и форма указанного пространства, определ емого формой электродов 1 и 2, а так же рассто нием между ними, обусловлены электрической прочностью исходного вещества и его состо нием. Во всех вариантах выполнени  устройства электрод 1 пол ризатора едуь арной фокусировкой. По оси абсцисс отложена эиергш Е (в эВ), .одно деление на оси соответствует 23 эВ, а по оси ординат отлолсена оптическа  плотность почернени , пропорциональна  плотности отрицательных иопов Н. . Указанный масс-энергетический спектр 11- бьш получен при следуюпугх параметрах работы источника отрицательных ионов: сила тока разр да между катодом б и анодом 7 0,3 А, напр жение на разр де - 87 В, сила тока в цепи пол ризатора - 25 тЛ, папр жение., приложенное медду электродами 1 и 2 пол ризатора частиц, - 88 Б, напр женность Е электрического нол  в ра6o4ei i части пол ризатора - 293 В/см, плотность разр дного тока между катодом 6 и анодом 7 - 2,-1 Л/см , давле П1е водорода в камере - 6,71-0 2 мм рт.ст, Паг1р ;кение, приложенное к уско1 )Л 1:ацему промежутку между электродами 1 и 5, составл ет 12 кВ,
Па фoтo eтpичecкoй крЛвой массэнергстического спектра отрицательных ионов I (фиг. 4) н,ифрами 14, ; 15, 16 и 17 обозначеьъ пики в энерге- тическо разбросе отрицательных ионов, соответствуюглие группам отрииате :ьных ионов II , образованных в ,
Пик 14 на крино11 соответствует группе отрицательных иоьов с мзип мально энергией, котора  образуетс  у поверхности электрод.а 1 вблизи -отверсти  3 (фиг. 1, фиг. 2, фиг. 3), 15 соответствует группе отрицательных ионов И, котора  образуетс  у поверхности электрода 2 (фиг, 1, фиг. 2, фиг. 3), энергетический разброс отрицательных ионов Н включающий пики 14 и 15, -соответствует напр жению , приложенному между электродами пол ризатора 1 и 2 (фиг, 1, фиг, 2, фиг, 3) и составл ет 88 В, Таким образом, однократно зар лшнные
отрицательные ионы Н
соответствую1
50 щие пикам 14 и 15 приобретают энергию в пол ризаторе, не превышающую по величине пршюжепное напр жение к электродам пол ризатора.
Группы отрицательных ионов, соотJ5 ветствующие пикам 16 и 17, имеют
энергшо, превышающую напр жение, приложенное к электродам пол ризатора. Например, энерги  группы отрйцатачь . ных ионов I , соответствующа  пику
17, превьппает приложенное напр жение к электродам пол ризатора в 2 раза, а энерги  группы отрицательных ионов н7, соответствующа  пику 16, занимает промежуточное значение между энерги ми, соответствующими полному напр жению, прикладьшаемому к электродам пол ризатора и увеличенному в 2 раза. При изменении напр жени , прршоженного к электродам пол ризатора , указанные соотношени  ме вду энерги ми перечисленных групп отрицательных ионов Н7 соответственно сохран ютс  .
На основании вьшёизложенного очевидно , что группа отрицательных ионов 117, соответствующа  пику 17, образуетс  в результате распада атомарного двукратнозар жеиного отрицательного иона Н на электрон и однократно зар женный отрицательньп ион Н, Причем ион Н образуетс  у поверхности стенки электрода 2 пол ризатора путем присоединени  вторичных электронов, полученных в результате бомбардировки положительными ионами электрода 2, к нейтральным атомам водорода imn к однократно зар женным отрицательным ионам водорода. Поток положительных ионов по направлению к электроду 2 образуетс  в результате несамосто тельного разр да между электродами 1 и 2 при больших значени х напр женности электрического пол  в пол ризаторе. Группа отрицательных ионов Н, соответств оща  пику 16, образуетс  в объеме между электродами пол ризатора 1 и 2, а значение ее энергии определ етс  рассто нием до границы, к которой могут долетать свободные электроны по направлению к отрицательно зар женному электроду 2.
Крива  на фиг. 4 позвол ет сделать сравнение интенсивностей процессов образовани  отрицательных ионов в объеме пол ризатора на различных .рассто ни х от электродов вдоль силовых линий электрического пол . Например, пику 14 соответствует группа отрицательных ионов Н, процесс образовани  которой наиболее интенсивно происходит у поверхности электрода 1 (фиг.1, фиг. 2, Лиг. 3), а пику 15 соотв.етствует группа отрицательных ионов Н j, процесс образовани  которой наиболее интенсивно происходит у поверхности электрода 2 (фиг. 1, фиг. 2, фиг. 3). Процесс образовани  двухзар дных отрицательных ионов , характеризуемьй накривой пиками 16 и 17, наиболее интенсивно происходит в объеме пол ризатора (пик 16) и менее интенсивно - у поверхности электрода 2 (фиг. 1, фиг. 2, фиг. 3) - пик 17. Дп  сравнени  интенсивностей различных процессов образовани  отрицательных ионов .в энергетическом спектре
o отрицательных ионов наиболее подход 1ЦИМ  вл етс  группа отрицательных ионов Н,.соответствующа  на кривой пику 14, поскольку эта группа образуетс  у поверхности электрода с эмис5 сионным .отверстием и меньше всех подвергаетс  изменени м, вызываемым изменени ми состо ни  ппазмы газового разр да. Сравнение 14 с величиной пиков 16 и 17 показывает, что уже
0 при Е 293 В/см в плазме, помещенной в пол ризатор, количество двухзар дных отр1щательных ионов Н составл ет более половины количества одноза , р дных отрицательных ионов Hj, характеризуемых пиком 14. При Е 500 Б/см количество Ионов Н
, превышает к оличество ионов Н . соответствующих пи- ку 14.
В известных устройствах таких, как
в источнике дугоплазмотронного типа и пеннинговского типа, спектр отрицательных ионов содержит однократно и двукратно зар женные отрицательные ионыу однако двукратно зар женных от5 рицательных ионов в них образуетс  значительно меньше, чем однократно зар женных отрицательных ионов, что указьшает на очень малую эффективность их образовани , обусловленную
0 отсутствием достаточной электрической пол ризации частиц исходного вещества .
Поскольку врем  жизни двукратно
зар женных отрицательных ионов водо5 рода не превьшзаетЗ-Ю с, а врем  пролёта ионов водорода в масс-спектрографе составл ет от 0, до нескольких микросекунд, то зафиксировать двухзар дные отрицательные ионы водорода на фотопластине масс-спект0 рографа не представл етс  возможным в св зи с его ограниченными возможност ми . Однако дл  р да технических задач требуетс  получение двукратно зар женных отрицательных ионов в не5 больиом объеме газа с последующим ус-. корением их па небольшом участке ус- кор ющего промежутка, что практически легко реализуетс .
В св зи с тем, что образующиес  отрицательные ионы в пол ризаторе ускор ютс  в электрическом поле пол ризатора в направлении к отверстию отбора , то дл  р да технических задач энерги отрицательньк ионов, приобретенна  в пол ризаторе, достаточна дл  их практического применени  и пoэтo fy выт гивающего электрода в этом случае не требуетс , )
В результате экспериментального опробовани  способа и устройства было обнаружено, что количество двукратно зар женных отрицательных ионов водорода Н , а также кислорода О и увеличиваетс  с ростом напр женности электрического пол  в пол ризаторе , начина  с 200 Б/см, при которой они по вл ютс  в заметных количествах . Не исключено, что некоторые электрически пол ризованные частицы могут присоедин ть более двух электронов , т.е. образовывать отрицательные ионы с кратностью зар да более двух.
Явление зависимости образовани  отрицательных ионов различных веществ с кратностью зар да больше единицы от электрической пол ризации атомов, молекул и ионов исходного вещества, от лгх дипольньк моментов может найти применение так же в химии дл  управлени  различными реакци ми, в которых участвуют отрицательные ионы с кратHocTbfo зар да больше единицы.
Использование данных способа и устройства дл  получени  отрицательных ионов обеспечивает по сравнению с существующими способами и устройствами следующие преимущества:
возможность получени  отрицательных ионов различного рода веществ с кратностью зар да больше единицы с минимальным количеством примесей продуктов сопутствующих элементарных процессов;
возможность управлени  процессом образовани  отрицательных ионов путем изменени  дипольного момента частиц исходного вещества, например изменением напр женности электрического пол  пол ризации;
возможность использовани  диссоциации молекул рных отрицательных ионов с кратностью зар да больше единицы на два ипи более однократно зар жениых отрицательных ионов дл  увеличени  эффективности получени  однократно зар женных отрицательных ионов;
возможность управлени  химической реакцией, протекающей с образованием или участием отрицательных ионов, путем изменени  дипольного момента частиц при электрической пол ризации
возможность получени  отрицательных ионов с кратностью зар да более единицы без использовани  магнитного пол ;
возможность получени  отрицательных ионов в отсутствии процесса ионизации частиц исходного вещества.
ФигЛ
t6

Claims (2)

1. Способ получения отрицательных ионов, преимущественно изотопов водорода и их соединений, включающий воздействие на ионизуемый газ
2
электронами, отличающийся тем, что, с целью повышения выхода двукратно заряженных ионов, осуществляют поляризацию ионизуемого газа электрическим полем в области воздействия на него электронами.
2. Устройство для получения отри- дательных ионов, содержащее ионизационную камеру, систему получения электронов , систему извлечения пучка ионов и эмиссионным электродом и систему электропитания, отличающееся тем, что, с целью повышения выхода двукратно заряженных ионов, в ионизационной камере установлен дополнительный электрод соосно эмисси-г онному электроду, а в систему электропитания введен дополнительный источник электропитания, положительный полюс которого соединен с эмиссионным электродом, а отрицательный полюс е дополнительным электродом.
I ’
SU823516010A 1982-11-25 1982-11-25 Способ получени отрицательных ионов и устройство дл его осуществлени SU1107707A1 (ru)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU823516010A SU1107707A1 (ru) 1982-11-25 1982-11-25 Способ получени отрицательных ионов и устройство дл его осуществлени

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU823516010A SU1107707A1 (ru) 1982-11-25 1982-11-25 Способ получени отрицательных ионов и устройство дл его осуществлени

Publications (1)

Publication Number Publication Date
SU1107707A1 true SU1107707A1 (ru) 1992-05-07

Family

ID=21037228

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
SU823516010A SU1107707A1 (ru) 1982-11-25 1982-11-25 Способ получени отрицательных ионов и устройство дл его осуществлени

Country Status (1)

Country Link
SU (1) SU1107707A1 (ru)

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
Гуревич Г.М., Данилнж Ю.Л., Коварский Л.П. Плазменный источник дл бомбардировки твердых тел полржнтельныии и отрицательными ионами. Приборы и техцика эксперимента, К 4, 1978, с. 181.. Baumann Н., Heinike Е., Kaiser H.D. Nucleonic Instruments and,Methods, 1971, т.95, с. 389.. *

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US5517084A (en) Selective ion source
JP4511039B2 (ja) 準安定原子衝撃源
JP2648235B2 (ja) イオン銃
RU2344577C2 (ru) Плазменный ускоритель с закрытым дрейфом электронов
EP3905300A2 (en) Ecr particle beam source apparatus
US4800281A (en) Compact penning-discharge plasma source
Hill et al. A sputtering ion source
US2892114A (en) Continuous plasma generator
Dudnikov Methods of negative ion production
US2920234A (en) Device and method for producing a high intensity arc discharge
Dudnikov 20 years of cesium catalysis for negative ion production in gas discharges
US3030543A (en) Method and apparatus for trapping ions in a magnetic field
US3890535A (en) Ion sources
SU1107707A1 (ru) Способ получени отрицательных ионов и устройство дл его осуществлени
US2956195A (en) Hollow carbon arc discharge
RU1762732C (ru) Способ получения потока заряженных частиц и устройство для его осуществления
US12009197B2 (en) Method and apparatus
JPS5740845A (en) Ion beam generator
RU2725615C1 (ru) Источник пучков ионов с высоким током на основе плазмы ЭЦР разряда, удерживаемой в открытой магнитной ловушке
Leung et al. A high charge state multicusp ion source
Lee et al. Axial energy spread measurements of an accelerated positive ion beam
Jacquot et al. Negative ion production in large volume source with small deposition of cesium
Becker et al. The EBIS option for hadron therapy
JPS5741375A (en) Ion treating device
SU669982A1 (ru) Способ получени отрицательных ионов