SU1099307A1 - Устройство дл совмещени фотошаблона и заготовки - Google Patents

Устройство дл совмещени фотошаблона и заготовки Download PDF

Info

Publication number
SU1099307A1
SU1099307A1 SU833547794A SU3547794A SU1099307A1 SU 1099307 A1 SU1099307 A1 SU 1099307A1 SU 833547794 A SU833547794 A SU 833547794A SU 3547794 A SU3547794 A SU 3547794A SU 1099307 A1 SU1099307 A1 SU 1099307A1
Authority
SU
USSR - Soviet Union
Prior art keywords
photomask
vertical movement
holder
workpiece
frame
Prior art date
Application number
SU833547794A
Other languages
English (en)
Inventor
Анатолий Алексеевич Покалюхин
Виктор Дмитриевич Киселев
Original Assignee
Предприятие П/Я Р-6930
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Предприятие П/Я Р-6930 filed Critical Предприятие П/Я Р-6930
Priority to SU833547794A priority Critical patent/SU1099307A1/ru
Application granted granted Critical
Publication of SU1099307A1 publication Critical patent/SU1099307A1/ru

Links

Landscapes

  • Exposure Of Semiconductors, Excluding Electron Or Ion Beam Exposure (AREA)
  • Exposure And Positioning Against Photoresist Photosensitive Materials (AREA)

Abstract

УСТРОЙСТВО ДЛЯ СОВМЕЩЕНИЯ ФОТОШАБЛОНА И ЗАГОТОВКИ, содержащее корпус, в котором установлен держатель фотошаблона, расположенный над столом, снабженным зажимным приспособлением и св занным с механизмами 3 f S е г 28 горизонтального и вертикального перемещени , а также фиксатор, св занньп с механизмом вертикального перемещени , отличающеес  тем, что, с целью повышени  производительности и точности совмещени , в него введена установленна  над столом с возможностью поворота и вертикального перемещени  рама, на которой расположен держатель фотошаблона, а зажимное приспособление выполнено в виде расположенной в центре стола цанги, в которой установлен цилиндр с расположенным в нем разжимным конусом , св занным с механизмом верти§ кального перемещени , при этом на держателе фотошаблона установлены (О упоры, контактирующие с ответными элементами, расположенными на столе. со ;о О5 О vj

Description

Изобретение относитс  к приборостроению , а именно, к устройствам дл  точного и многократного перенесе ни  рисунка фотошаблона на заготовку и может быть использовано, например, при изготовлении ротора и статора индуктивного датчика круговых перемещений . Известно устройство дл  совмещени фотошаблона и заготовки, содержащее стол с мийровинтами дл  его перемещени  по двум взаимно перпендикул рным направлени м в горизонтгшьной плоскости, сферический стол с вакуум ным присосом дл  установки и креплени  заготовки, фотошаблон и кассету дл  его креплени  и оптическую систе . му дл  наблюдени  за процессом совме щени  Недостатки известного устройства состо т в сложности конструкции, вызванной наличием вакуумной установки и оптической системы, низкой производительности , погрешности совмещени  из-за участи  оператора и наличии зазора между фотошаблоном и заготовкой в момент совмещени . Наиболее близким техническим решением к предлагаемому  вл етс  устройстйо, содержащее корпус дл  за креплени  фотошаблона, стол, снабжен ный винтовыми манипул торами Горизонтального перемещени  во взаимно перпендикул рных направлени х, клиновой манипул тор вертикального пере мещени  стола с заготовкой, оптическое устройство дл  визуального наблю дени  за процессом совмещени  фотошаблона и заготовки и осветитель 2j Недостатки данного устройства заключаютс  в его сложности, низкой производительности, вызванной необходимостью повторного совмещени  при смене заготовки, и погрешности установки заготовки. Цель изобретени  - повьш1ение производительности и точности совмещени фотошаблона и заготовки. Указанна  цель достигаетс  тем, что в устройство дл  совмещени  фото шаблона и заготовки, содержащее корпус , в котором установлен держатель фотошаблона, расположенный над столом , снабженным зажимным приспособлением и св занньм с механизмами го ризонтального и вертикального переме щени , а также фиксатор, св занный с механизмом вертикального перемещени , введена установленну  над столом с возможностью поворота и верти1 ального перемещени  рама, jia которой расположен держатель фотошаблона, а зджимное приспособление выполнено в виде расположенной в центре стола цанги, в которой установлен цилигтдр с расположенным в нем разжимным конусом , св занным с механизмом вертикального перемещени , при этом на держателе фотошаблона установлены упоры, контактирующие с ответными элс; 1ентами , расположенными на столе. На фиг. 1 схематично показано устройство; на фиг. 2 - сечение А-А на фиг. 1j на фиг. 3 - вид Б на фиг.1; на фиг. 4 - вид В на фиг. 2. Устройство содержит корпус 1, на верхней грани которого крепитс  стол 2 - цилиндр с круглым и квадратным фланцами и жестко закрепленной в центре цангой 3. Внутри цанги закреплен направл ющий цилиндр Д дл  разжимного конуса 5 с пружиной 6, соедин ющей конус 5 с направл ющим цилиндром А. На корпусе 1 жестко установлены упоры 7 с базовыми поверхност ми, образующими пр мой угол, а параллельно сторонам этого угла в контакте по поверхност м пр моугольного фланца стола установлены клиновые механизмы 8 с микровинтами 9. В нижней части корпуса 1 (фиг. 3) размещен вал 10 с жестко посаженным на одном его конце рычагом 11, в средней части кулачком 12, на который опираетс  через ролик 13 рычаг 14 подъема разжимного конуса 5 цанги 3. На втором конце вала 10 (фиг. 4) закреплен кривошип 15, которьй через ролик 16 контактирует с рычагом 17, один конец которого посажен на ось, установленную в корпусе, а второй - контактирует с направл ющим штоком 18 рамы, вставленным в направл ющий подшипник 19, который установлен в цилиндрическом вертикальном отверстии корпуса 1. На правой стенке корпуса (фиг. 3) установлены направл ющие 20 замка рамы, котора  одним углом жестко закреплена на верхней части направл ющего штока 18. На раме установлен винт 21 замка рамы с кольцевой проточкой на его конце, котора  находитс  в контакте с направл ющими 20. Кроме того, на раме при помощи пружин 22 установлен самоустанав .пинающийс  держатель 23 фотошаблона 24, имеющий базовые упоры25, которые наход тс  в контакте с рабочими поверхност ми упоров 7 на корпусе . Рама, в свою очередь, соединена через упорный подшипник 26 .и пружину 27, проход щую через направл ющий шток, с. корпусом устройства. Заготовка 28 фиксируетс  на столе 2 цангой 3.
Устройство работает следующим образом.
В исходном положении рычаг 11 вала 10 находитс  в горизонтальном положении (фиг. 3), рама с держателем 23 фотошаблона 24 - в крайнем нижнем положении, а винт 21 замка рамы - в направл ющих 20 замка, рычаг 14 подъема разжимного конуса - н минимальном диаметре кулачка 12, вследствии чего цанга разжата. Дл  загрузки заготовки вал 10 поворачивают по часовой стрелке рычагом 11, при этом кулачок 12 поворачивает рычаг 14 подъема конуса 5 и цанга 3 сжимаетс . Кривошип 15 поворачивает рычаг 17,который поднимает направ-л ющий шток 18 с рамой и держателем 23, при этом винт 21 выходит из направл ющих 20 замка рамы. Раму отвод т вправо, на стол 2 укладывают заготовку 28 и раму возвращают влево до упора винта 21 в стенку корпуса. После этого вал 10 рычагом 11 поворачивают против часовой стрелки. Рычаг 14 поворачиваетс  вниз, конус 5 под воздействием пружины 6 опускаетс  и разжимает цангу 3, фиксиру  заготовку на столе, кривошип 15 поворачивает рычаг 17, пружина-27 перемещает направл ющий шток 18 с рамой также вниз, а упоры 25 держател  фотошаблона по контактным поверхност м упоров 7 на корпусе выход т на их вертикальные поверхности и, несколько сместившись под действием пружин 22, фиксируютс  в рабочем положении . При движении рамы вниз фотошаблон 24 под действием пружины 27 плотно прижимаетс  к заготовке.
Чтобы выставить центр цанги в нужное положение, выполн ют пробный отпечаток к наход т отклонение от концентричности основани  заготовки и наложенного на него рисунка. Лл  внесени  коррекции ослабл ют болты креплени  стола к корпусу (не показаны) и при помопщ клиновых механизмов перемещают стол в нужное положение. Поеле этого устройство готово к многократному переносу рисунка фотошаблона на заготовку.
Предлагаемое устройство обеспечивает высокую точность и повтор емость совмещени  рисунка фотошаблона и заготовки за счет того, что размеры между базовыми упорами и рисунком на держателе фотошаблона и между центром цанги дл  фиксации заготовки и рабочими поверхност ми упоров на корпусе посто нны, а держатель- фотошаблона в момент совмещени , поджимаетс  пружинами до соприкосновени  своими упорами с рабочими поверхност ми упоров на корпусе.
1099307
фиг.2 Видб

Claims (3)

  1. УСТРОЙСТВО ДЛЯ СОВМЕЩЕНИЯ ФОТОШАБЛОНА И ЗАГОТОВКИ, содержащее корпус, в котором установлен держатель фотошаблона, расположенный над столом, снабженным зажимным приспособлением и связанным с механизмами горизонтального и вертикального перемещения, а также фиксатор, связанный с механизмом вертикального перемещения, отличающееся тем, что, с целью повышения производительности и точности совмещения, в него введена установленная над столом с возможностью поворота и вертикального перемещения рама, на которой расположен держатель фотошаблона', а зажимное приспособление выполнено в виде расположенной в центре стола цанги, в которой установлен цилиндр с расположенным в нем разжимным конусом, связанным с механизмом вертикального перемещения, при этом на держателе фотошаблона установлены упоры, контактирующие с ответными элементами, расположенными на столе.
  2. 2
  3. 3 Ч 5 S Z4 28 фиг.1
SU833547794A 1983-01-27 1983-01-27 Устройство дл совмещени фотошаблона и заготовки SU1099307A1 (ru)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU833547794A SU1099307A1 (ru) 1983-01-27 1983-01-27 Устройство дл совмещени фотошаблона и заготовки

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU833547794A SU1099307A1 (ru) 1983-01-27 1983-01-27 Устройство дл совмещени фотошаблона и заготовки

Publications (1)

Publication Number Publication Date
SU1099307A1 true SU1099307A1 (ru) 1984-06-23

Family

ID=21048035

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
SU833547794A SU1099307A1 (ru) 1983-01-27 1983-01-27 Устройство дл совмещени фотошаблона и заготовки

Country Status (1)

Country Link
SU (1) SU1099307A1 (ru)

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
1. Николаев И.М. Оборудование и технологи производства полупройодниковых материалов. М., Высша школа, 1977, с. 170. 2. Авторское свидетельство СССР № 225692, кл. G 03 В 27/44, 1967 (прототип). *

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP2682861B2 (ja) 工作物の寸法をチェックする装置
US3963271A (en) Finger mechanisms of industrial robots
US4544311A (en) Mask alignment apparatus
SU1099307A1 (ru) Устройство дл совмещени фотошаблона и заготовки
US4389787A (en) Gauge for the geometrical and/or dimensional checking of pieces rotating about a geometrical axis
JPS59146145A (ja) 試料移動装置
US5327080A (en) Method and device for nondestructive testing of a penetration of a reactor pressure vessel lid
KR850000008B1 (ko) 자동 센터링 공구 고정구
SU1268359A1 (ru) Устройство дл установки изделий
SU1342658A1 (ru) Самоустанавливающа с сборочна головка
KR900011182Y1 (ko) 부품삽입장치
SU1023546A1 (ru) Способ сборки электродвигател и устройство дл его осуществлени
SU1316753A1 (ru) Поводковое устройство
US4111562A (en) Hydraulic gimbal system for beam projection lamps
SU1269075A1 (ru) Двухпозиционный предметный столик
SU1301560A1 (ru) Устройство дл сн ти литейных заливов и остатков питателей
JPH03293600A (ja) 放射線照射装置
SU1283023A1 (ru) Устройство дл установки деталей
SU1454638A1 (ru) Устройство дл групповой сборки деталей
SU790075A1 (ru) Оправка дл сборки магнитопроводов электрических машин
SU1349954A1 (ru) Поворотное устройство
SU737184A1 (ru) Многопозиционный станок дл электроискровой обработки цилиндрических поверхностей корпусов распылителей
JPS6050921A (ja) 上下駆動装置
SU1269966A1 (ru) Способ выверки положени опорных баз
KR970003269B1 (ko) 진원도(out of roundness) 측정장치