SU1075751A1 - Электродуговой испаритель провод щих материалов - Google Patents

Abstract

ЭЛЕКТРОДУГОВОЙ ИСПАРИТЕЛЬ ПРОВОДЯЩИХ МАТЕРИАЛОВ, содержащий расходуемый катод из испар емого материала , анод-камеру, поджигающий электрод и источник электропитани , отличающийс  тем, что, с целью расширени  технологических возможностей испарител , он снабжен электроизолированными тигл ми , размещенными в аноде-камере, и дополнительными источниками электропитани  , положительный полюс которых подключен к тигл м, а отрицательный - к аноду-камере.

Description

Изобретение относитс  к области нанесени  покрытий в вакууме и может примен тьс  в радиоэлектронной промышленности дл  нанесени  многокомпонентных покрытий , в машиностроении дл  нанесени  износостойких и других защитных покрытий.

Известен электродуговой испаритель провод щих материалов, содержащий расходуемый катод, анод и источник электропитани , в котором нагрев и испарение материала анода осуществл етс  за счет использовани  энерговыделени  вакуумного дугового разр да.

Недостатком известного испарител   вл етс  невозможность получени  многокомпонентных покрытий.

Известен электродуговой испаритель, содержащий несколько расходуемых катодов , выполненных из материалов, вход щих в состав покрыти , анод, поджигающий электрод и источник электропитани .

Недостатком известного испарител   вл етс  трудность дозировани  расхода отдельны .х компонентов покрыти , т.к. дуговой разр д в вакууме ниже определенных значений критического тока горит неО стабильно.

VI

Наиболее близким по технической сущности к изобретению  вл етс  электродугоел ел вой испаритель металлов, содержащий расходуемый катод из испар емого материала , поджигающий электрод и анод, выполненный в виде металлической оболочки, охватывающей рабочую поверхность катода и служащей одновременно вакуумной камерой .

Недостатком указанного испарител   вл етс  ограниченность круга испар емых материалов,, т.к. испарение р да материалов вакуумной дугой сопр жено со значительными трудност ми, обусловленное нестабильностью разр да, определ емое

теплофизическими свойствами материала расходуемого катода.

Целью изобретени   вл етс  расширение технологических возможностей испарител .

Поставленна  цель достигаетс  тем, что электродуговой испаритель провод щих материалов, содержащий расходуемый катод из испар емого материала, анод-камеру , поджигающий электрод и источник электропитани , снабжен электроизолированными тигл ми, размещенными в анодекамере , и дополнительными источниками электропитани , положительный полюс которых подключен к тигл м, а отрицательный. - к аноду-камере.

Конструкци  испарител  по сн етс  чертежом.

Электродуговой испаритель состоит из расходуемого катода 1. выполненного из испар емого материала, анода-камеры 2. поджигающего электрода 3 и источника электропитани  4. Испарителъ снабжен электроизолированными тигл ми 5. размещенными в камере-аноде 2, каждый из которых подключен к положительным полюсам дополнительных источников электропитани  б, отрицательные полюса которых подключены к камере. В к амёре 2 также размещено обрабатываемое изделие 7.

Устройство работает следующим образом . При контакте подвигающего электрода 3 с катодом 1 и наличии напр жени  источника электропитани  4. между расходуемым катодом 1 и анодом-камерой 2 инициируетс  вакуумный дуговой разр д. Материал катода испар етс , причем скорость испарени  задаетс  током дуги. При отсутствии потенциала на тигл х 5 эмиттируемые катодом электроны 8 плазменного потока по

кратчайшим траектори м.достигают стенок анода-камеры 2 и замыкают цепь источника питани  4. При подаче от дополнительных источников питани  6 на тигли В потенциала пор дка 400-500 В создаетс  электрическое

0 поле, под действием которого часть электронного потока 9 устремл етс  к тигл м 5. Выдел юща с  при электронной бомбардировке тиглей энерги  разогревает и испар ет материал тиглей 5. Ионизаци 

5 нейтральных атомов 10 испаренного вещества встречным электронным потоком приводит к возникновению большого числа ионов и вторичных электронов, которые, ускор  сь в электрическом поле, бомбардиру0 ют испар емое вещество, интенсифициру  процесс испарени . Требуемый режим испарени  вещества из анодов тиглей устанавливаетс  по току в цепи индивидуальных источников питани  6.

Потоки материалов, испаренных с поверхности катода и анодов-испарителей, конденсиру сь на изделии 7, образуют пленку, состав которой оНредел етс  мате0 риалом расходуемого катода и материалами , наход щимис  в тигл х 5, что значительно расшир ет технологические возможности испарител , а именно, позвол ет получать многокомпонентные покрыти  из материа6 лов, испарение которых вакуумной дугой св зано со значительными трудност ми.

KX

к

I

л YX

/

-f

5

«

Vc

4

f

Claims (1)

1. ЭЛЕКТРОДУГОВОЙ ИСПАРИТЕЛЬ ПРОВОДЯЩИХ МАТЕРИАЛОВ, содержащий расходуемый катод из испаряемого материала, анод-камеру, поджигающий электрод и источник электропитания, отличающийся тем, что, с целью расширения технологических возможностей испарителя, он снабжен электроизолированными тиглями, размещенными в аноде-камере, и дополнительными источниками электропитания , положительный полюс которых подключен к тиглям, а отрицательный - к аноду-камере.