SU1075236A1 - Регул тор расхода - Google Patents

Abstract

РЕГУЛЯТОР РАСХОДА, соде жащий корпус с входным и выходным патрубками и установленным внутри между ними эластичным трубчатым затвором, образующим со стенками корпуса управл ющую камеру, о т л чающийс  тем, что, с целью   области применени  и надежности регул тора астичного трубчатог-Г затвовлен цилиндрический стерэтом . : gst SiQ.Dj . радиальный зазор между эластичным трубчатым затвором и цилиндрическим стержнем/ толщина эластичного трубчатого затвора; внутренний диаметр эластич-„Ь ного трубчатого затвора, V ® длина эластичного трубчаТогс затвора

Description

Изобретение относится к арматуростроению, а именно к регуляторам, расхода газа в технологическом оборудовании для производства полупроводниковых приборов.

Известен регулятор расхода, . состоящий из эластичной трубчатой мембраны и устройства для управления мембраной в виде беличьего колеса с подвижными кольцами, изменяющего проходное сечение регулятора расхода, [1J .

Недостатком этого регулятора является ограниченная область применения ввиду узкого диапазона регулирования и малая надежность.

Наиболее близким по технической сущности к изобретению является регулятор расхода, содержащий корпус с входным и выходным патрубками с установленным внутри между ними эластичным трубчатым затвором, образующим со стенками корпуса управляющую камеру [2] .

Недостатком известного тора является то, что при расходах с его помощью не полностью перекрыть канал хода регулируемой среды, так как при значительной деформации мембраны на ее поверхности образуются продольные складки, т.е. остаются утечки,составляющие часть максимального расхода среды через регулятор. Кроме того, ^эти утечки ограничивают область применения регулятора относительно большими расходами и снижают его диапазон регулирования.

Целью изобретения является расширение области применения и повышение надежности регулятора.

Поставленная цель достигается тем,40 что в регулятор расхода, содержащий корпус с входным и выходным патруб- . ками и установленным внутри между ни· ми эластичным трубчатым затвором, образующим со стенками корпуса управляющую камеру, внутри эластичного трубчатого затвора установлен цилиндрический стержень, при этом

Регулятор содержит корпус 1 с вход· ным 2 и выходным 3 патрубками и установленным. внутри между ними эластичным трубчатым затвором 4, образующим со стенками корпуса 1 управляющую камеру 5, заполненную жидкостью. Внутри эластичного трубчатого затвора 4 установлен цилиндрический стержень 6, закрепленный на стойке 7. Управляющая камера 5 содержит управляющий поршень 8 ры регулятора образом, ре гул небольших удается. для проГеометрические параметр расхода :

δάΐ;

ч O.tD; Е 5D,

- радиальный эластичным твором 4 и стержнем б J

- толщина эластичного трубчатого затвора 4}

- внутренний диаметр элас- тичного трубчатого затвора 4,‘ ,

- длина эластичного трубчатого затвора 4.

Регулятор расхода работает следующим образом.

При создании давления в управляющей камере 5 с помощью перемещения управляющего поршня 8 во внутрь камеры 5, эластичный трубчатый затвор 4 начинает выпучиваться в сторону цилиндрического стержня 6, перекрывая! таким образом, радиальный зазор 8 и уменьшая расход среды.

Если геометрические размеры регулятора выбраны описанным образом, то при обжатии цилиндрического стержня 6 эластичный трубчатый затвор 4 не собирается в продольные складки, и регулятор расхода надежно перекрывает проходное сечение.

При отсасывании жидкости из управляющей камеры 5 путем перемещения управляющего поршня 8 наружу регулятора эластичный трубчатый затвор 4 прижимается к стенке корпуса 1,и открывается проходное сечение регулятора .

выбраны таким что

1$ где

25,

J5 . ·, ,.·

6604D), где 6 - радиальный зазор между : эластичным трубчатым затвором и цилиндрическим стерж-55 .нем) v - толщина эластичного трубчатого затвора)·

D - внутренний диаметр эластичного трубчатого затвора)· & - длина эластичного трубча- ^υ того затвора. ’

На чертеже показан регулятор рас^хода· ВНИИПИ

Филиал ППП /* зазор межд. трубчатым зацилиндрическим

Предлагаемый регулятор расхода позволяет расширить диапазон регули рования в сторону меньших расходов за счет уменьшения утечек в закрытом положении, увеличить соотношение максимального расхода к минимальному, что особенно важно для автоматических регуляторов расхода, используемых для некоторых технологических процессов. Кроме того, такая конструкция позволяет снизить непродуваемые объемы регулятора, что. существенно для чистоты тех· нологических сред полупроводникового производства.

Заказ 496/41______Тираж 842 Подписное ’’Патент, г. Ужгород, ул. Проект кай, ”4“

Claims (1)

1. РЕГУЛЯТОР РАСХОДА, содер- жащий корпус с входным и выходным патрубками и установленным внутри между ними эластичным трубчатым затвором, образующим со стенками корпуса управляющую камеру, о т л ич а_ю щ и й с я тем, что, с целью расширения области применения и повышения надежности регулятора^ внутри эластичного трубчатого затвора установлен цилиндрический стер•жень, при этом.

   i S<£Sio.Wj E»D,

   - радиальный зазор между эластичным трубчатым затвором и цилиндрическим стержнем/

   - толщина эластичного трубчатого затвора;

   внутренний диаметр эластич-₍<Ь ного трубчатого затвора*, V® длина эластичного трубчатогс затвора#

   1.075236