со ел
4 Изобретение относитс к технологическому оборудованию дл изготовлени изделий электронной техники, в частности к устройствам непрерывного действи дл термической обработки в вакууме или защитновосстановительной атмосфере узлов и деталей различного назначени , преимущественно дл процессов, требующих длительпого охлаждени по заданной программе. В насто щее врем дл увеличени производительности оборудовани обработка изделии осуществл етс кратковременным прохождением больших концентраций энергии (электронно-лучевой разогрев изделий нри отжиге, разогрев изделий индукционным концентратором при пайке и т.д.) Свойства материалов обрабатываемых изделий не всегда позвол ют осуществл ть быстрое охлаждение (вольфрамовый диск, массивный электровакуумный прибор и т.д.). Если сопоставл ть времена проведени основной технологической операции и охлаждени при выполнении технологического процесса, то они оказываютс несоизмеримы ( в частности при отжиге электронной бомбардировкой мишеней рентгеновских при боров это соотношение 1:20). Целесообразно примен ть компактное складирование обрабатываемых изделий во врем охлажВ услови х вакуума и повышенной те.мнературы надежна работа накопите пзного устройства обус 1овлена работоспособностью кинематических пар механизмов, осуществл ющих складирование. Требовани минимального касани , исключение возможности нанесени рисок на обрабатываемые издели приводит к необходимости создани устройств, осуществл ющих при обработке перекладку изделий на опорные удерживающие поверхности. Известна вертикальна карусельна нечь с защитной атмосферой, включающа диск с люльками дл перемещени деталей 1J. Недостатком данной конструкции вл етс невозможность изолированного проведени основной технологической операции, что исключило бы взаимное вли ние обрабатываемых изделий. Наиболее близким к изобретению вл етс устройство дл термообработки в вакууме , включающее вакуумную камеру, снабженную вертикальным конвейером, выполненным со вставными звень ми и ос ми, а в качестве нагревател использованы кварцевые лампы с йодным наполнителем 2. Недостатками данной конструкции вл ютс невысока надежность работы щарнирных кинематических пар в виде звеньев цепи конвейера и шарнирное соединение кассет-люлек в услови х вакуума и при температурной обработке свыше 1000°С. Кроме того, расположение цепного конвейера внутри вакуумной камеры значительно увеличивает ее габариты, требует установки дополнительных энергоресурсов (дополнительные откачные средства и соответственно дополнительный расход электроэнергии), а дл профилактического осмотра исполнительных механизмов требует трудоемкой операции развакуумировани камеры, Целью, изобретени вл етс увеличение надежности и упропшние конструкции устройства . Поставленна цель достигаетс , тем, что в устройстве дл термической обработки изделий в вакууме, содержан.1ем две вакуумные камеры, одна из которых снабжена наконителем, загрузочно-разгрузочным приспособлением и механическим приводом, имеющим кинематические пары дл привода накопител , накопитель выполнен в виде двух пар щтанг, оснащенных опорными держател ми дл изделий, одна пара установлена с возможностью вращательного движени , друга пара - с возможностью вращательного и возвратно-поступательного движени , причем штанги установлены внутри вакуумной камеры с зазором дл прохода издели , кинематические пары дл привода накопител расположены вне вакуумной камеры, а загрузочно-разгрузочное приспособление выполнено с опорноудерживающи .ми элементами, взаимодействующими с держател ми штанг. Именно при таком выполнении устройства значительно увеличиваетс надежность устройства за счет перемещени изделий перекладкой, размещением приводов штанг за пределами вакуумной камеры, что исключает ненадежную работу кинематических Р Услови х вакуума и повышенной температуры; возможностью осуществл ть во врем работы профилактический осмотр и подстройку исполнительных механизмов (в отличие от услови работы механизма линий непрерывного действи обработки в вакууме). Одновременно значительно упрощаетс конструкци устройства, так как опорные держатели штанг можно выполнить в соответствии с профилем обрабатываемых изделий и минимальных габаритов, что обеспечивает компактное складирование, а в соответствии с этим уменьшить вакуумный объем,, сократив средства получени и поддержани вакуума, а также энергоресурсы. На фиг. 1 изображена функциональна схема устройства; на фиг. 2 - накопитель; на фиг. 3 - вакуумна камера с накопителем , вид сверху. Устройство дл термической обработки в вакууме содержит рабочую камеру 1, ид накоплени обрабатываемых изделий 3, шлюзовое устройство 4 между камерами 1 и 2. Камера 2 снабжена накопителем , выполненным в виде двух пар поочерелно работающих штанг 5 и 6, оснащенных, опорными держател ми 7 дл изделий 3, и за грузомно-разгрузочным приспособлением 8 с опорно-удержнвающим элементом 9. Механический привод 10, включаюндий кинематические пары - черв чную 11 и зубчатую 12 дл сообщени вращательного движени штангам 5 через вакуумцые уплот нени - вводы 13 и кинематические пары - черв чную 14 и винтовую 15 дл сообщени поступательного движени ; а также кинематические пары - черв чную 16 и зубчатую 17 дл сообщени вращательного движени щтангам 5 через вакуумные уплотнени - вводы 13, размещен снаружи вакуумной камеры , 2; Приводное устройство 18 предназначено дл введени и выведени накопител в камеру 2. Устройство дл термической обработки изделий в вакууме работает следующим образом . Издели 3 носле технологической обработки в камере 1, требующие длительного охлаждени , поступают с помон;ью загрузочно-разгрузочного приспособлени 8 на его опорно-удерживающем элементе 9 через щлюзовое устройство 4 в камеру 2, оснащенную нагревательными устройствами 19, системой охлаждени контактов нагревател 20, устройством дл ввода термопары 21 контрол температуры по объему камеры 2, устройством дл напуска инертного газа 22. В камере 2 расположены штанги 5 и, 6, они смещены попарно так, чтобы обеспечивалс между ними проход опорно удерживаю, щего элемента 9 загрузочно-разгрузочного приспособлени 8 с изделиемЗ. На щтангах 5 и 6 закреплены опорные держатели 7 через равные промежутки по всей длине. Опорные держатели 7 и опорно удерживающий элемент 9 выполнены из вольфрамовой проволоки в виде буквы П и гофрированы под изделие 3 таким образом, чтобы изделие не смещалось горизонтально. Опорные держатели 7 соединены через керамические втулки 23 со щтангам и 5 и 6, а опорноудерживающий элемент 9 соединен с загрузочно-разгрузочным приспособлением 8, Штанги 6 с закрепленными на них опорными держател ми 7 соверщают только поворотные движени от черв чной пары 11 и зубчатой передачи 12 привода 10, а щтанги 5 с закрепленными на них опорными держател ми 7 соверщают поступательные и поворотные движени от черв чной пары 14 винтовой пары 15, а также от черв чной пары 16 и зубчатой передачи 17 привода 10. За начальное положение принимаем положение , при котором щтанги 6 с опорными держател ми 7 развернуты к центру камеры 2, а штанги 5 с опорными держател ми 7 развернуты от центра и наход тс ниже опорных держателей 7 щтанг 6. В момент, когда изле.-1ие 3 ностугп1ло в камеру 2 с помощью заг1)узочно-разгрузочного приспособлени 8 на его опорно удерживаюп1ем элементе 9, начинают движение вниз П1танги 5 до тех пор, пока верхн кромка опорных держателей 7, Н1таг 5 не опуститс ниже издели . После этого нтанги 5 поворачиваютс к центру и начинают движение вверх до сн ти издели 3 с опорно удерживающего элемента 9 и останавливаютс . В это врем разворачиваютс от центра щтанги 6 с опорн з1ми держател ми 7, освобожда путь вверх изделию. После этого продолжает движение вверх изделие 3, лежащее на опорных держател х 7 щтанг 5, до тех пор пока оно не окажетс выще нервых опорных держателей 7 щтанг 6, и штани 5 заканчивают поступательное движение вверх. Штанги 6 с опорными держател ми 7 поворачиваютс к центру. Штанги 5 начинают движение вниз до освобождени от издели 3. Таким образом, изделие 3 перемещаетс на онорные держатели 7 П1танг 6. Штанги 5 с опорными держател ми 7 разворачиваютс от центра и занимают исходное положение . Цикл заканчиваетс . При поступлении следующего издели 3 в камеру 2 цикл пов.тор етс . Особенности второго цикла заключаютс в том, что ранее поступи1вн1ее изделие 3 снимаетс с первых опорных держателей 7 Н1танг 6 вторыми опорными держател ми 7 штанг 5 и перемещаютс на вторые опорные держатели 7 штанг 6. Таким образом, заполн етс весь накопитель. В зависимости от вида термической обработки камера дл накоплени обрабатываемых изделий может быть оснащена нагревательными устройствами, устройствами дл интенсивного охлаждени и другими элементами , дл того чтобы обеспечить движение заготовок по различным зонам температурного вли ни . Изобретение представл ет значительный интерес дл народного хоз йства. Реализаци изобретени позвол ет повысить производительность оборудовани непрерывного действи по сравнению с известнымил.устройствами . Значительно упрощаетс конструкци устройства за счет резкого сокращени объема, в котором происходит обработка. Конструкци устройства позвол ет скомпоновать все приводные кинематические пары вне зоны вакуумной камеры, исключив воздействие повыщенной температуры и вакуума, тем самым, обеспечива надежность работы. Периодическое извлечение накопител из камеры позвол ет быстро осуществл ть подрегулировку исполнительного механизма и его профилактический осмотр без развакуумировани камеры.
-Ю
cpu2.2.
фиг.З