SU1066918A1 - Устройство дл передачи пластин между конвейерами,расположенными на разных высотных уровн х - Google Patents

Abstract

УСТРОЙСТВО ДЛЯ ПЕРЕДАЧИ ПЛАСТИН МЕЖДУ КОНВЕЙЕРАМИ, РАСПОЛОЖЕННЫМИ НА РАЗНЫХ ВЫСОТНЫХ УРОВНЯХ, включающее размещенный в вертикаль- . ном стволе подъемный стол с ограничител ми , отличающеес  тем, что, с целью снижени  повреждений при передаче пластин, изготовленных из хрупкого материала, подъемный стол выполнен с соединенными между собой и наклонными к его поверхности отверсти ми, св занными с системой сжатого газа посредством каналов и проточки, выполненный соответственно в вертикальном стволе на уровне конвейеров и в боковой стенке подъемного стола.

Description

0 Л со Изобретение относитс  к производ ству полупроводниковых приборов и материалов, в частности дл  создани автоматической линии производства пластин монокристаллического кремни Известно устройство дл  передачи пластин между конвейерами, расположенными на разных высотных уровн х, включающее размещенный в вертикальном стволе подъемный стол .с ограничител ми и механизмом перемещени  СП. Недостатком данного устройства  вл етс  повреждение пластин при передаче за счет возникновени  удар ных нагрузок на пластину при подаче ее на подъемный стол, который выпо нен наклонным с неприводными ролика ми, и при разгрузке подъемного сто ла при его повороте. Известно также устройство дл  передачи пластин между конвейерами, расположенными на разных высотных уровн х, включгиощее размещенный . в вертикальном стволе подъемный ст с ограничител ми С2Д, Недостатком данного устройства  вл етс  повреждение пластин при их перемещении на подъемном столе по его роликам, а также трение пластин о ролики в процессе перемещени  под емного стола, что вызывает поврежде ние пластин. Целью изобретени   вл етс  сниже ние повреждений при передаче пластин , изготовленных из хрупкого мате риала Дл  достижени  указанной цели в Устройстве дл  передачи пластин меж ду конвейерами, расположенными на разных высотных уровн х, включающем размещеннный в вертикальном стволе подъемный стол с ограничител ми, подъемный стол выполнен с соединенными между собой и наклонными к его поверхности отверсти ми, св занными с системой сжатого газа посредством каналов и проточки, выполненных соответственно в вертикальном стволе на уровне конвейеров, и в боковой стенке подъемного стола. На фиг, 1 показано предлагаемое устройство при перемещении пластин вверх; общий вид на фиг. 2 - то же, при перемещении пластин вниз. Устройство- состоит из вертикального ствола 1, который имеет загруаочный канал 2 и разгрузочный канал 3, которые выполнены в виде щели с размерами больше размеров перемещаемых пластин. Стенки ствола выполне ны с каналами 4 и 5, которые соединены с системой энергоносител  под давлением, например с системой сжатого газа через запорную арматуру, Вертикёшьный ствол также снабжен ограничител ми 6 перемещени  хода подъемного стола 7, Стол выполнен с полостью 8, котора  через проточку 9, выполненную в боковой стенке подъемного стола и через каналы 4 и 5, выполненные в вертикальном стволе , в зависимости от положени  стола может соедин тьс  с системой сжатого , газ а, Прверхность стола 7 выполнена с отверсти ми 10, расположенными наклонно. СЗтол выполнен по меньшей мере с двум  гнездами 11 с отверстием 12, в которых расположен ограничитель 13 со штоком 14,, который выполнен с возможностью свобод- ного пер емещени  в отверстии, при этом высота ограничител  меньше выг соты гнезда, а размер ограничител  со штоком больше высоты стола. На поверхность стола подаетс  пластина 15. Подъемный стол перемещаетс  между расположенными на разных высотных уровн х подающим 16 и отвод щим 17 конвейерами , .которые могут быть выполне-. ны ленточными. Стол 7 снабжен штоком 18, который соединен с механизмом продольного перемещени . Дно вертикального ствола выполнено с отверсти ми 1.9. Каналы А и 5, выполненные в боковых стенках ствола, соединены с системой сжатого газа, например с системой сжатого воздуха через управл ющие элементы 20 и 21, например электромагнитные вентили, а механизм продольного перемещени  штока 18 выполнен в виде зубчатой рейки 22, с которой входит в зацепление шестер  23 с приводом 24, например , в виде электродвигател  с реверсивным управлением. Устройство работает следующим образом. Открывают электромагнитный вентиль 21 и в каналы 4 подают сжатый газ, через проточку 9 поступающий в полость 8 подъемного стола 7, из которого через отверсти  10 поступает во внутреннюю полость вертикального ствола, в результате над столом 7 создаетс  газовый поток, направленный от загрузочной щели к стенке. Подающим конвейером 16 подают пластину 15, котора  перемещаетс  в стволе 1, подхватываетс  потоком и перемещаетс  до упора в ограничитель 13 (фиг. 1) или в ограничитель 6 (фиг, 21, Электромагнитный вентиль 21 перекрывают и прекращаетс  поток газа через кангит 4 и проточку 9, полость 8 и отверсти -10, Пластина 15 плавно опускаетс  на стол 7, Включают привод 24, который, враща  шестерню 23 через зубчатую рейку 22, расположенную на штоке 18, поднимает стол 7 (фиг. 1) Или опускает его (фиг, 2) до упора .в ограничитель 6 (фиг. 1) или лоднища (фиг. 2),

Проточка 9 совмещаетс  с каналом 5, который электромагнитным вентилем 20 соедин ют с системой сжатого газа . При подъеме стола 7 ограничители 13 опускгиотс  в гнездо 11. Направленный поток газа, проход щий через канал 5 и проточку 9, полость 8 и отвеС сти  10, поднимает и перемещает пластину 15 через канал 3 на отвод щий конвейер 17, который перемещает пластину на следующую операцию, Электромагнитный вентиль 20 закрывают , включают привод 24, который опускает (фиг. 1) или поднимает (фиг. 2) стол 7 за следующей пластиной.

На фиг. 1 и 2 показано,- дл  примера , два варианта механизма вертикального перемещени  пластин. . .

Преимуществом изобретени   вл етс  исключение соприкосновени  пластины со стенками вертикального ствола , плавна , осторожна  загрузка и выгрузка пластину что обеспечивает перемещение хрупких плАстин из полупроводникового материала. Более того, при герметизации подвод щих 1 конвейеров и подаче очищенного инертного газа устройс:1во обеспечивает чисготу , стерильность атмосферы дп пере/лещени  деталей, что особенно важно при производстве полупроводниковых приборо

Фиг±

22

Claims (1)

1. УСТРОЙСТВО ДЛЯ ПЕРЕДАЧИ ПЛАСТИН МЕЖДУ КОНВЕЙЕРАМИ, РАСПОЛО но в вертикальном стволе на уровне конвейеров и в боковой стенке подъ емкого стола.