SU1057258A1 - Устройство дл двусторонней доводки деталей - Google Patents

Abstract

УСТРОЙСТВО ДЛЯ ДВУСТОРОННЕЙ ДОВОДКИ ДЕТАЛЕЙ, содержащее основание с соосно смонтированными на нем притирами, между которыми расположена кассета, св занна  с приводом, отличающеес  тем, что, с целью повышени  качества обработки за счет управлени  силовой разгрузкой кассеты, оно снабжено инерционным кольцом, расположенным концентрично нижнему притиру и св занным с ним и основанием с помощью упругих элементов, при этом кольцо и нижний притир установлены на основании свободно на направл ющих качени . (Л ел ю ел ОО

Description

Изобретение относитс  к станкостроению и может быть использовано при полировании , шлифовании и доводке плоских деталей, в частности в приборостроении дл  высокоэффективной размерной обработки пластин из полупроводниковых материа .i-ii и кристаллов. , Известно устройство дл  двусторонней доводки, содержащее верхний и нижний притиры, , между которьши расположена кассета с детал ми, закрепленна  на валу привода посредством упругого элемента 1 Однако данный станок не позвол ет упра вл ть СИЛОВОЙ разгрузкой кассеты с детал ми . Цель изобретени  - повышение качества обработки плоских деталей за счет управлени  силовой разгрузкой кассеты. Поставленна  цель достигаетс  тем, что устройство дл  двусторонней доводки деталей , содержащее основание с соосно смон тированными на нем притирами, между которыми расположена кассета, св занна  с приводом, снабжено инерционным кольцо.м, расположенным концеНтрично нижнему притиру св занным с ним и основанием с помощью упругих элементов, при этом кольцо и нижний притир установлены на основаНИИ свободно на направл ющих качени . На чертеже схематично представлено устройство в разрезе содержит верхний 1 вращающийс  и 2 Нижний притиры, между которыми размещены обрабатываемые детали 3, помещенные в многопозиционную кассету 4. Кассета с детал ми приводитс  во вращение с помощью эксцентрика 5. Верхний притир св зан с двигателем 6 через редуктор 7. Нижний прит р 2 может вращатьс  на подшипнике 8 вокруг своей оси. По периферии нижнего притира на одинаковых рассто ни х закреплены упругие элементы 9, св зывающие его с инерционным кольцом 10, которое тоже может вращатьс  вокруг своей оси на подщипниках 11, но удерживаетс  от вращени  пружинами 12, закрепленными на основании. При перемещении деталей 3 по поверхности верхнего и нижнего притиров, происходит съем материала с обеих поверхностей деталей. Устройство работает следующим образом . В момент Начального пуска устройства и в процессе его работы происходит периодическое качание нижнего притира 2 и внещнего кольца 10 за счет непрерывного изменени  услови  контакта деталей с притирами . Качани  нос т характер периодичесских колебаний около положени  равновеси  вокруг оси нижнего притира и внешнего кольца. Колебани  нижнего притира описываютс  дефференциальным уравнением четвертого пор дка с нелинейной возмущающей силой: j). + j.f,.г +Г +т Ur . с,2 1т;Г ,i..f/;;4( Ci,i)-f С,г где-f,- угол поворота притира от положени  равновеси ; j -момент инерции внещнего кольца; - коэффициент упругости упругого элемента 9; Ci -коэффициент упругости пружин ( всех) 12; /г -момент инерции нижнего притира; ffj) -функци  возмущающей внешней силы, роль которой играет момент от сил трени  услови  контакта деталей с поверхности нижнего и верхнего притиров. Таким образом, подбира  массу инерционного кольца, а также коэффициенты упругости пружин и упругого элемента, можно достичь управлени  силовой разгрузкой кассеты, измен ть величины съема материала с противоположных сторон обрабатываемых деталей, повысить качество обработки плоских деталей. И, как следствие, предлагаемое устройство может примен тьс  дл  тонких хрупких пластин из полупроводниковых материалов и кристаллов.

Claims (1)

1. УСТРОЙСТВО ДЛЯ ДВУСТОРОННЕЙ ДОВОДКИ ДЕТАЛЕЙ, содер жащее основание с соосно смонтированными на нем притирами, между которыми расположена кассета, связанная с приводом, отличающееся тем, что, с целью повышения качества обработки за счет управления силовой разгрузкой кассеты, оно снабжено инерционным кольцом, расположенным концентрично нижнему притиру и связанным с ним и основанием с помощью упругих элементов, при этом кольцо и нижний притир установлены на основании свободно на направляющих качения.