Изобретение относитс к электро но-оптическим устройствам с коррек цией аберраций, при фокусировке пуч ков зар женных частиц и может быть использовано в различных электронн оптических приборах, например элек ронно-лучевых трубках, спектрометрах , микроскопах. Известно устройство с коррекцие аберраций, содержащее скрещенную линзу из плоских электродов .с отверсти ми , имеющими две плоскости симметрии 1 . Недостатком устройства вл етс то, что скрещенна линза создает л нейное изображение со скорректированной сферической аберрацией толь ко в средней плоскости ширины этог изображени . Вне этой плоскости сф рическа аберраци присутствует и ухудшает общее качество изображени . Кроме того, недостатком вл етс отсутствие коррекции других видов аберраций. Известно электронно-оптическое устройство, содержащее скрещенную линзу, состо щую, по крайне мере, из двух электродов с отверсти ми, имеющими продольную и поперечную плоскости симметрии и размеры в этих плоскост х С и d соответственно и дополнительный электродкорректор с отверстием, имеющим не менее трех плоскостей симметрии l2 Недостатком известного устройства вл етс вли ние KOppeKVOpa на условие фокусировки основной системы электронно-оптических элементов , что приводит к сложности на-, стройки всего устройства в целом. Обеспечение требуемого количества изображени достигаетс лишь в результате последовательных регулировок напр жени на корректоре и на элементах основной системы, что снижает точность коррекции. Кроме того, недостатком вл етс сложност конструкции из-за необходимости Нёшичи самосто тельного источника питани корректора.. Цель изобретени - повыиение точности коррекции при уменьшении искажений и упрощение конструкции, Указанна цель достигаетс тем, что в электронно-оптическом устройстве , содержавдем скрещенную линзУ., состо щую по крайней мере,из двух элек тродов с отверсти ми,имеющими продоль ную и поперечную плоскости .симметрии размеры 6 и d в этих плоскост х соответственно, и электрод-корректор с отверстием, имеющим не менее Трех плоскостей симметрии, упсин нутый электрод-корректор электрически соединен с одним из электродов линз и расположен от него на рассто нии, не превышающем d , а размеры отверсти электрода-корректора составл ют 0,2 d- в каждой из плоскостей симметрии. На чертеже показана схема предлагаемого устройства. Устройство содержит по оси 7. скрещенную линзу 1 из двух электродов , продольна плоскость симметрии пр моугольного отверсти с шириной (3 в первом по ходу пучка из которых совпадает с направлением х. Продольна плоскость симметрии отверсти во втором электроде совпадает, соответственно, с направлением . На рассто нии 0,5(3 от первого электрода ближе к источнику электронов и после второго электрода линзы установлены дополнительные электродыкорректоры 2 с треугольным и пр моугольным отверсти ми. Соответствующие электроды линзы и дополнительные электроды-корректоры соединены между собой электрически и имеют потенциалы V и Vi . Работа устройства заключаетс в следующем. Электроны ИЗ- источника попадают под действие пол скрещенной линзы с дополнительиьам электродом-коррек - тором. Скрещенна линза 1 фокусирует пучок электронов в направлении ) и рассеивают в направлени х X , т.е. создает линейное изображение. При этом октупольна составл юща , ее основного пол корректирует аберрации третьего пор дка, например сферическую аберрацию, в средней плоскости ширины линейного изображени . Октупольна составл юща краевого пол , образованна электродной системой скрещенной линзы и дополнительным электродом-корректором, корректирует аберрации третьего пор дка, например сферическую аберрацию, вне средней полости ширины линейного изображени . При фокусировке пучка электронов полем всей электродной системы происходит коррекци указанной аберраций .асей ыирины линейного изображе- ни , не нарушающа услови фокусиров Поле скрещенной линзы с дополнительным электродом содержит осесимметричную , квадрупольную и мультипольные составл ющие. Мультипольные составл ющие и корректируют аберрации . Дополнительный электрод-корректор вносит изменени в структуру высших гармоник краевого пол линзы, что сказываетс на величине ее аберраций и не вли ет на услови фокусировки линзы. Степень вли ни на краевое поле определ етс рассто нием дополнительного электрода-корректора от одного из электродов скрещенной линзы, например первого по ходу пучка. При рассто нии большем
чем ширина отверсти в электроде скрещенной линзы с/ , это вли ние практически исчезает. Значительное вли ние на краевое поле оказьшает форма отверсти в дополнительном электроде-корректоре, причем какова бы эта форма ни была, размеры отверсти должны лежать в указанных пределах, так как в противном, случае фактор заданного изменени краевого пол исчезает и управл ть аберраци ми становитс невозможно. Существенным при этом вл етс электрическое соединение дополнительного электрода-корректора с упом нутым . электродом скрещенной линзы, так как в ином случае нарушаютс услови фокусировки, из-за возникновени в Области дополнительного электродакорректора линзового эффекта. Кроме того, вследствие исключени необходимости в отдельном источнике питани дополнительного электрода-корректора существенно упрощаетс конструкци всего устройства, .
Фау ла отверсти в дополнительном электроде-корректоре может быть различной. Так, дл коррекции
аберраций третьего пор дка, отверстие в дополнительном электроде-корректоре должно иметь 2,4 или бесконечное число плоскостей симг етрии, В этом случае регулируетс величина октупольной составл ющей. Форма отверсти может быть пр моугольной ( 2 плоскости симметрии), например повтор ть форму отверсти в электроде скрещенной линзы (это выгодно с точки зре0 ни унификации электродов), может быть квадратной формы (. 4 плоскости симметрии) или круглой формы (бесконечное числоплоскостей симметрииJ, Дл коррекции аберраций, например,
5 2-го пор дка, отверстие в дополнительном электроде- должно иметь три .плоскости сиьФ етрии ( например треугольной формы). В этом случае в краевом поле возникает секступольна составл юща , вли юща на аберрации
0 второго пор дка.
Таким образом, предлагаемое электронно-оптическое устройство имеет повышенную точность коррекции аберраций за счет уменьшени вли 5 ни пол электрода-корректора на услови фокусировки и более простую конструкцию.