SU104005A1

SU104005A1 - Способ определени толщины и показател ; преломлени тонких пленок

Info

Publication number: SU104005A1
Application number: SU443362A
Authority: SU
Inventors: В.В. Карасев
Original assignee: В.В. Карасев
Priority date: 1951-02-16
Filing date: 1951-02-16
Publication date: 1955-11-30

Description

Предметом изобретени вл етс способ непрерывного измерени толщины и показател преломлени тонких пленок, нанесенных на металлах и. диэлектриках, основанный на определении величины эллиптичности отраженного(пол ризованного)

света. Дл определени указанных величин в предлагаемом способе, измерейие отношени амплитуд слагающих вектора и сдвига фаз отраженного пол ризованного света производитс одновременно и сведено к одной операции.

На фиг. 1 показан первый вариант (автоматический) применени способа , на фиг. 2 - второй вариант (обращенна схема), отличающийс от первого тем, что источник света и фотоэлектронны1Й умножитель помен лись местами.

Сущность способа заключаетс в том, что монохроматический свет от источника Si (фиг. 1), пройд через щель А, неподвижный пол ризатор (пол роид) РЬ компенсатор /С (например , пластинку в /4 волны) и линзу L падает на исследуемую пленку Т и, отразивщись от нее, проходит через вранхающийс пол ризатор Р2, депол ризатор DP и падает на катод фотоэлектронно1юумножител

ФЭУ-1. Фототок после усилител поступает ка логометр LA . При прохождении через вращающийс пол ризатор свет при определенном положении компенсатора, устанавливаемого при помощи модул тора М и устройства R (последнее - необ зательно ), модулируетс , причем модул ци светового потока достигает 100%.

Дл опрсде.11ени азимута пол ризации служит источник белого света S2, лучи которого проход т через жестко св занный с компенсатором Л пол роид РЗ (а также пол роид Р.;), вращающийс пол роид Ра и падают на катод фотоэлектронного умножител (или фотоэлемента ФЭУ-2, соответственно фотоумножител ФЭУ-3). Когда плоскости колебани пол роидов РЗ и PJ, совпадают, то между фототоками в фотоумножител х (или фотоэлементах) нет сдвига фаз. Когда пол роид РЗ пово1зачиваетс , то между фототоками возникает сдвиг фаз, равный углу поворота плоскости пол ризации. Сдвиг фаз измер етс логометром Lф(тинa фазометра). Дл определени отнощени амплитуд примен етс второй логометр LA также типа фазометра.

Вместо схем с по.м рондом Р.} может быть применена схема с электромагнитным генератором {жестко св занным с осью вращающегос пол ризатора -Р2), ток от которого поступает в логометр /-л и модул тор М.

Установка компенсатора К может производитьс и вручную.

Существующие способы измерени указанных параметров тонких пленок не позвол ют производить измерени достаточно быстро, не .обеспечивают автоматизации процесса, тогда как предлагаемый способ обеспечивает непрерывное наблюдение за изменением толщины пленки и непрерывную запись показаний пол ризатора и анализатора и поэтому может найти .применение в лабораторной практике .

Предмет изобретени

Claims

1. Способ определени толщины и локазатед преломлени тонких пленок , основанный на из.меренин сдвига фаз и азимута пол ризации отрал енного от пленки пол ризованного монохроматического света, о т л и ч аю щ и и с тем. что, с целью обеспечени непрерывности измерений, устанавливают на максимум создаваемой вращающимс пол ризатором модул ции пластинку в /.i волны , вл ющуюс компенсатором.

2. Способ по п. 1 с применением дл измерени азимута пол ризации логометра типа фазометра, о т л ичающийс тем, что, с -целью получени непосредственного отсчета азимута пол ризации, в логометр подают ток от фото-элемента, освещаемого светом, прощедшим через пол роид и вращающийс пол ризатор.