SU1038559A1

SU1038559A1 - Method of cooling pumping surface of cryogenic pump

Info

Publication number: SU1038559A1
Application number: SU813312868A
Authority: SU
Inventors: Юрий Васильевич Холод; Владимир Борисович Юферов; Валерий Борисович Нестеренко; Виктор Петрович Смазной; Геннадий Александрович Постоленко
Original assignee: Предприятие П/Я В-8851
Priority date: 1981-07-06
Filing date: 1981-07-06
Publication date: 1983-08-30

Abstract

СПОСОБ ОХЛАЖДЕНИЯ ОТКАЧИВАЮЩЕЙ ПОВЕРХНОСТИ КРИОНАСОСА путем теплообмена ее с твердым хладагентом , отличающийс тем, что, с целью интенсификации охлаждени при работе насоса, в твердый хладагент периодически подают жидкий хладагент. в оо 00 сд ел соA COOLING METHOD FOR DRAWING A SURFACE OF A CRYONS PUMP by heat exchanging it with a solid refrigerant, characterized in that, in order to enhance cooling during pump operation, a liquid refrigerant is periodically supplied to the solid refrigerant. oo 00 sd ate with

Description

Изобретение относитс к вакуумной технике , а именно - к способам эксплуатации крионасосов.The invention relates to vacuum technology, namely to methods of operating a cryopump.

Известен способ охлаждени откачивающей поверхности крионасоса путем теплообмена ее с твердым хладагентом 1.A known method of cooling the pumping surface of a cryopump by heat exchange with a solid refrigerant 1.

Недостатком известного способа вл етс практическа невозможность поддержани температуры откачивающей поверхности на уровне, соответствующем температуре твердого хладагента, вследствие того, что при откачке значительных количеств газа, что имеет место при работе крионасоса, например в области давлений 100-10 мм рт. ст., выдел юща с теплота конденсации отогревает твердый хладагент, который при этом сублимируетс , и постепенно поверхность контакта твердого хладагента с откачивающей поверхностью уменьщаетс и соответственно увеличиваетс термическое сопротивление . Эт-о приводит к повыщению температуры откачивающей поверхности и снижению откачных характеристик крионасоса .The disadvantage of this method is the practical impossibility of maintaining the temperature of the pumping surface at a level corresponding to the temperature of the solid refrigerant, due to the fact that when pumping significant quantities of gas, which occurs when the cryopump is working, for example, in the pressure range of 100-10 mmHg. The heat release of the condensation heats the solid refrigerant, which then sublimates, and gradually the contact surface of the solid refrigerant with the evacuating surface decreases and the thermal resistance increases accordingly. This leads to an increase in the temperature of the pumping surface and a decrease in the pumping characteristics of the cryopump.

Цель изобретени - интенсификаци охлаждени откачивающей поверхности при рабате насоса.The purpose of the invention is to intensify the cooling of the pumping surface when the pump is discount.

Указанна цель достигаетс тем, что согласно способу охлаждени откачивающей поверхности крионасоса путем теплообмена ее с твердым хладагентом, в последний периодически подают жидкий хладагент.This goal is achieved by the fact that according to the method of cooling the pumping surface of a cryopump by heat exchange with a solid refrigerant, a liquid refrigerant is periodically supplied to the latter.

На чертеже изображено устройство дл осуществлени способа.The drawing shows a device for implementing the method.

Крионасос содержит корпус 1 с размещенным в нем сосудом 2 дл хладагента, снабженным патрубками 3 и 4 дл подачи хладагента и откачки его паров. Внутри сосуда 2 размещена герметична камера 5,The cryopump comprises a housing 1 with a vessel 2 for refrigerant therein, equipped with nozzles 3 and 4 for supplying the refrigerant and pumping out its vapor. Inside the vessel 2 is placed an airtight chamber 5,

в верхнюю часть которой введен вакуумпровод 6. Откачивающа поверхность выполнена в виде змеевиков 7, сообщенных с полостью сосуда 2, и внутренней поверхностью герметичной камеры 5. Дл контрол температур откачивающей поверхности и хладагента предусмотрены термометры 8 и 9. Способ осуществл ют следующим образом .Vacuum line 6 is introduced into the upper part. The evacuating surface is made in the form of coils 7 communicated with the cavity of the vessel 2 and the inner surface of the sealed chamber 5. Thermometers 8 and 9 are provided to monitor the temperatures of the evacuating surface and refrigerant. The method is carried out as follows.

В сосуд 2 заливаетс хладагент (жидкийRefrigerant (liquid

азот) и через патрубок 4 вспомогательным насосом пары хладагента откачиваютс . При этом жидкий хладагент охлаждаетс и переходит в твердый. Таким образом, откачивающа поверхность охлаждаетс твердым хладагентом. При откачке газа на поверхност х змеевиков 7 и камеры 5 теплота конденсации отводитс твердым хладагентом который, сублимиру сь, уменьщает поверхность контакта с откачивающей поверхностью , что приводит к повыщению термического сопротивлени и, соответственно, повыщению температуры откачивающей поверхности .nitrogen) and through the pipe 4 with an auxiliary pump, refrigerant vapor is pumped out. In this case, the liquid refrigerant is cooled and converted to solid. Thus, the pumping surface is cooled with a solid refrigerant. When gas is pumped out on the surfaces of the coils 7 and chamber 5, the heat of condensation is removed by a solid refrigerant which sublimates reduces the surface of contact with the evacuating surface, which leads to an increase in thermal resistance and, consequently, an increase in the temperature of the evacuating surface.

Затем в сосуд 2 с твердым хладагентом периодически подают жидкий хладагент, который, проника в твердый хладагент, охлаждаетс до температуры последнего и увеличивает поверхность контакта, снижа термическое сопротивление, что в конечном итоге, интенсифицирует процесс охлаждени откачивающей поверхности в рабочем . режиме крионасбса.Then, a liquid refrigerant is periodically supplied to the solid refrigerant vessel 2, which, when penetrated into the solid refrigerant, cools to the temperature of the latter and increases the contact surface, reducing thermal resistance, which ultimately intensifies the cooling process of the pumping surface in the working area. cryonasbs mode.

Таким образом, предлагаемый способ дает возможность стабилизировать откачные характеристики крионасоса в процессе работы вследствие поддержани температуры откачивающей поверхности на необходимомThus, the proposed method makes it possible to stabilize the pumping characteristics of the cryopump during operation due to maintaining the temperature of the pumping surface at the required level.

5 уровне.Level 5.

Claims

METHOD FOR COOLING A CRYONASS PUMPING SURFACE by heat exchange with a solid refrigerant, characterized in that, in order to intensify cooling during pump operation, liquid refrigerant is periodically introduced into the solid refrigerant.

> U,.,. 1038559>