00. 00 Изобретение относитс к устройс вам дл односторонней групповой об работки и транспортировки плоских глелий, например полупроводниковых пластин. . Наиболее близкой к предлагаемой вл етс кассета, содержаща разме щенные между стойками подложкодерж тели, выполненные в виде установле ных параллельно и на разных уровн стержней с пазами дл по упроводни ковых подложек fl. Недостатками этого устройства л ютс ненад€ жна фиксаци пластин невозможность его использовани при необходимости обрабатывать лиш одну сторону пластины, например,. при плазмохимическом травлении. Эт обусловлено.тем, что устройство имеет фиксированные, неподвижные пазы дл размещени пластин, исклю чающие возможность установки и пло ного прижати защитных экранов к пластинам или пластины к пластин Цель изобретени - повышение на дежности фиксации полупроводниковы подложек и повышение их качества. Поставленна цель достигаетс т что в кассете преимущественно дл обработки и транспортировки полупроводниковых подложек, содержащей размещенные между стойками подложкодержатели/ выполненные в виде установленных параллельно и на разных уровн х стержней с лазами дл полу .проводниковых подложек, стержни, . установленные на одном уровне, выполнены полыми и снабжены размещенными внутри них подпружиненными што ками и механизмом их перемещени и фиксации. П{)И этом механизм перемещени . и фиксации подпружиненных штоков выполнен в виде жестко закрепленных на общей оси эксцентриков, установленных с возможностью Взаимодействи с торцовыми поверхност ми подпружиненных штоков. На фиг. 1 изображена каЬсета, вид сверху; на фиг. 2 - то же, спереди; на фиг. 3 - трубка со штоком , разрез, в момент загрузки плас тин; фиг. 4 - то же, после фиксации полупроводников пластин. Кассета содержит стойки 1, соединенные верхними 2 и нижними 3 стержн ми, на которых имеютс пазы соответственно 4 и 5. В качестве верхних 2 стержней использованы трубки, внутри которых размещены штоки б, имеющие пазы 7, по шагу и размерам соответствующие пазам в трубках. С одной стороны штоки 6 подпружинены пружинами 8, а с другой стороной своими торцовыми поверхност ми контактируют с эксцентриками 9, жестко сид щими на поворотной оси 10 и имеющими ручку 11 Эксцентрики и пружины служат дл фиксации и освобождени полупроводниковых пластин 1 и защитных экранов или других полупроводниковых пластин; 13. Подготовка к работе и работа кассеты при плазмохимическом травлении полупроводниковых пластин осуществл етс следующим образом. Полупроводниковые кремниевые пластины 12 с нанесенной на них пленкой нитрида кремни , которые необходимо обработать с одной стороны, помещают в пазы 4 и 5 стержней, закрепленных в стойках 1. Одновременно в эти пазе устанавливают защитные экраны 13, причем сторона пластины, которую необходимо защитить от травлени , должна быть обращена к экрану. Экраном может служить и друга полупроводникова пластина. В этом случае пластины устанавливают друг к другу стрро.нами, которые не должны подвергнутьс травлению. На этом этапе работы эксцентрики наход тс в положении загрузка, т.е. пазы 4 в трубках верхних 2 стержней совпадают с пазами 7 в штоках 6,, . а пружины 8 сжаты.. После загрузки партии пластин ручку 11 перемещают в положение процесс, при этом эксцентрики 9 поворачиваютс вокруг оси 10 и контактирующие с ними штоки б перемещаютс под действием пружин, сокраща ширину между пазами 4 и 7. В результате этого пластины .прижимаютс к защитным экранам ( или другим пластинам ).. Кассету с зафиксированными пластинами помещают в камеру дл плазмохимической обработки или передают дл транспортировки на другую операцию . При этом никаких смещений пластин и экранов относительно друг друга не происходит. После выполнени необходимых операций эксцентрики возвращаютс в положение загрузка, в результате чего штоки б перемещаютс вправо, сжима пружины и совмеща прорези в штоках с пазами в трубках. Освобожденные от зажима пластины извлекают иэ кассеты и передают на следующую операцию. Применение предлагаемой кассеты при плазмохимической обработке кремниевых пластин позвол ет повысить качество обработки и исключить бой пластин в процессе обработки и транспортировки.