SU1010460A1 - Устройство дл измерени микроразмеров - Google Patents

Abstract

УСТРОЙСТВО ДЛЯ ИЗМЕРЕНИЯ МИКРОРАЗМЕРОВ, содержащее осветитель, последовательно установле1ь е ff / / ныв по ходу светового пуча предметный столик, оптический микроскоп в тепеввзювную передающую камеру, компаратор, регулируемого опорного ва р жени , соединенный с компаратором, блок генераюш ш пульсов, телевиаш |{ный монитору соединенный .с последним, в блок измерени  размеров, отличаю щ е е с   тем, что, с повышо вв  точности в расщиревв  функтоваль возможностей, оно свабжево тором, соедин емым с 1федметвым столвком , последний устанавливаетс  с воэмс кностью перемеп ни  вдоль о11твчео кой оси оптического микроскопа, а T ieввзионна  передающа  камера соедввева :С входом компаратора. . (Л fff / . с О) vf. /

Description

Изобретение относитс  к коитрольновэмерительной технике и может быть из пользовано в оптическом приборостроении в частности, дл  измерени -элементов на фотошаблонах.. Известно устройство дл  измерени  размеров элементов на фотошаблонах, содержащее оптический микроскоп и оку-. л р-мккр(, соединенный с tpM.ClUНедостатке устройства  вл етс  невысока  точность измерени  за счет визуального контрол  за настройкой на кра  объекта. Наиболее близким к изобретению  вл етс  устройство дл  измерени  11«икроразмеров , содержащее осветитель, последовательно установленные по ходу светового луча предметный столик, оптический микроскоп и телевизионную передающую камеру, компаратор, источник регулируемого опорного напр жени , соединенный с компаратором, блок генерации импульсов , телевизионный монитор, соединенный с последним, и блок измерени  размеров 2j. Недостатками устройства  вл ютс  невысока  точность и узкие функйаональные возможности, так как калибровка устройства осуществл етс  по эталонам, количество которых сокращено из-аа неудобства использовани  их большого числа . Таким образом, дл  настройки испол зуютс  несколько эталонов, различающихс  только номинальными размерами, но с одинаковыми оптическими свойствами. Кроме того, нельз  измерить элементы на непрозрачных подложках из-за невозможности учета уровн  контраста, что дает также погрешности в р де случаев при измерении элементов на прозрачных подложках. Целью изобретени   вл етс  пош 1ш&ние точности измерений и расширение фушогаональнык возможностей. Поставленна  цель достигаетс  тем, что устройство дл  измерени  микроразмеров , ссщержащее осветитель, последовательно установленные по. ходу светового луча предметный столик, оптический микроскоп и телевизионную передающую камеру, компаратор, источник регулируемого опорного напр жени , соединенный с компаратором, блок генерации импул сов, телевизионный монитор, соединенный с последним, и блок измерени  размеров снабжено вибратором, соедин емым с предметным столике, последний устанав ливаетс  с возможностью перемещени  вдоль оптической оси оптическохч) микроскопа , а телевизионна  передающа  камера соединена с входом компаратора. На фиг. 1 представлена блок-схема устройства; на фиг. 2 - графики заы симости интенсивности освещенности от координаты Х« . Устройство состоит из осветител  1, последовательно установленных по ходу жетового луча предметного столика 2 с размещенным на нём фотошаблоном 3 с измер емым элементом 4, оптического микроскопа 5, телевизионной передающей камеры 6, источника 7 регулируемого опорного напр жени , компаратора 8, блока 9 генерации импульсов, телевизионного монитора 10, блока 11 измерени  размеров и вибратора 12. Устройство работает следуйщим образом . Видеосигнал с выхода телевизионной камеры 6 поступает на вход компаратора 8, на второй вход которого подаетс  опорное напр жение уровн  отсечки с источника 7. При этом диапазон изменени  опорного напр жени  - 0,О5-О,09 амплитуды видеосигнала. При достижении видеосигналом уровн  опорного напр жени , уровн  отсечки, компаратор 8 вклкучает бпок 9 генерации импульсов, вырабатывающий импульс, модулирующий  ркость на экране телевизионного монитора 1О. При включении вибратора 12 возникает периодическа  расфокусировка изображени  (фиг. 2, кривые 2 и 2а, рассто ние между точками ЬЬи Сс ). При периодической расфокусировке и неточно усташэвлеином уровне отсечки видеосигнал будет достигать по величине заданно х) уровн  отсечки при разных значени х У., завис щих от величины расфокусировки, т.е. видима  на экране телевизионного монитора 10 ширина измер емого элемента 4 будет мен тьс  в такт с колебани ми, задаваемыми вибратором 12, с частотойколебаний 10 Гц1ОО кГц. При изменении уровн  отсечки, при той же амплитуде колебани  элемента 4 будет мен тьс  амплитуда модул ции его кра  на экране телевизионного монитора 10. При этом мен етс  интенсивность во всех точках кривой Э (X) за исключением инвариантной точки, соответствующей ее значению на краю изображени  элемента 4 (фиг. 2, точки Q ,0). Если уровень отсечки соответствует инвартаетной точке видима  ширина элемента 4 на экране не зависит от расфокусировки и вместо двух синусоидальных кривых.

310104664

соогветствующв кра м элемевга 4, ва± О,О5 мнм при взмерейвн anisMeBTOB с

вкраве будут фикснрсжатьс  пр мые пввнв. размерамн 1 мкм в более Прв 1мшппгуае Преш гаемое устройство позвол ет. копебавв , ве превышающей гаубввы реэ-

свиэвть.погфешйость.вамеревв  по -коств обьёктвва.

Claims (1)

1. .( 54) УСТРОЙСТВО ДЛЯ ИЗМЕРЕНИЯ МИКРОРАЗМЕРОВ, содержащее осветитель, последовательно установлен-

   Фиг. f вые по ходу светового пуча предметный столик, оптический микроскоп и телевизионную передающую камеру, компаратор, источник регулируемого опорного напряжения, соединенный с компаратором, блок генерации импульсов, телевизионный монитор; соединенный с последним, и ' блок измерения размеров, отличаю* щ е е с я тем, что, с пелью повышения точности и расширения функциональных возможностей, оно снабжено вибратором, соединяемым с предметным столиком, последний устанавливается с возможностью перемещения вдоль оптичеокой оси оптического микроскопа, а телевизионная передающая камера с входом компаратора. .

   соединена Q