SU1010460A1 - Устройство дл измерени микроразмеров - Google Patents
Устройство дл измерени микроразмеров Download PDFInfo
- Publication number
- SU1010460A1 SU1010460A1 SU813357367A SU3357367A SU1010460A1 SU 1010460 A1 SU1010460 A1 SU 1010460A1 SU 813357367 A SU813357367 A SU 813357367A SU 3357367 A SU3357367 A SU 3357367A SU 1010460 A1 SU1010460 A1 SU 1010460A1
- Authority
- SU
- USSR - Soviet Union
- Prior art keywords
- comparator
- optical microscope
- measuring
- transmitting camera
- television
- Prior art date
Links
Landscapes
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
Abstract
УСТРОЙСТВО ДЛЯ ИЗМЕРЕНИЯ МИКРОРАЗМЕРОВ, содержащее осветитель, последовательно установле1ь е ff / / ныв по ходу светового пуча предметный столик, оптический микроскоп в тепеввзювную передающую камеру, компаратор, регулируемого опорного ва р жени , соединенный с компаратором, блок генераюш ш пульсов, телевиаш |{ный монитору соединенный .с последним, в блок измерени размеров, отличаю щ е е с тем, что, с повышо вв точности в расщиревв функтоваль возможностей, оно свабжево тором, соедин емым с 1федметвым столвком , последний устанавливаетс с воэмс кностью перемеп ни вдоль о11твчео кой оси оптического микроскопа, а T ieввзионна передающа камера соедввева :С входом компаратора. . (Л fff / . с О) vf. /
Description
Изобретение относитс к коитрольновэмерительной технике и может быть из пользовано в оптическом приборостроении в частности, дл измерени -элементов на фотошаблонах.. Известно устройство дл измерени размеров элементов на фотошаблонах, содержащее оптический микроскоп и оку-. л р-мккр(, соединенный с tpM.ClUНедостатке устройства вл етс невысока точность измерени за счет визуального контрол за настройкой на кра объекта. Наиболее близким к изобретению вл етс устройство дл измерени 11«икроразмеров , содержащее осветитель, последовательно установленные по ходу светового луча предметный столик, оптический микроскоп и телевизионную передающую камеру, компаратор, источник регулируемого опорного напр жени , соединенный с компаратором, блок генерации импульсов , телевизионный монитор, соединенный с последним, и блок измерени размеров 2j. Недостатками устройства вл ютс невысока точность и узкие функйаональные возможности, так как калибровка устройства осуществл етс по эталонам, количество которых сокращено из-аа неудобства использовани их большого числа . Таким образом, дл настройки испол зуютс несколько эталонов, различающихс только номинальными размерами, но с одинаковыми оптическими свойствами. Кроме того, нельз измерить элементы на непрозрачных подложках из-за невозможности учета уровн контраста, что дает также погрешности в р де случаев при измерении элементов на прозрачных подложках. Целью изобретени вл етс пош 1ш&ние точности измерений и расширение фушогаональнык возможностей. Поставленна цель достигаетс тем, что устройство дл измерени микроразмеров , ссщержащее осветитель, последовательно установленные по. ходу светового луча предметный столик, оптический микроскоп и телевизионную передающую камеру, компаратор, источник регулируемого опорного напр жени , соединенный с компаратором, блок генерации импул сов, телевизионный монитор, соединенный с последним, и блок измерени размеров снабжено вибратором, соедин емым с предметным столике, последний устанав ливаетс с возможностью перемещени вдоль оптической оси оптическохч) микроскопа , а телевизионна передающа камера соединена с входом компаратора. На фиг. 1 представлена блок-схема устройства; на фиг. 2 - графики заы симости интенсивности освещенности от координаты Х« . Устройство состоит из осветител 1, последовательно установленных по ходу жетового луча предметного столика 2 с размещенным на нём фотошаблоном 3 с измер емым элементом 4, оптического микроскопа 5, телевизионной передающей камеры 6, источника 7 регулируемого опорного напр жени , компаратора 8, блока 9 генерации импульсов, телевизионного монитора 10, блока 11 измерени размеров и вибратора 12. Устройство работает следуйщим образом . Видеосигнал с выхода телевизионной камеры 6 поступает на вход компаратора 8, на второй вход которого подаетс опорное напр жение уровн отсечки с источника 7. При этом диапазон изменени опорного напр жени - 0,О5-О,09 амплитуды видеосигнала. При достижении видеосигналом уровн опорного напр жени , уровн отсечки, компаратор 8 вклкучает бпок 9 генерации импульсов, вырабатывающий импульс, модулирующий ркость на экране телевизионного монитора 1О. При включении вибратора 12 возникает периодическа расфокусировка изображени (фиг. 2, кривые 2 и 2а, рассто ние между точками ЬЬи Сс ). При периодической расфокусировке и неточно усташэвлеином уровне отсечки видеосигнал будет достигать по величине заданно х) уровн отсечки при разных значени х У., завис щих от величины расфокусировки, т.е. видима на экране телевизионного монитора 10 ширина измер емого элемента 4 будет мен тьс в такт с колебани ми, задаваемыми вибратором 12, с частотойколебаний 10 Гц1ОО кГц. При изменении уровн отсечки, при той же амплитуде колебани элемента 4 будет мен тьс амплитуда модул ции его кра на экране телевизионного монитора 10. При этом мен етс интенсивность во всех точках кривой Э (X) за исключением инвариантной точки, соответствующей ее значению на краю изображени элемента 4 (фиг. 2, точки Q ,0). Если уровень отсечки соответствует инвартаетной точке видима ширина элемента 4 на экране не зависит от расфокусировки и вместо двух синусоидальных кривых.
310104664
соогветствующв кра м элемевга 4, ва± О,О5 мнм при взмерейвн anisMeBTOB с
вкраве будут фикснрсжатьс пр мые пввнв. размерамн 1 мкм в более Прв 1мшппгуае Преш гаемое устройство позвол ет. копебавв , ве превышающей гаубввы реэ-
свиэвть.погфешйость.вамеревв по -коств обьёктвва.
Claims (1)
- .( 54) УСТРОЙСТВО ДЛЯ ИЗМЕРЕНИЯ МИКРОРАЗМЕРОВ, содержащее осветитель, последовательно установлен-Фиг. f вые по ходу светового пуча предметный столик, оптический микроскоп и телевизионную передающую камеру, компаратор, источник регулируемого опорного напряжения, соединенный с компаратором, блок генерации импульсов, телевизионный монитор; соединенный с последним, и ' блок измерения размеров, отличаю* щ е е с я тем, что, с пелью повышения точности и расширения функциональных возможностей, оно снабжено вибратором, соединяемым с предметным столиком, последний устанавливается с возможностью перемещения вдоль оптичеокой оси оптического микроскопа, а телевизионная передающая камера с входом компаратора. .соединена Q
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
SU813357367A SU1010460A1 (ru) | 1981-11-23 | 1981-11-23 | Устройство дл измерени микроразмеров |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
SU813357367A SU1010460A1 (ru) | 1981-11-23 | 1981-11-23 | Устройство дл измерени микроразмеров |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
SU1010460A1 true SU1010460A1 (ru) | 1983-04-07 |
Family
ID=20983689
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
SU813357367A SU1010460A1 (ru) | 1981-11-23 | 1981-11-23 | Устройство дл измерени микроразмеров |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
SU (1) | SU1010460A1 (ru) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN102410813A (zh) * | 2011-12-12 | 2012-04-11 | 上海博泽电机有限公司 | 电机跳动检测装置及检测方法 |
-
1981
- 1981-11-23 SU SU813357367A patent/SU1010460A1/ru active
Non-Patent Citations (1)
Title |
---|
1. Жуковский Э.Е. и др. Анализ состо нет и пути развити методов, контрол фотошаблонов. - Эпектроннай техниг ка. Сер. 2. Полупроводниковые приборы, 1978, вып. 2 * |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN102410813A (zh) * | 2011-12-12 | 2012-04-11 | 上海博泽电机有限公司 | 电机跳动检测装置及检测方法 |
CN102410813B (zh) * | 2011-12-12 | 2014-03-19 | 上海博泽电机有限公司 | 电机跳动检测装置及检测方法 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
KR890005522A (ko) | 공간 필터식 속도측정 장치 | |
US3880526A (en) | Method and apparatus for measuring the turbidity of fluids | |
CN109632264A (zh) | 一种摄像装置环境试验稳定性的检测装置及方法 | |
US4641964A (en) | Apparatus for measuring optical characteristics of optical systems | |
SU1010460A1 (ru) | Устройство дл измерени микроразмеров | |
US3740152A (en) | Device for detecting the boundary between different brightness regions of an object | |
US3402298A (en) | Optical-electronic displacement transducer | |
JPH11132729A (ja) | 寸法測定装置 | |
JP2000266518A (ja) | ガラス管の測定方法 | |
JPS6336263Y2 (ru) | ||
JP2949979B2 (ja) | 透過率測定装置とその校正方法 | |
SU1012037A1 (ru) | Оптический виброметр | |
RU2016382C1 (ru) | Оптико-электронное измерительное устройство | |
SU1355869A1 (ru) | Устройство дл измерени толщины тонкой пленки на прозрачной подложке | |
SU656385A1 (ru) | Способ измерени угловых отклонений светового потока и устройство дл его осуществлени | |
SU1527560A1 (ru) | Способ контрол качества наружной резьбы и устройство дл его осуществлени | |
SU1128118A1 (ru) | Устройство дл измерени размеров элементов микроструктур | |
SU1040509A1 (ru) | Демонстрационный прибор по физике | |
RU1805287C (ru) | Способ измерени угловых перемещений объекта и устройство дл его осуществлени | |
SU1730538A1 (ru) | Устройство дл измерени смещени кромки непрозрачного объекта | |
SU1566316A1 (ru) | Устройство дл ослаблени оптического излучени и способ калибровки устройства дл ослаблени оптического излучени | |
SU684582A1 (ru) | Фотоэлектрический преобразователь угла поворота вала в код | |
SU1700356A1 (ru) | Устройство дл контрол и юстировки объективов | |
SU1456793A1 (ru) | Способ градуировки фотоэлектрических измерителей колебаний | |
SU1649528A1 (ru) | Световое перо |