SU1010032A1 - Способ обработки изделий из кварцевого стекла - Google Patents

Description

со

IND Изобретение относитс  к.обработк поверхности стекла, осаждением из жидкой фазы и может быть использова в полупроводниковой и стекольной промышленности. Известен способ обработки издели из кварцевого стекла путем нанесени покрыти  из мелкокристаллического, кристобалита fl. , Однако такое покрытие может рабо тать только при посто нной температуре , так как из-за различи  ТКЛР ;кристобалита и кварцевого стекла оно разрушаетс  при изменении темпе ратуры. Наиболее близким к предлагаемому по технической сущности и достигаемому результату  вл етс  способ обработки изделий из стекла путем нанесени  покрыти  фосфатов металло III-VII групп и термообработки . Указанный способ характеризуетс  недостаточно высокой термостойкостью (количество выдерживаемых теплосмен 5-6). Целью изобретени   вл етс  увеличение термостойкости. Поставленна  цель достигаетс  тем, что согласно способу обработки изделий из кварцевого стекла путем нанесени  покрыти  фосфата металла и термообработки, покрытие нанос т из смеси двуокиси циркони  и ортофосфорной кислоты в соотношении 1:j,5 - 1:3, а термообработку осуществл ют при 800-1100°С. Сущность изобретени  заключаетс  в том, .что на поверхность издели  из кварцевого стекла нанос т кристаллический слой, в качестве которого используют двуокись циркрни  и ортофос форную кислоту в соотношении 1:1,5 1:3 . Реактивы тщательно перемешивают, нанос т на трубку из кварцевого стек ла и подвергают термообработке при 800 - 1100 С 10 мин. В результате на поверхности трубки образуетс  кристаллический слой, состо -.. щий из безводных фосфатов циркони , преимущественно из пирофосфата циркони  (2rP2O-jK обладающего ТКЛР, ., близким к кварцевому стеклу (5-10 g Способ осуществл етс  следующим образом. Подготовка шликера. Просеивают двуокись циркони  марки Х4 через сито 10000 отв/см,засыпают в емкость с мешалкой или в химический стакан и небольшими порци ми при перемешивании добавл ют ортофосфорную кислоту до достижени  соотношени  пор дка 1:2 (соотношение мольное. используют 85% НзРОц. марки Х4. Перемешивание продолжают до получени  однородной массы. Подготовка поверхности изделий. Поверхность изделий из кварцевого стекла тщательно обезжиривают техническим спиртом. В случае высокой загр зненности поверхности изделие трав т 20 мин в 20%-ной плавиковой кислоте, промывают дистиллированной водой и протирают спиртом. Нанесение покрыти . Приготовленный шликер нанос т на изделие при помощи пульверизатора или кистью так, чтобы обеспечить равномерный слой толщиной 0,05-0,3 мм. Подготовленное таким образом изделие уста .навливают в печь и поднимают температуру до 800-1100 С. Скорость подъема температуры 400°С в час, выдержка при максимальной температуре 10 мин. По приведенной технологии нанос т покрыти  на плоские образцы из кварцевого стекла марки КВ045 мм и испытывают на термостойкость по ГОСТ 22293-76. При этом измен ют соотношени  компонентов и максимальной температуры обжига,.   определени  термической устойчивости издели  промывают в этиловом спирте (гост 6314-57), затем 15 мин нагревают в муфельной печи при и быстро погружают на 5 мин в воду с температурой 20°С. Образцы выдерживают 13-17 теплосмен без растрескивани  и отслаивани  покрыти .. В таблице приведена термостойкость изделий из кварцевого стекла с покрытием

16 17 17

14 14 14

13 13 14

15 15 16

3 1010032

Дл  удобства пользовани  в скоб-фата циркони  при этой температуре

ках приведены количества мл 85%уже сформирована и в интервале 800HjPO . На 10 ч 2гО2. Из приведенной1100°С измен етс  незначительно. Петаблицы видно, что обжиг уже прирегрев свьпие 1100°С нецелесооб- ,

800°С придает достаточную термостой-разен, так как структура йе

кость изделию. Рентгенофазовьлй и5 измен етс , а повышение темпедифференциально-термический анализыратуры приводит к перерасходу

показывают, что структура пирофос-энергии.

Claims (1)

1. ‘ СПОСОБ ОБРАБОТКИ ИЗДЕЛИЙ

   ИЗ КВАРЦЕВОГО СТЕКЛА путем нанесения покрытия j фосфата металла и .термообработки, отличающий — ,®с я тем, что, с целью увеличения термостойкости; пбкрытие наносят ‘из смеси двуокиси циркония и ортофос1 форной кислоты в соотношении 1:1,5 1:3, а термообработку осуществляют ' при 800-1100°С.