Изобретение относитс к инструментам дл шлифовани , в частности дл абразивной резки полупрюводниковых материалов. Известен абразивный круг с V-образной профилированной рабочей частью, центральна часть которого выполнена на металлической св зке, а прилегающие к ней боковые участки - на органической, что способствует уменьшению шероховатости обрабатываемых поверхностей 1. Однако при скорост х круга 100-150 м/с при резке кремневых пластин стойкость рассматриваемого круга незначительна, что определ етс износом боковых участков круга и ухудшением его режущих свойств. Использование дл боковых участков органического св зующего (обладающего дизлектрическими свойствами) исключает исполь зование при повторном профилировании (пра ке) после затуплени вершины электрозррознойного способа обработки. Цель изобретени - улучшение качества обрабатываемой поверхности при скоростном резании. Указанна цель достигаетс тем, что круг снабжен впадинами, чередующимис с целыми участками круга, при зтом в области целых участков осуществл етс 1Ш1ифование по жесткой схеме, а в области впадин , где круг имеет пониженную жесткость - по упругой схеме в режиме выхаживани На фиг. 1 схематично показан круг со впадинами в виде полостей, открьгтых со стороны торцов; на фиг. 2 - то же, бокова проекци ; на фиг. 3 - разрез А -А на фиг. 1; на фиг. 4 - разрез Б-Б на фиг. 1; на фиг. 5 - схема взаимодействи выступа круга с обрабатываемой поверхностью; на фиг. 6 - схема взаимодействи участка круга с; угловым профилем с обрабатываемой поверхностью; на фиг. 7 - круг со впадинами, выполненными в виде пазов, расположенных между противолежащими выступами (вид с торца); на фиг. 8 - то же, бокова проекци ; на фиг. 9 - разрез С-С на фиг. 7; на фиг. 10 - схема взаимодей31000 стви выступов круга с обрабатываемыми поверхност ми. Круг выполнен в виде монолитного бескорпусного алмазосодержащего диска на металлическом св зующем. Торцы 1 круга имеют скошенные поверхности 2, пересекающиес по периферии 3 (на вершине). На части окружности периферии 3 симметрично диаметру круга выполнены боковые участки 4 с пониженной жесткостью, образо- ю ванные впадинами 5, имеющими общие с участками 4 стенки 6, параллельные торцам 1 круга и удаленные от них не далее плоскости , параллельной торцам 1 и проход щей через вершину 3. В плоскости круга каждый участок 4 выполнен симметричным с переменной высотой Н в радиальном направлении . Режуща часть круга ньшолнена из чередующихс участков, один из которых длиной С в полный угловой профиль (боковые участки и центральна часть 7 выполнены за одно целое) и второй длиной L, содержит один или., два участка 4 (каждьш боковой участок выполнен без центральной части), каждый из которых совмещен по общей стен ке 6 со впадиной 5. Впадина 5 может быть выполнена открытой поочередно со стороны одного или другого торцов 1 круга. В этом случае в радиальном сеоенни режущей части образуетс односторонний участок 4 с пониженной жесткостью (фиг. 3). При вьтолнении впадины 5 в виде паза (образзтатс два противолежащих участка с пониженной жесткостью (фиг. 9). Число участков 4 на каждой стороне режущей частн (1-4) и соотношение длин -участков L и 6 в пределах от 0,125 до 2,0 выбираетс в зависимости от характерисТИК инструмеЛального материала (зернистости и концентрации алмазов, типа металлической св зки) и угла профил . Поверхность 8 впадины 5, обращенна к центру круга может быть выполнена проход щей по хорде или криволинейной, про ход щей через часть окружности, несоосной с центром круга. Оптимальна высота Н впадинь 5 превьпиает ее толщину t в 3-8 раз. rtpH соотношении И. 2 эффекта повьш1ени качества обработки не обнаружено, что, видимо, св зано с недостаточной осевой. поН датливостью выступа. При соотношении -т- 8 наблюдаютс поломки инструмента по выступу , что в свою очередь, св зано с малой радиальной жесткостью. Дл увеличени осевой податливости высту а нем могут быть сделаны 258 радиальные сквозные в осевом нап равлейии. i Круг работает слег ующим образом, Кругу сообщают вращательное движение, а 5 обрабатывающему изделию - подачу на круг. Инструмент рабочим профилем вышлифовывает на изделии угловую канавку, соответствующую профилю круга. При работе в контакт с обрабатываемой поверхностью поочередно вступают различные участки периферии круга. При резании полным участком длиной величина съема материала определ етс при заданных режимах (частота вращени инструмента, глуби резани ) значением подачи. Усили резани Pj, Р (фиг. 6),-действующие со стороны наклонных обрабатываемых поверхностей одновременно на оба боковых участка частично ( PXZ) противонаправлены и компенсируют друг друга, реализу сь в сжатии сло материала, расположенного в центральной части 7 профил , и в iPy.+ N,. радиальной составл ющей р выжимающей круг из образуемой канавки, том происходит интенсивное разрушение обрабатьгааемого материала, измельчение и транспортировка продуктов резани из зоны обработки, т.е. формообразование канавки. Часть круга U , радиальное поперечное сечение которого имеет участок 4, представл ет собой режущий упругий в осевом направлении выступ (выступы) с боковыми участками без центральной части. Высота этого выступа больше высоты рабочего профил h и определ етс глубиной Н участка 4, а толщина не превышает рассто ни от торда 1 до линии пересечени скошенных боковых участков 2. При резании зтим участ р ф или фиг. 10) действующее со стороны наклонных обрабатьшаемых поверхностей на выделенный впадиной 5 боковой участок 4, реализуетс дополнительно в упругой деформации (изгибе) у, плечом Н за счет действи осе составл ющих Р (фиг. 5 или фиг. 10) „р том величина изгибающего момента М Р,. Н В реззт1ьтате упругого смещени бокового режущего з частка 4 величина съема материала определ етс , кроме подачи, еще степенью этого смещени (изгиба). При этом вследствне меньших контактных давлений в зоне резани глубина внедрени алмазных зерен в обрабатьтаемую поверхность снижаетс . В итоге происходит шлифование с меньшими нарушени ми- структуры материала аналогично процессу шлифовани инструментом с алмазным порошком меньшей зернистости. Игра значительно меньшую роль в форми ровании канавки в обрабатываемом материале , такие упругие участки Ц активно участвуют в формировании микрорельефа поверхности. При этом острота пиков и впадин неровностей, типичных дл шлифовани жестким участком 8 , снижаетс и образуютс затупленные микровыступы с более плоскими вершинами и меньшей высоты. При зтом постепенное изменение усилии резани при переходе контакта с упругого участка Ц на жесткий в , св занное с плавно симметрично переменной глубиной Н участка 4 (высотой впадины 5), исключает по вление ударных нагрузок и вибраций. Чередующиес участки на круге обеспечи-. вают последовательно черновую обработку жестким участком, производ щим формирование поверхностей и чистовую обработку i (по типу выхаживани упругим участком поверхности, образованной ранее. В результате процесса резани предлагаемым инструментом сочетаютс преимущества упругой и жесткой схем шлифовани . Вследствие этого шероховатость обработанной 1 584 поверхности снижаетс в среднем в 1,4 раза по сравнению с шероховатостью обработки поверхности известным инструментом. Формула изобретени 1. Абразивный круг с V-образным профилем режушей части, отличающкйс тем, что, с целью улучшени качества обработки путем совмещени резани по Жесткой и упругой схемам резани , на режущей части выполнены впадины прот }| нностью от 0,125 до 2,0 длин дуг целых частей круга , ограниченные; в радиальном направлени поверхност ми, расположенными по дуге или хорде, удаленными от оси вращени настолько , чтобы максимальна глубина впадины превьш1ала высоту V-образного профил .