SE522366C2 - RANGE-FINDER - Google Patents

RANGE-FINDER

Info

Publication number
SE522366C2
SE522366C2 SE9900695A SE9900695A SE522366C2 SE 522366 C2 SE522366 C2 SE 522366C2 SE 9900695 A SE9900695 A SE 9900695A SE 9900695 A SE9900695 A SE 9900695A SE 522366 C2 SE522366 C2 SE 522366C2
Authority
SE
Sweden
Prior art keywords
light
detector
detectors
light source
polynomial
Prior art date
Application number
SE9900695A
Other languages
Swedish (sv)
Other versions
SE9900695D0 (en
SE9900695L (en
Inventor
Krister Karlstroem
Ulf Kaellberg
Goeran Mattson
Torbjoern Olsson
Original Assignee
Latronix Ab
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Latronix Ab filed Critical Latronix Ab
Priority to SE9900695A priority Critical patent/SE522366C2/en
Publication of SE9900695D0 publication Critical patent/SE9900695D0/en
Priority to AU33407/00A priority patent/AU3340700A/en
Priority to PCT/SE2000/000374 priority patent/WO2000050842A1/en
Publication of SE9900695L publication Critical patent/SE9900695L/en
Publication of SE522366C2 publication Critical patent/SE522366C2/en

Links

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01S—RADIO DIRECTION-FINDING; RADIO NAVIGATION; DETERMINING DISTANCE OR VELOCITY BY USE OF RADIO WAVES; LOCATING OR PRESENCE-DETECTING BY USE OF THE REFLECTION OR RERADIATION OF RADIO WAVES; ANALOGOUS ARRANGEMENTS USING OTHER WAVES
    • G01S17/00—Systems using the reflection or reradiation of electromagnetic waves other than radio waves, e.g. lidar systems
    • G01S17/87—Combinations of systems using electromagnetic waves other than radio waves
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B11/00—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
    • G01B11/02—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring length, width or thickness
    • G01B11/026—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring length, width or thickness by measuring distance between sensor and object
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B5/00—Measuring arrangements characterised by the use of mechanical techniques
    • G01B5/0011—Arrangements for eliminating or compensation of measuring errors due to temperature or weight
    • G01B5/0014—Arrangements for eliminating or compensation of measuring errors due to temperature or weight due to temperature
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01S—RADIO DIRECTION-FINDING; RADIO NAVIGATION; DETERMINING DISTANCE OR VELOCITY BY USE OF RADIO WAVES; LOCATING OR PRESENCE-DETECTING BY USE OF THE REFLECTION OR RERADIATION OF RADIO WAVES; ANALOGOUS ARRANGEMENTS USING OTHER WAVES
    • G01S17/00—Systems using the reflection or reradiation of electromagnetic waves other than radio waves, e.g. lidar systems
    • G01S17/02—Systems using the reflection of electromagnetic waves other than radio waves
    • G01S17/06—Systems determining position data of a target
    • G01S17/08—Systems determining position data of a target for measuring distance only
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01S—RADIO DIRECTION-FINDING; RADIO NAVIGATION; DETERMINING DISTANCE OR VELOCITY BY USE OF RADIO WAVES; LOCATING OR PRESENCE-DETECTING BY USE OF THE REFLECTION OR RERADIATION OF RADIO WAVES; ANALOGOUS ARRANGEMENTS USING OTHER WAVES
    • G01S17/00—Systems using the reflection or reradiation of electromagnetic waves other than radio waves, e.g. lidar systems
    • G01S17/02—Systems using the reflection of electromagnetic waves other than radio waves
    • G01S17/06—Systems determining position data of a target
    • G01S17/46—Indirect determination of position data
    • G01S17/48—Active triangulation systems, i.e. using the transmission and reflection of electromagnetic waves other than radio waves
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01S—RADIO DIRECTION-FINDING; RADIO NAVIGATION; DETERMINING DISTANCE OR VELOCITY BY USE OF RADIO WAVES; LOCATING OR PRESENCE-DETECTING BY USE OF THE REFLECTION OR RERADIATION OF RADIO WAVES; ANALOGOUS ARRANGEMENTS USING OTHER WAVES
    • G01S7/00—Details of systems according to groups G01S13/00, G01S15/00, G01S17/00
    • G01S7/48—Details of systems according to groups G01S13/00, G01S15/00, G01S17/00 of systems according to group G01S17/00
    • G01S7/481—Constructional features, e.g. arrangements of optical elements
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01S—RADIO DIRECTION-FINDING; RADIO NAVIGATION; DETERMINING DISTANCE OR VELOCITY BY USE OF RADIO WAVES; LOCATING OR PRESENCE-DETECTING BY USE OF THE REFLECTION OR RERADIATION OF RADIO WAVES; ANALOGOUS ARRANGEMENTS USING OTHER WAVES
    • G01S7/00—Details of systems according to groups G01S13/00, G01S15/00, G01S17/00
    • G01S7/48—Details of systems according to groups G01S13/00, G01S15/00, G01S17/00 of systems according to group G01S17/00
    • G01S7/497—Means for monitoring or calibrating

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Electromagnetism (AREA)
  • Computer Networks & Wireless Communication (AREA)
  • Radar, Positioning & Navigation (AREA)
  • Remote Sensing (AREA)
  • Measurement Of Optical Distance (AREA)
  • Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)

Abstract

In a triangulation distance measuring system several position sensing means are provided in order to sense a certain predetermined part of the total measuring range each. Hereby the resolution can be increased without increasing the cost due to more expensive detector elements in the form of for example PSD-elements or CCD-arrays and more expensive lens arrangements having high requirements on accuracy. Further more an almost arbitrary resolution can be obtained by means of providing more detector elements for a given measured range.

Description

. . - . .- 522 366 REDoGöRELsE FÖR UPPFINNINGEN Det är ett syfte med föreliggande uppfinning att lösa problemen som beskrivs ovan och särskilt att åstadkomma ett trianguleringsavståndsmätningssystem som är billigt att tillverka och som samtidigt har en hög upplösning. . . -. SUMMARY OF THE INVENTION It is an object of the present invention to solve the problems described above and in particular to provide a triangulation distance measuring system which is inexpensive to manufacture and at the same time has a high resolution.

Detta syfte och andra uppnås genom ett trianguleringsavståndsmätningssystem med flera lägesavkännande organ anordnade att avkänna en viss förutbestämd del av det totala mätområdet var. En central enhet sammanställer sedan mätsignalerna från de olika mätområdena till en total mätsignal för hela mätområdet.This object and others are achieved by a triangulation distance measuring system with several position sensing means arranged to sense a certain predetermined part of the total measuring range each. A central unit then compiles the measurement signals from the different measuring ranges into a total measuring signal for the entire measuring range.

Härigenom kan upplösningen ökas utan att kostnaden ökar pga dyrare detektor element i form av t ex PSD-element eller CCD- arrayer och dyrare linsarrangemang med höga krav på noggrannhet.In this way, the resolution can be increased without increasing the cost due to more expensive detector elements in the form of, for example, PSD elements or CCD arrays and more expensive lens arrangements with high demands on accuracy.

Dessutom kan en i princip godtycklig upplösning erhållas genom att fler detektorelement anordnas för ett givet mätområde.In addition, a basically arbitrary resolution can be obtained by arranging more detector elements for a given measuring range.

KORTFATTAD BESKRIVNING AV RITNINGARNA Uppfinningen kommer nu att beskrivas närmare med hänvisning till de bilagda ritningarna, på vilka: - Fig. 1 visar ett trianguleringsavståndsmätningssystem med flera detektorelement.BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS The invention will now be described in more detail with reference to the accompanying drawings, in which: Fig. 1 shows a triangulation distance measuring system with several detector elements.

- Fig. 2 visar principen hos ett endimensionellt PSD-element.Fig. 2 shows the principle of a one-dimensional PSD element.

- Fig. 3a och 3b visar signalformer vid detektor respektive i en modulerad laser.Figs. 3a and 3b show signal shapes at the detector and in a modulated laser, respectively.

BESKRIVNING AV FÖREDRAGNA UTFÖRINGSFORMER I Fig. 1 visas ett trianguleringsavståndsmätningssystem 101 med flera detektor element. Systemet består av en ljusutsändande anordning, 103 t ex laser, minst två ljusdetekternade element, och i detta exempel fyra stycken element 105, 107, 109 och 111, t ex i form av PSD-element och en styr- beräkningsenhet 113, t ex i form av en mikroprocessor med ett tillhörande minne.DESCRIPTION OF PREFERRED EMBODIMENTS Fig. 1 shows a triangulation distance measuring system 101 with several detector elements. The system consists of a light emitting device, 103 eg laser, at least two light detected elements, and in this example four elements 105, 107, 109 and 111, eg in the form of PSD elements and a control calculation unit 113, e.g. in the form of a microprocessor with an associated memory.

Detektorelementen 105, 107, 109 och 111 är anordnade att detektera ljus längs en given mätsträcka 115. Detektorelementen . . 4 . .- 522 366 3 är företrädesvis anordnade att detektera ljus på en given delsträcka av den totala mätsträckan. Detta kan åstadkommas genom att arrangera ett linssytem (ej visat) av konventionellt slag för varje detektor element så att ett första element 105 mäter en första delsträcka 117, ett andra element 107 mäter en andra delsträcka 119, ett tredje detektorelement 109 mäter en tredje delsträcka 121, etc.The detector elements 105, 107, 109 and 111 are arranged to detect light along a given measuring distance 115. The detector elements. . 4. 522 366 3 are preferably arranged to detect light at a given section of the total measuring section. This can be accomplished by arranging a lens system (not shown) of conventional kind for each detector element so that a first element 105 measures a first section 117, a second element 107 measures a second section 119, a third detector element 109 measures a third section 121 , etc.

I en föredragen utföringsform är öppningsvinklarna och brännvidden för de olika detektorelementen olika. Särskilt är öppningsvinklarna anordnade så att de olika delsträckorna som varje detektorelement mäter är väsentligen lika långa. Således kommer vid ett arrangemang såsom det som visas i Fig. 1, där detektorerna är anordnade i en rad vinkelrät mot den utsända strålen, vinkeln A att vara större än vinkeln B som i sin tur är större än vinkeln C som i sin tur är större än vinkeln D. Vidare kan det vara fördelaktigt att låta de olika delsträckorna något överlappa varandra så att man säkert undviker "blinda" fläckar i mätområdet.In a preferred embodiment, the aperture angles and focal length of the different detector elements are different. In particular, the aperture angles are arranged so that the different distances measured by each detector element are substantially equal in length. Thus, in an arrangement such as that shown in Fig. 1, where the detectors are arranged in a row perpendicular to the emitted beam, the angle A will be larger than the angle B which in turn is larger than the angle C which in turn is larger than the angle D. Furthermore, it may be advantageous to let the different sections slightly overlap each other so that "blind" spots in the measuring area are certainly avoided.

I Fig. 2 visas den principiella uppbyggnaden av ett endimensionellt PSD-element. Ett PSD-element är en kiselplatta 201 vilken avger en summaström (X1 + X2). Denna summaström är väsentligen proportionell mot den infallande ljusmängden och delströmmarna X1 och X2 bestäms av var på PSD-elementet en infallande ljusstråle träffar. Vidare finns en referenselektrod L anordnad på PSD-elementet.Fig. 2 shows the basic structure of a one-dimensional PSD element. A PSD element is a silicon wafer 201 which emits a sum current (X1 + X2). This sum current is substantially proportional to the amount of incident light and the partial currents X1 and X2 are determined by where on the PSD element an incident light beam hits. Furthermore, a reference electrode L is arranged on the PSD element.

Genom att använda formeln: (X2-X1)/(x1+x2) kan koordinaten på PSD-elementet härledas oberoende av ljusintensiteten.Using the formula: (X2-X1) / (x1 + x2), the coordinates of the PSD element can be deduced independently of the light intensity.

Ett kvarstående problem är dock att koordinaten som ges av PSD- elementet inte är oberoende av infallande ströljus. Därför moduleras i en fördragen utföringsform laserljuset såsom visas i Fig. 3b, dvs under en första halvperiod utsänds laserljus och - . n - -o 522 366 4 under andra halvperiod utsänds inget laserljus. Genom att sedan mäta svaret från PSD-elementet två gånger per helperiod kan bidraget från ströljus elimineras genom att bilda differensen: Xlpos - Xlneg Dvs först mäts laserljus+ströljus och sedan mäts enbart ströljus och därefter bildas differensen mellan de två mätvärdena.A remaining problem, however, is that the coordinates given by the PSD element are not independent of incident scattering lights. Therefore, in a preferred embodiment, the laser light is modulated as shown in Fig. 3b, i.e. during a first half period, laser light is emitted and -. n - -o 522 366 4 during the second half period no laser light is emitted. By then measuring the response from the PSD element twice per full period, the contribution from stray light can be eliminated by forming the difference: Xlpos - Xlneg Ie first laser light + stray light is measured and then only stray light is measured and then the difference between the two measured values is formed.

Härigenom erhålls enbart den nyttiga signalen filtrerad från ströljus som annars kommer att störa mätningen. För att förfarandet skall fungera krävs att mätningen av svaret från detektorelementet mäts synkront med de utsända modulerade laserpulserna. Detta åstadkoms genom styrning av styr- och beräkningsenheten 113.In this way, only the useful signal filtered from stray light is obtained, which will otherwise interfere with the measurement. For the method to work, the measurement of the response from the detector element must be measured synchronously with the emitted modulated laser pulses. This is accomplished by controlling the control and calculation unit 113.

Styrenheten 113 sammanställer informationen från de olika detektorerna och avger ett mätvärde som svarar mot dels vilken detektor som avkänner laser strålen och dels vilket mätvärde som denna detektor för närvarande avger. I de fall då flera detektorer samtidigt avkänner den reflekterande laserstrålen, dvs i de fall då de olika detektorernas delmätområden överlappar varandra, kan styrenheten 113 antingen välja en av de två detektorerna, t ex den som mäter det bortre området, eller så kan styrenheten vara anordnad att avge ett medelvärde för de två härledda mätvärdena.The control unit 113 compiles the information from the various detectors and outputs a measured value which corresponds partly to which detector senses the laser beam and partly to what measured value this detector currently emits. In cases where several detectors simultaneously detect the reflecting laser beam, ie in cases where the sub-measuring areas of the different detectors overlap, the control unit 113 can either select one of the two detectors, eg the one measuring the far area, or the control unit can be arranged to give an average value for the two derived measured values.

I ytterligare en föredragen utföringsform används kurvanpassning med ett polynom i styrenheten 113 för att kalibrera och linjärisera optiska och andra ofullkomligheter i mätsystemet.In a further preferred embodiment, curve fitting with a polynomial in the control unit 113 is used to calibrate and linearize optical and other imperfections in the measurement system.

Således kalibreras mätsystemet mot att antal mätvärden och ett polynom av lämplig storlek ansätts för att modellera data mellan kalibreringspunkterna. Kurvanpassning görs lämpligen med ett särskilt polynom för varje detektor genom kalibrering i ett lämpligt antal punkter. Kurvanpassningen kompenserar för geometriska, optiska och elektriska olinjäriteter samt för eventuella andra avvikelser. Exempelvis kan polynom av storlek 5 eller 6 användas för att åstadkomma en lämplig kurvanpassning. 522 366 " 5 Vidare kan den mekaniska struktur som används för att hålla systemets olika delar på plats utformas för att minska risken för mätfel orsakade av att geometrin i systemet ändras. Således anordnas i en föredragen utföringsform en yttre rörprofil, i vilken två genomgående bultar monteras, mellan två gavelstycken.Thus, the measurement system is calibrated against the use of a number of measured values and a polynomial of a suitable size to model data between the calibration points. Curve fitting is conveniently done with a separate polynomial for each detector by calibration at an appropriate number of points. The curve adjustment compensates for geometric, optical and electrical nonlinearities as well as for any other deviations. For example, polynomials of size 5 or 6 can be used to provide a suitable curve fit. Furthermore, the mechanical structure used to hold the various parts of the system in place can be designed to reduce the risk of measurement errors caused by changing the geometry of the system. Thus, in a preferred embodiment, an outer pipe profile is provided, in which two through bolts are mounted , between two end pieces.

En temperaturstabil platta, t ex invar, är monterad på bultarna.A temperature-stable plate, eg invar, is mounted on the bolts.

Plattan uppbär sedan för mätnoggrannheten väsentliga delar såsom ljuskälla och ljusdetektorer. Genom att använda en platta fäst i tre punkter och som fritt löper på två förspända axlar som är inspända mellan mätarnas gavlar, vilka hålls isär av mätarens hus, t ex utfört som ett runt eller kantigt rör åstadkoms att mätarens bas inte påverkas av variationer i temperatur, tryck eller mekaniska krafter. Således blir arrangemanget en temperaturstabil och robust enhet som uppfyller de högt ställda krav som idag är vanligt förekommande vid t ex industribruk.The plate then carries essential parts for measuring accuracy such as light source and light detectors. By using a plate attached to three points and which runs freely on two prestressed shafts which are clamped between the ends of the meters, which are held apart by the housing of the meter, for example made as a round or angular tube, it is achieved that the meter base is not affected by temperature variations , pressure or mechanical forces. Thus, the arrangement becomes a temperature-stable and robust unit that meets the high requirements that are common today in, for example, industrial use.

Genom att använda trianguleringsmätsystemet som beskrivs häri kan upplösningen ökas utan att kostnaden ökar pga dyrare detektorelement i form av t ex PSD-element eller CCD-arrayer och dyrare linsarrangemang med höga krav på noggrannhet. Dessutom kan en i princip godtycklig upplösning erhållas genom att fler detektorelement anordnas för ett givet mätområde. Systemet kan vidare enkelt göras okänsligt för temperaturväxlingar och ströljus.By using the triangulation measuring system described here, the resolution can be increased without increasing the cost due to more expensive detector elements in the form of eg PSD elements or CCD arrays and more expensive lens arrangements with high demands on accuracy. In addition, a basically arbitrary resolution can be obtained by arranging more detector elements for a given measuring range. Furthermore, the system can easily be rendered insensitive to temperature changes and stray lights.

Claims (1)

1. 0 15 20 25 30 35 522 366 Patentkrav Trianguleringsmätsystem innefattande en ljuskälla (103) som utsänder en ljusstràle, en första ljuskänslig detektor (105) anordnad att avkänna ljus som reflekteras av ett föremål som befinner sig inom ett avstånd som kan detekteras av den första detektorn (105) och som är en första delsträcka (117) inom en given mätsträcka (115), kånnetecknad av minst en andra ljuskänslig detektor (107, 109, 111) anordnad att avkänna reflekterat ljus från minst en andra delsträcka (119, 121, 123) inom den givna mätsträckan (115), nämnda delsträckor (117, 119, 121, 123) nágot överlappande varandra. .System enligt krav 1, kännetecknat av att ljuskällan är en modulerad laser anordnad att omväxlande avge perioder med laserljus och omväxlande perioder utan laserljus. .System enligt krav 1 eller 2, kännetecknat av en styr- eller beräkningsenhet (113) anordnad att sammanställa mätvärdena fràn de olika detektorerna till en enda utsignal svarande mot det för närvarande uppmätta avståndet. .System enligt krav 3, kännetecknat av att enheten (113) är anordnad att kalibreras med hjälp av ett polynom för varje detektor för att linjärisera detektorernas mätomràde. .System enligt krav 4, kännetecknat av att polynomet är ett polynom av grad 3 - 10, exempelvis 5 eller 6. .System enligt krav 3, 4 eller 5, dä dessa är underordnade krav 2, kännetecknat av att enheten( 113) är anordnad att använda differensen mellan detektorutsignalerna dà den modulerade lasern avger ljus och dä den inte avger ljus som insignal från detektorerna för att undvika inverkan frän ströljus. lO 522 366 7 I .System enligt något av kraven 1-6, kânnetecknat av att ljuskällan och detektorerna är monterade på en gemensam temperaturstabil platta. .System enligt krav 7, kännetecknat av att plattan är gjord av invar. .System enligt krav 7 eller 8, kännetecknat av att plattan är fäst i tre punkter och fritt löper pà tvà förspända axlar som är inspända mellan mätarnas gavlar, vilka hålls isär av mätarens hus, t ex utfört som ett runt eller kantigt rör.A triangulation measuring system comprising a light source (103) emitting a light beam, a first light sensitive detector (105) arranged to sense light reflected by an object which is within a distance detectable by the light source. the first detector (105) and which is a first section (117) within a given measuring distance (115), characterized by at least one second light-sensitive detector (107, 109, 111) arranged to detect reflected light from at least a second section (119, 121 , 123) within the given measuring distance (115), said sections (117, 119, 121, 123) slightly overlapping each other. System according to claim 1, characterized in that the light source is a modulated laser arranged to alternately emit periods with laser light and alternating periods without laser light. System according to claim 1 or 2, characterized by a control or calculation unit (113) arranged to compile the measured values from the different detectors into a single output signal corresponding to the distance currently measured. System according to claim 3, characterized in that the unit (113) is arranged to be calibrated by means of a polynomial for each detector in order to linearize the measuring range of the detectors. System according to claim 4, characterized in that the polynomial is a polynomial of grade 3 - 10, for example 5 or 6. System according to claim 3, 4 or 5, when these are subordinate to claim 2, characterized in that the unit (113) is arranged to use the difference between the detector outputs when the modulated laser emits light and when it does not emit light as an input signal from the detectors to avoid the influence of stray light. System according to one of Claims 1 to 6, characterized in that the light source and the detectors are mounted on a common temperature-stable plate. System according to claim 7, characterized in that the plate is made of invar. System according to claim 7 or 8, characterized in that the plate is attached at three points and runs freely on two prestressed shafts which are clamped between the ends of the meters, which are held apart by the housing of the meter, for example designed as a round or angular tube.
SE9900695A 1999-02-26 1999-02-26 RANGE-FINDER SE522366C2 (en)

Priority Applications (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SE9900695A SE522366C2 (en) 1999-02-26 1999-02-26 RANGE-FINDER
AU33407/00A AU3340700A (en) 1999-02-26 2000-02-25 An apparatus for measuring distance
PCT/SE2000/000374 WO2000050842A1 (en) 1999-02-26 2000-02-25 An apparatus for measuring distance

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SE9900695A SE522366C2 (en) 1999-02-26 1999-02-26 RANGE-FINDER

Publications (3)

Publication Number Publication Date
SE9900695D0 SE9900695D0 (en) 1999-02-26
SE9900695L SE9900695L (en) 2000-08-27
SE522366C2 true SE522366C2 (en) 2004-02-03

Family

ID=20414648

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
SE9900695A SE522366C2 (en) 1999-02-26 1999-02-26 RANGE-FINDER

Country Status (3)

Country Link
AU (1) AU3340700A (en)
SE (1) SE522366C2 (en)
WO (1) WO2000050842A1 (en)

Families Citing this family (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE102004042466A1 (en) 2004-09-02 2006-03-23 Robert Bosch Gmbh Apparatus and method for optical distance measurement
DE102017216155A1 (en) * 2017-09-13 2019-03-14 Micro-Epsilon Messtechnik Gmbh & Co. Kg Sensor for measuring a distance of an object by means of triangulation

Family Cites Families (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4349274A (en) * 1980-07-23 1982-09-14 General Electric Company Optical triangulation apparatus and method
GB2206690B (en) * 1987-06-30 1991-12-11 Matsushita Electric Works Ltd Optically scanning displacement sensor
CH683381A5 (en) * 1990-05-23 1994-02-28 Charles Rheme A method of measuring an angle of incidence of a light beam, measurement device for the implementation of the method and use of the device for measuring distances.
JP3288754B2 (en) * 1992-06-15 2002-06-04 旭光学工業株式会社 Distance measuring device
EP0942293B1 (en) * 1998-02-10 2002-05-29 Optosys SA System for measuring range or angle of incidence of a light beam

Also Published As

Publication number Publication date
WO2000050842A1 (en) 2000-08-31
SE9900695D0 (en) 1999-02-26
SE9900695L (en) 2000-08-27
AU3340700A (en) 2000-09-14

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US4698491A (en) Device for ascertaining alignment errors in shafts arranged in tandem
CN102661709B (en) Large-journey measuring method of moving platform displacement
JP3644687B2 (en) Photoelectric distance and angle measuring device for measuring the relative displacement of two objects
JPS6126601B2 (en)
JPH02129518A (en) Photoelectric position measuring apparatus
US5379651A (en) Point optical beam electronic rotometer
US7145131B2 (en) Absolute encoder
SE522366C2 (en) RANGE-FINDER
SE427584B (en) COMBINED SPEED AND DIMENSION SENSOR
CN105783738B (en) A kind of measurement method of increment type small-range displacement sensor
JPH08178613A (en) Photodetector for interferometer
JP2009271076A (en) Measuring device for determining position and/or speed
US6525311B1 (en) Scanning unit for optical position measuring device
EP3749926B1 (en) Sensor device for distance offset measurements
JPH05333152A (en) Inclination measuring device
ES2524321T3 (en) Optical encoder
US6446350B1 (en) Method and arrangement for reducing temperature-related dimensional discrepancies in measurement systems arranged in parallel
JP2002122419A (en) Flatness measuring device
CN221147640U (en) Laser striping machine detection device based on PSD position sensor
ES2704325T3 (en) System comprising a configurable optoelectronic device and two elements movable with respect to each other
JPH06241783A (en) Trigonometrical ranging photoelecrtric sensor
JPH06249649A (en) Triangulation type photoelectric sensor
JPS6321509A (en) Length measuring and angle measuring device
SU901816A1 (en) Device for measuring small distances
JP3273201B2 (en) Optical incremental encoder device

Legal Events

Date Code Title Description
NUG Patent has lapsed