SE522237C2 - Pattern formation method in e.g. hard disk manufacture, involves arranging substrate facing patterned surface of pressing portion, so that substrate and pressing portion are movable along common line - Google Patents
Pattern formation method in e.g. hard disk manufacture, involves arranging substrate facing patterned surface of pressing portion, so that substrate and pressing portion are movable along common lineInfo
- Publication number
- SE522237C2 SE522237C2 SE0201733A SE0201733A SE522237C2 SE 522237 C2 SE522237 C2 SE 522237C2 SE 0201733 A SE0201733 A SE 0201733A SE 0201733 A SE0201733 A SE 0201733A SE 522237 C2 SE522237 C2 SE 522237C2
- Authority
- SE
- Sweden
- Prior art keywords
- substrate
- hole
- pattern
- pressure
- center
- Prior art date
Links
- 239000000758 substrate Substances 0.000 title claims abstract description 144
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims abstract description 29
- 238000003825 pressing Methods 0.000 title claims abstract description 10
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 7
- 230000007261 regionalization Effects 0.000 title 1
- 238000007639 printing Methods 0.000 claims description 57
- 238000007789 sealing Methods 0.000 description 4
- 238000003860 storage Methods 0.000 description 3
- 230000006978 adaptation Effects 0.000 description 1
- 230000001419 dependent effect Effects 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 230000005484 gravity Effects 0.000 description 1
- 239000000696 magnetic material Substances 0.000 description 1
- 230000003068 static effect Effects 0.000 description 1
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B30—PRESSES
- B30B—PRESSES IN GENERAL
- B30B7/00—Presses characterised by a particular arrangement of the pressing members
- B30B7/02—Presses characterised by a particular arrangement of the pressing members having several platens arranged one above the other
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/84—Processes or apparatus specially adapted for manufacturing record carriers
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B7/00—Recording or reproducing by optical means, e.g. recording using a thermal beam of optical radiation by modifying optical properties or the physical structure, reproducing using an optical beam at lower power by sensing optical properties; Record carriers therefor
- G11B7/24—Record carriers characterised by shape, structure or physical properties, or by the selection of the material
- G11B7/26—Apparatus or processes specially adapted for the manufacture of record carriers
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Manufacturing Of Printed Wiring (AREA)
Abstract
Description
l5 20 25 30 35 522 237 2 Ett exempel på ett teknikområde där behovet av mönsterplacering är stort är tillverkningen av den nya generationens hårddiskar där ytan har försetts med en struktur för att erhålla hög lagringskapacitet. I tradi- tionella hårddiskar är hårddisken försedd med ett magne- tiskt skikt på båda sidorna. När man formaterar hård- disken definierar man simultant magnetiska områden på båda sidorna av hårddisken med hjälp av en läs- och skrivgaffel på vardera sidan. För att öka lagringskapa- citeten har man traditionellt minskat på storleken på de områden som magnetiseras. Det finns dock en gräns för hur långt man kan driva förminskningen av områdena innan påverkan på ett område från de intilliggande områdena blir så stor att lagringen av data i ett område förändrar data i ett intilliggande område. An example of a technology area where the need for pattern placement is great is the manufacture of the new generation of hard drives where the surface has been provided with a structure to obtain high storage capacity. In traditional hard drives, the hard drive is provided with a magnetic layer on both sides. When formatting the hard disk drive, you simultaneously define magnetic areas on both sides of the hard disk drive using a read and write fork on each side. To increase storage capacity, the size of the areas that are magnetized has traditionally been reduced. However, there is a limit to how far one can push the reduction of the areas before the impact on an area from the adjacent areas becomes so great that the storage of data in an area changes data in an adjacent area.
Ett sätt att komma till rätta med det här problemet är att på förhand definiera magnetiska områden i vart och ett av skikten, vilka områden är åtskilda av icke-magnet- iskt material.One way to solve this problem is to define in advance magnetic areas in each of the layers, which areas are separated by non-magnetic material.
I det här fallet är det emellertid nödvändigt att de magnetiska områdena på de båda sidorna är på samma rad- iella avstånd från rotationsaxeln för att läsgaffeln ska kunna läsa och skriva på de båda sidorna samtidigt. Det är inte av någon större betydelse att områdena inte ham- nar på samma positioner i tangentiell ledd.In this case, however, it is necessary that the magnetic areas on the two sides are at the same radial distance from the axis of rotation in order for the reading fork to be able to read and write on the two sides simultaneously. It is not of any major importance that the areas do not end up in the same positions in the tangential direction.
Det finns således ett behov av ett förfarande och en anordning för inriktning av ett substrat i förhållande till ett tryckorgan med en struktur.Thus, there is a need for a method and apparatus for aligning a substrate relative to a printing member having a structure.
Det finns även ett behov av ett förfarande och en anordning för att linjera två olika tryckorgan i förhåll- ande till varandra och i förhållande till ett substrat.There is also a need for a method and apparatus for aligning two different printing means relative to each other and relative to a substrate.
Sammanfattning av uppfinningen Ett ändamål med föreliggande uppfinning är att lösa åtminstone något av de problem som beskrivs ovan.SUMMARY OF THE INVENTION An object of the present invention is to solve at least some of the problems described above.
Ett annat ändamål med föreliggande uppfinning är att tillhandahålla ett förfarande och en anordning för att linjera ett tryckorgan i förhållande till ett substrat.Another object of the present invention is to provide a method and apparatus for aligning a printing member relative to a substrate.
-':*-=.^I___I.1*§ Lä: ('12 - E14' -lëfiï , din: ouv~ f-u- av... u .ov- 10 15 20 25 30 35 _ ...". . H H Ü . .. . . . . . . . _ . ." ,". "-: :. l: I Il IJ: g ' w z.. .. .I .'.: ::'°,,;;_- ;-; .... ... .... .. . . . .. . ... . Ü U . . . 3 Ett ytterligare ändamål med föreliggande uppfinning är att tillhandahålla ett förfarande och en anordning för att linjera två tryckorgan med varsin struktur i förhåll- ande till varandra och i förhållande till ett objekt. Åtminstone ett av dessa ändamål uppnås med ett för- farande, en anordning och en användning enligt de obero- ende patentkraven. Ytterligare särdrag hos uppfinningen framgår av de beroende patentkraven.- ': * - =. ^ I ___ I.1 * § Lä: ('12 - E14' -lë fi ï, din: ouv ~ fu- av ... u .ov- 10 15 20 25 30 35 _ ... ". .HH Ü. ........ _.. ",". "-::. L: I Il IJ: g 'w z .. .. .I.' .: :: '°, A further object of the present invention is to provide a method and a A device for aligning two printing means, each having a structure relative to each other and relative to an object, at least one of these objects being achieved by a method, a device and a use according to the independent claims. appears from the dependent claims.
En grundtanke med uppfinningen är att använda sig av ett mekaniskt inriktningsorgan för att inrikta tryck- organen och substratet, varvid inriktningen inte är känslig för en variation i de geometriska dimensionerna hos tryckorganet eller substratet.A basic idea of the invention is to use a mechanical alignment means for aligning the pressure means and the substrate, the alignment not being sensitive to a variation in the geometric dimensions of the pressure means or the substrate.
Ett förfarande enligt uppfinningen används för att utforma åtminstone ett första mönster på ett substrat, vilket substrat är belagt med ett skikt på åtminstone en första planyta. Förfarandet utmärkes av att det inne- fattar stegen att i följande ordning anordna ett första tryckorgan, vilket första tryckorgan har en första yta med en första struktur som definierar det första mön- stret, och substratet så att centrum för substratet och centrum för den första strukturen är anordnade på en gemensam centrumlinje, och så att den första ytan på det första tryckorganet är vänd mot och separerad från den första planytan på substratet och så att det första tryckorganet, det andra tryckorganet och substratet är förhindrade att röra sig tvärs den gemensamma centrum- linjen men kan röra sig fritt i en riktning längs cent- rumlinjen. Förfarandet innefattar vidare stegen att föra tryckorganet i kontakt med substratet med bibehållen gemensam centrumlinje, och att anbringa ett tryck på substratet och det första tryckorganet för att utforma nämnda åtminstone ett mönster i skiktet.A method according to the invention is used to form at least a first pattern on a substrate, which substrate is coated with a layer on at least a first flat surface. The method is characterized in that it comprises the steps of arranging in the following order a first printing means, which first printing means has a first surface with a first structure defining the first pattern, and the substrate so that the center of the substrate and the center of the first structure are arranged on a common center line, and so that the first surface of the first pressure member faces and separates from the first planar surface of the substrate and so that the first pressure member, the second pressure member and the substrate are prevented from moving across the common center member. line but can move freely in one direction along the center line. The method further comprises the steps of bringing the printing means into contact with the substrate while maintaining a common center line, and applying a pressure to the substrate and the first printing means to form the at least one pattern in the layer.
Genom att använda ett organ med de ovannämnda egen- öskaperna erhåller man automatiskt en centrering av tryckorganet och substratet. Det är relativt enkelt att åstadkomma en sådan inriktning.By using a member with the above-mentioned properties, a centering of the pressure member and the substrate is automatically obtained. It is relatively easy to achieve such a focus.
F h W ä *~@ä2@2uvW1_ så afifizruz-na-ss 141s.aa@ 2UÜ2"Üâ Ü? l0 15 20 25 30 35 5 2 2 2 5 7 åïï; - - 4 Ett förfarande enligt uppfinningen kan givetvis anpassas även till att utforma ett första mönster och ett andra mönster på vardera sidan av ett substrat. Om så är fallet är det möjligt att man endast har som syfte att centrera det första mönstret i förhållande till det andra mönstret. Om så är fallet behöver inte substratet anord- nas så att det är förhindrat att röra sig tvärs den gemensamma centrumlinjen.F h W ä * ~ @ ä2 @ 2uvW1_ så a fifi zruz-na-ss 141s.aa @ 2UÜ2 "Üâ Ü? L0 15 20 25 30 35 5 2 2 2 5 7 åïï; - - 4 A method according to the invention can of course also be adapted. to design a first pattern and a second pattern on each side of a substrate, in which case it is possible that the sole purpose is to center the first pattern in relation to the second pattern, in which case the substrate does not need to be arranged. so that it is prevented from moving across the common center line.
Ett förfarande för att utforma ett första mönster och ett andra mönster på ett substrat, vilket substrat har åtminstone en första och en andra planyta vilka är belagda med ett första respektive ett andra skikt, utmàrkes av att det innefattar steget att i följande ordning anordna ett första tryckorgan, vilket första tryckorgan har en första yta med en första struktur som definierar det första mönstret, substratet och ett andra tryckorgan, vilket har en andra yta med en andra struktur som definierar det andra mönstret, så att centrum för den första och andra strukturen är anordnade på en gemensam centrumlinje. Tryckorganen och substratet anordnas så att den första ytan på det första tryckorganet är vänd mot och separerad från den första planytan på substratet, så att den andra ytan på det andra tryckorganet är vänd mot och separerad från den andra planytan på substratet, och så att det första tryckorganet och det andra tryckorganet är förhindrade att röra sig i förhållande till varandra vinkelrätt mot den gemensamma centrumlinjen men kan röra sig i en riktning längs centrumlinjen. Därefter anordnas tryckorganen i kontakt med substratet med bibehållen gemensam centrumlinje, och ett tryck anbringas på det första och det andra tryckorganet för att utforma mön- stren i skikten.A method of forming a first pattern and a second pattern on a substrate, which substrate has at least a first and a second planar surface which are coated with a first and a second layer, respectively, is characterized in that it comprises the step of arranging a first in the following order printing means, said first printing means having a first surface having a first structure defining the first pattern, the substrate and a second printing means having a second surface having a second structure defining the second pattern, so that the center of the first and second structures is arranged on a common center line. The printing means and the substrate are arranged so that the first surface of the first printing means faces and separates from the first planar surface of the substrate, so that the second surface of the second printing means faces and separates from the second planar surface of the substrate, and so that it the first pressure means and the second pressure means are prevented from moving relative to each other perpendicular to the common center line but can move in a direction along the center line. Thereafter, the printing means are arranged in contact with the substrate while maintaining a common center line, and a pressure is applied to the first and second printing means to form the patterns in the layers.
I fallet att man vill centrera mönstren även i för- _hållande till substratet anordnas även substratet med sitt centrum på den gemensamma centrumlinjen.In the case that one wants to center the patterns also in relation to the substrate, the substrate is also arranged with its center on the common center line.
Det är möjligt att åstadkomma inriktingen med ett don som verkar på tryckorganens och substratets perife- u íï-ï» (P3 i>11&l,fí<;-<: u.--a . ;»;»| 10 15 20 25 30 35 522 237 n o q - | n 5 rier. Det är emellertid först med ett förfarande vid vilket man centrerar tryckorganen och substratet med hjälp av genomgående hål i tryckorganen och substratet som man utnyttjar hela vidden av uppfinningen och er- håller ett betydligt förenklat förfarande.It is possible to achieve the alignment with a device which acts on the periphery of the pressure means and the substrate (P3 i> 11 & l, fí <; - <: u .-- a.; »;» | 10 15 20 25 30 However, it is only with a method in which the pressure means and the substrate are centered by means of through holes in the pressure means and the substrate that the full scope of the invention is utilized and a considerably simplified method is obtained.
I fallet att man centrerar substratet och tryck- organen med hjälp av genomgående hål har man ett genom- gående centrumhál i substratet, vilket centrumhål har en centrumaxel som går genom substratets tyngdpunkt och sam- manfaller med en normalriktning för nämnda planytor. Det första tryckorganet har ett första genomgående hàl, vilket första hål har en centrumaxel som sammanfaller med en normalriktning för nämnda första yta på nämnda första tryckorgan. I fallet att man har ett andra tryckorgan har det ett andra genomgående hål, vilket andra hål har en centrumaxel som sammanfaller med en normalriktning för nämnda andra yta på nämnda andra tryckorgan. Steget att anordna centrum för nämnda substrat och centrum för nämnda första och eventuella andra struktur på en gemen- sam centrumlinje innefattar att anordna nämnda substrat och nämnda första och eventuella andra tryckorgan pà en dorn, vilken dorn är anordnad att skjuta igenom nämnda centrumhål, första hàl och eventuella andra hål. En dorn som är anordnad att skjuta igenom nämnda centrumhàl pà det beskrivna sättet är betydligt enklare att tillverka än ett organ som är anordnat att ingripa med substratets och tryckorganens periferier.In the case where the substrate and the pressure means are centered by means of through holes, there is a through center hole in the substrate, which center hole has a center axis which passes through the center of gravity of the substrate and coincides with a normal direction for said plane surfaces. The first pressure means has a first through hole, which first hole has a center axis which coincides with a normal direction of said first surface of said first pressure means. In the case of having a second pressure means, it has a second through hole, which second hole has a center axis which coincides with a normal direction of said second surface of said second pressure means. The step of arranging the center of said substrate and the center of said first and optionally second structure on a common centerline comprises arranging said substrate and said first and optionally second pressure means on a mandrel, which mandrel is arranged to project through said center hole, first hole and any other holes. A mandrel which is arranged to project through said center hole in the manner described is considerably easier to manufacture than a means which is arranged to engage with the peripheries of the substrate and the pressure means.
Enligt en utföringsform är nämnda centrumhål, det första hålet och det andra hålet likformiga och före- trädesvis är de cirkulära. Dornen blir relativt enkel att tillverka om den är avsedd för likformiga hål och i syn- nerhet om den är avsedd för cirkulära hål.According to one embodiment, said center holes, the first hole and the second hole are uniform and preferably they are circular. The mandrel becomes relatively easy to manufacture if it is intended for uniform holes and especially if it is intended for circular holes.
Enligt en utföringsform har nämnda dorn ett koniskt parti och speciellt då ett koniskt parti med ett cir- kulärt tvärsnitt. Detta är en form som är enkel och därmed billig att framställa. 10 15 20 25 30 35 522 257 6 Enligt en utföringsform är den största tvärsnitts- arean på nämnda koniska parti större än nämnda första hål som är större än nämnda centrumhål som är större än nämn- da eventuella andra hål. Således utgörs dornens verksamma del av enbart ett koniskt parti. Alternativt är det givetvis möjligt att använda en dorn som har flera koniska partier.According to an embodiment, said mandrel has a conical portion and especially then a conical portion with a circular cross-section. This is a mold that is simple and thus inexpensive to manufacture. 10 15 20 25 30 35 522 257 6 According to one embodiment, the largest cross-sectional area of said conical portion is larger than said first hole which is larger than said center hole which is larger than said possible second hole. Thus the active part of the mandrel consists of only a conical portion. Alternatively, it is of course possible to use a mandrel which has several conical portions.
Ett förfarande enligt ovan kan användas på ett flertal olika sätt. Exempelvis kan det användas för att tillverka tvàsidiga roterbara minnesmedier eller för att tillverka hårddiskar.A method as above can be used in a number of different ways. For example, it can be used to make double-sided rotatable memory media or to make hard disks.
Enligt en utföringsform av uppfinningen tillhanda- hålls ett förfarande för att utforma ett första mönster och ett andra mönster på ett substrat, vilket substrat har åtminstone en första och en andra planyta vilka är belagda med ett första respektive ett andra skikt. För- farandet utmärkes av att det innefattar stegen att i följande ordning anordna ett första tryckorgan, vilket första tryckorgan har en första yta med en första struktur som definierar det första mönstret och som har ett första cirkulärt genomgående hål vars centrumlinje är vinkelrät mot den första ytan och som är centrerad i förhållande till mönstret, substratet och ett andra tryckorgan, vilket har en andra yta med en andra struktur som definierar det andra mönstret och som har ett andra cirkulärt genomgående hål vars centrumlinje är vinkelrät mot den första ytan och som är centrerad i förhållande till mönstret, på en konisk dorn med cirkulärt tvärsnitt.According to an embodiment of the invention, there is provided a method of forming a first pattern and a second pattern on a substrate, which substrate has at least a first and a second planar surface which are coated with a first and a second layer, respectively. The method is characterized in that it comprises the steps of arranging in the following order a first printing means, which first printing means has a first surface with a first structure defining the first pattern and which has a first circular through hole whose center line is perpendicular to the first surface and which is centered relative to the pattern, the substrate and a second printing means, which has a second surface having a second structure defining the second pattern and which has a second circular through hole whose center line is perpendicular to the first surface and which is centered in relation to the pattern, on a conical mandrel with a circular cross-section.
Dornens största diameter är större än det största hålet.The largest diameter of the mandrel is larger than the largest hole.
Tryckorganen och substratet anordnas med den första ytan på det första tryckorganet vänd mot och separerad från den första planytan på substratet, och med den andra ytan på det andra tryckorganet vänd mot och separerad från den andra planytan på substratet.The printing means and the substrate are arranged with the first surface of the first printing means facing and separated from the first planar surface of the substrate, and with the second surface of the second printing means facing and separated from the second planar surface of the substrate.
Därefter anordnas tryckorganen i kontakt med sub- stratet med bibehållen gemensam centrumlinje, och an- a :fo Jfl-».!..f:,=l(,\, 10 15 20 25 30 35 bringas ett tryck på det första och det andra tryck- organet för att utforma mönstren i skikten.Thereafter, the pressure means are arranged in contact with the substrate while maintaining a common center line, and an a: fo J fl - ».! .. f:, = 1 (, \, 10 15 20 25 30 35 is applied to the first and the the second printing means for designing the patterns in the layers.
Enligt en utföringsform av uppfinningen tillhanda- hålls en användning av en konisk dorn med ett cirkulärt tvärsnitt för att inrikta åtminstone ett första tryck- organ, med ett första mönster, i förhållande till ett substrat vid överföring av mönstret till substratet genom pressning, varvid tryckorganet har ett första cirkulärt genomgående hål som är centrerat i förhållande till mönstret och varvid substratet har ett andra genomgående cirkulärt hål.According to an embodiment of the invention, there is provided a use of a conical mandrel with a circular cross-section for aligning at least a first printing means, with a first pattern, relative to a substrate in transferring the pattern to the substrate by pressing, the printing means having a first circular through hole centered relative to the pattern and the substrate having a second through hole.
Enligt en ytterligare aspekt av föreliggande uppfin- ning tillhandahålls en anordning för att utforma åt- minstone ett första mönster från ett första tryckorgan med en första struktur till ett skivformigt substrat, vilket substrat är belagt med ett skikt på åtminstone en första planyta. Anordningen innefattar ett första hållar- organ och ett andra hållarorgan för mottagande av varsitt av substratet och det första tryckorganet, varvid anord- ningen är anordnad att anbringa ett tryck mellan det första och det andra hållarorganet. Anordningen inne- fattar vidare ett centreringsorgan, vilket är flyttbart i förhållande till det andra hàllarorganet och vilket är så anordnat att centrum för substratet och centrum för den första strukturen är anordnade på en gemensam centrum- linje, att den första planytan på substratet är separerad i förhållande till strukturen och så att det första tryckorganet och substratet är separerade från både den andra hållaren och är förhindrade att röra sig vinkelrätt mot den gemensamma centrumlinjen men kan röra sig fritt i en riktning längs centrumlinjen, då substratet och tryck- organet anordnas på centreringsorganet, då det är i ett första arbetsläge, med strukturen vänd mot den första planytan. Anordningen är även så anordnad att den första planytan på substratet är i kontakt med strukturen och anordnade på en gemensam centrumlinje, och endera av substratet och tryckorganet är i kontakt med den andra coon-n n - q anv-wo 10 15 20 25 30 35 522 237 sø-en p 8 hållaren då centreringsanordningen år i ett andra arbets- läge. Anordningen år vidare anordnad att föra det första hàllarorganet i kontakt med substrat/tryckorganparet innan ett tryck anordnas mellan det första och det andra tryckorganet.According to a further aspect of the present invention, there is provided an apparatus for forming at least a first pattern from a first printing member having a first structure into a sheet-shaped substrate, which substrate is coated with a layer on at least a first planar surface. The device comprises a first holding means and a second holding means for receiving each of the substrate and the first pressure means, the device being arranged to apply a pressure between the first and the second holding means. The device further comprises a centering member, which is movable relative to the second holding member and which is arranged so that the center of the substrate and the center of the first structure are arranged on a common center line, that the first planar surface of the substrate is separated in relative to the structure and so that the first pressure means and the substrate are separated from both the second holder and are prevented from moving perpendicular to the common center line but can move freely in a direction along the center line, when the substrate and the pressure means are arranged on the centering means, when it is in a first working position, with the structure facing the first plane surface. The device is also arranged so that the first planar surface of the substrate is in contact with the structure and arranged on a common center line, and either of the substrate and the pressure means is in contact with the second coon-n n - q anv-wo 10 15 20 25 30 35 522 237 sows the p 8 holder when the centering device is in a second working position. The device is further arranged to bring the first holding means into contact with the substrate / pressure means pair before a pressure is arranged between the first and the second pressure means.
Med en sådan anordning är det relativt enkelt att överföra mönster till substratet. Enligt en ytterligare aspekt av uppfinningen tillhandahålls en anordning för att utforma åtminstone ett första mönster från ett första tryckorgan med en första struktur till ett skivformigt substrat, vilket substrat är belagt med ett skikt på åtminstone en första planyta. Anordningen innefattar ett första hàllarorgan och ett andra hàllarorgan för mot- tagande av varsitt av substratet och det första tryck- organet, varvid anordningen är anordnad för anbringande av ett tryck mellan det första och det andra hàllar- organet. Anordningen utmärkes av att den vidare inne- fattar ett centreringsorgan i form av en kon, vilken är flyttbar i förhållande till det andra hàllarorganet och vilken är så anordnad att den första planytan på substra- tet är separerad i förhållande till strukturen och så att det första tryckorganet och substratet är separerade från hållarorganen, då substratet och tryckorganet anordnas på centreringsorganet när det är i ett första arbetsläge, att den första planytan på substratet är i kontakt med strukturen och anordnade på en gemensam centrumlinje, och endera av substratet och tryckorganet är i kontakt med den andra hållaren då centreringsanordningen är i ett andra arbetsläge, varvid anordningen är anordnad att föra det första hàllarorganet i kontakt med substrat/tryck- organparet innan ett tryck anordnas mellan det första och det andra tryckorganet. Med en anordning med en centreringsanordning i form av en sådan kon erhåller man enkelt en centrering av substratet och tryckorganet. En kon kan enkelt framställas exempelvis genom svarvning.With such a device it is relatively easy to transfer patterns to the substrate. According to a further aspect of the invention, there is provided an apparatus for forming at least a first pattern from a first printing means having a first structure into a sheet-shaped substrate, which substrate is coated with a layer on at least a first planar surface. The device comprises a first holding means and a second holding means for receiving each of the substrate and the first pressure means, the device being arranged for applying a pressure between the first and the second holding means. The device is characterized in that it further comprises a centering member in the form of a cone, which is movable relative to the second holding member and which is arranged so that the first flat surface of the substrate is separated relative to the structure and so that the first the printing means and the substrate are separated from the holding means, when the substrate and the printing means are arranged on the centering means when it is in a first working position, that the first planar surface of the substrate is in contact with the structure and arranged on a common center line, and either of the substrate and the printing means are in contact with the second holder when the centering device is in a second working position, the device being arranged to bring the first holding means into contact with the substrate / pressure means pair before a pressure is arranged between the first and the second pressure means. With a device with a centering device in the form of such a cone, a centering of the substrate and the pressure member is easily obtained. A cone can easily be produced, for example, by turning.
Det är givetvis möjligt att anordna ett tryckorgan på :none- w nunnan 10 15 20 25 30 35 5 2 2 2 3 7 jII= - 21% - 9 vardera sidan av substratet om man vill åstadkomma ett mönster pà vardera sidan av substratet.It is of course possible to arrange a printing means on: none- w nun 10 15 20 25 30 35 5 2 2 2 3 7 jII = - 21% - 9 each side of the substrate if one wants to create a pattern on each side of the substrate.
De särdrag som beskrivits i samband med förfarandet kan implementeras även i anordningen efter lämpliga an- passningar.The features described in connection with the method can also be implemented in the device after appropriate adaptations.
Givetvis kan ovanstående särdrag kombineras i samma utföringsform.Of course, the above features can be combined in the same embodiment.
I det följande kommer utföringsformer av uppfinn- ingen att beskrivas utgäende frán de vidhängande rit- ningarna.In the following, embodiments of the invention will be described starting from the accompanying drawings.
Kort beskrivning av ritningarna Fig 1 åskådliggör ett förfarande enligt en föredrag- en utföringsform av uppfinningen.Brief Description of the Drawings Fig. 1 illustrates a method according to a preferred embodiment of the invention.
Fig 2 visar ett tryckorgan enligt en föredragen ut- föringsform av uppfinningen.Fig. 2 shows a pressure member according to a preferred embodiment of the invention.
Fig 3 visar en anordning enligt en alternativ utför- ingsform av uppfinningen.Fig. 3 shows a device according to an alternative embodiment of the invention.
Fig 4 visar ett tryckorgan enligt en utföringsform av uppfinningen.Fig. 4 shows a pressure member according to an embodiment of the invention.
Fig 5 visar ett centreringsorgan enligt en alterna- tiv utföringsform av uppfinningen.Fig. 5 shows a centering member according to an alternative embodiment of the invention.
Beskrivning av föredragna utföringsformer av uppfinningen I fig 1 àskàdliggörs ett förfarande enligt en före- dragen utföringsform av uppfinningen. I fig 1 visas ett första hàllarorgan 1 och ett andra hàllarorgan 2 mellan vilka ett tryck kan pàläggas för att pressa samman ett och ett substrat 6, vilket på en första planyta 8 är försett med tryckorgan 4, som är försett med en struktur 7, ett skikt 5. Mellan tryckorganet och det första hàllar- organet finns det anordnat en första tätningsring 3 och en andra tätningsring 13 för bildande av en kammare 10 vilken kan användas för att skapa ett tryck medelst vilket tryckorganet pressas ned i skiktet. Kammaren 10 bildas då den första hàllaren förts i kontakt med tätningsringarna. Trycket alstras genom att man för in gas av högt tryck genom röret 9. I centrum av det andra hàllarorganet 1 sticker det upp ett centreringsorgan 14 u .ana-n -sv 10 15 20 25 30 35 522 237 -»uno- - 10 som i sin övre del har ett koniskt parti med cirkulärt tvärsnitt. I tryckorganet är det anordnat ett första cirkulärt genomgående hål 12 vilket överensstämmer i diameter med den övre delen av centreringsorganet 14. I substratet 6 med dess tillhörande skikt 5 finns ett motsvarande genomgående andra hål 15 vilket är större än det första cirkulära genomgående hålet 12. Därigenom kommer substratet och tryckorganet att hållas av det koniska centreringsorganet 14. Diametrarna på det första cirkulära genomgående hålet 12 och det andra cirkulära genomgående hålet 15 samt koniciteten och diametern pä centreringsorganet 14 år anpassade till varandra så att substratet och tryckorganet 4 hålls i sådana lägen att det finns ett mellanrum mellan strukturen 7 på tryckorg- anet 4 och skiktet 5 på substratet 6. Centreringsorganet 14 är med fördel gjort i ett stycke i en svarv, varvid centreringsorganet 14 kan ges god centrering av om- slutningsytorna.Description of Preferred Embodiments of the Invention Fig. 1 illustrates a method according to a preferred embodiment of the invention. Fig. 1 shows a first holding means 1 and a second holding means 2 between which a pressure can be applied to compress one and a substrate 6, which on a first flat surface 8 is provided with pressure means 4, which is provided with a structure 7, a layer 5. Between the pressure means and the first holding means there is arranged a first sealing ring 3 and a second sealing ring 13 for forming a chamber 10 which can be used to create a pressure by means of which the pressure means is pressed down into the layer. The chamber 10 is formed when the first holder is brought into contact with the sealing rings. The pressure is generated by introducing high-pressure gas through the pipe 9. In the center of the second holding member 1, a centering member 14 protrudes 14. in its upper part has a conical portion with a circular cross-section. Arranged in the pressure means is a first circular through hole 12 which corresponds in diameter to the upper part of the centering means 14. In the substrate 6 with its associated layer 5 there is a corresponding through second hole 15 which is larger than the first circular through hole 12. Thereby the substrate and the pressure means 14 will be held by the conical centering means 14. The diameters of the first circular through hole 12 and the second circular through hole 15 and the conicity and diameter of the centering means 14 will be adapted to each other so that the substrate and the pressure means 4 are held in such positions that there is a space between the structure 7 on the pressure member 4 and the layer 5 on the substrate 6. The centering means 14 is advantageously made in one piece in a lathe, whereby the centering means 14 can be given good centering of the enclosing surfaces.
Vid användning av centreringsorganet 14 anordnar man därmed substratet 6 och tryckorganet 4 på centreringsorg- anet 14, i nu nämnd ordning, med strukturen på tryckorg- anet vänt mot skiktet 5 på substratet 6. Därefter höjs det första hållarorganet 1 upp mot det andra hållar- organet 2 så att det första hållarorganet 1 först kommer i kontakt med substratet 6, att skiktet 5 därefter kommer i kontakt med strukturen på tryckorganet 4 och att tryck- organet 4 slutligen kommer i kontakt med tätningsringarna 3 och 13. Den första hållaren 1 rör sig i axiell rikt- ning. Därigenom bibehålls inriktningen mellan tryckorga- net 4 och substratet 6.When using the centering means 14, the substrate 6 and the pressure means 4 are thus arranged on the centering means 14, in the order now mentioned, with the structure of the pressure means facing the layer 5 on the substrate 6. Thereafter the first holding means 1 is raised towards the second holding means. the means 2 so that the first holding means 1 first comes into contact with the substrate 6, that the layer 5 then comes into contact with the structure of the pressure means 4 and that the pressure means 4 finally comes into contact with the sealing rings 3 and 13. The first holder 1 moves in the axial direction. Thereby, the alignment between the pressure member 4 and the substrate 6 is maintained.
Efter att de har förts samman anbringas ett tryck på tryckorganet 4 genom att kammaren 10 fylls med gas genom röret 9. Därigenom överförs mönstret som definieras av strukturen 7 till skiktet 5. Det första genomgående hålet 12 i stämpeln år centrerat i förhållande till det andra genomgående hålet 15 i substratet. Därigenom blir mönst- 'Å '-:fnigšïZLÜZíFV-*l .íštä 'ZÜÅÄåíEíÉÉ ílfé St? l-ïllâaflfici; go-.»n I -nnvuo 10 15 20 25 30 35 .noen- n 1 1. 522 237 ll ret, som framställs i skiktet 5, centrerat i förhållande till det andra genomgående hålet 15 i substratet.After they have been brought together, a pressure is applied to the pressure member 4 by filling the chamber 10 with gas through the tube 9. Thereby the pattern defined by the structure 7 is transferred to the layer 5. The first through hole 12 in the stamp is centered relative to the second through the hole 15 in the substrate. Thereby becomes pattern- 'Å' -: fnigšïZLÜZíFV- * l .íštä 'ZÜÅÄåíEíÉÉ ílfé St? l-ïllâa fl fici; go -. »n I -nnvuo 10 15 20 25 30 35 .noen- n 1 1. 522 237 ll ret, which is produced in the layer 5, centered in relation to the second through hole 15 in the substrate.
I fig 2 visas en alternativ utföringsform av före- liggande uppfinning. I fig 2 är centreringsorganet ut- format som ett första delorgan 20, ett andra delorgan 21 och ett tredje hållaraxel 23. yta 24, 25, 26 koniska ytorna delorgan 22, vilka är fast anordnade på en Vart och ett av delorganen har en konisk med cirkulärt tvärsnitt. Var och en av de 24, 25, med hållaraxeln 23 på vilken de är anordnade. De koniska 25, 26 har en gemensam symmetriaxel ytorna 24, 26 har blivit bearbetade då delorganen har varit anordnade på hållaraxeln 23. Därigenom har en god överensstämmelse uppnåtts mellan de koniska ytornas sym- metriaxlar och hållaraxelns 23 symmetriaxel.Fig. 2 shows an alternative embodiment of the present invention. In Fig. 2, the centering member is formed as a first sub-member 20, a second sub-member 21 and a third holding shaft 23. surface 24, 25, 26 conical surfaces sub-members 22, which are fixedly arranged on a Each and one of the sub-members has a conical circular cross section. Each of the 24, 25, with the holding shaft 23 on which they are mounted. The conical 25, 26 have a common axis of symmetry the surfaces 24, 26 have been machined when the sub-members have been arranged on the holding shaft 23. Thereby a good correspondence has been achieved between the symmetry axes of the conical surfaces and the axis of symmetry of the holding shaft 23.
I fig 2 är ett första tryckorgan 27 anordnat på det första delorganet 20, ett substrat 28 anordnat på det andra delorganet 21 och ett andra tryckorgan 29 anordnat på det tredje delorganet 22. Det första tryckorganet 27 är försett med en första struktur 32, på den sida som är vänd mot substratet 28. Substratet 28 är försett med ett första skikt 30, 27, tryckorganet 29. Det andra tryckorganet är försett med en som är vänt mot det första tryckorganet och ett andra skikt 31 som är vänt mot det andra andra struktur, på den sida som är vänd mot substratet 28.In Fig. 2, a first pressure member 27 is arranged on the first sub-member 20, a substrate 28 is arranged on the second sub-member 21 and a second pressure member 29 is arranged on the third sub-member 22. The first pressure member 27 is provided with a first structure 32, on the side facing the substrate 28. The substrate 28 is provided with a first layer 30, 27, the printing means 29. The second printing means is provided with one facing the first printing means and a second layer 31 facing the second second structure , on the side facing the substrate 28.
Det första tryckorganet 27 är försett med ett första 34. 35. Det andra tryckorganet 29 är försett genomgående hàl Substratet är försett med ett andra genomgående hål med ett tredje genomgående hål 36. De genomgående hålen är anordnade i förhållande till delorganen så att subst- ratet 28 och tryckorganen 27, 21 och 22. tryckorganen 27, 29 fastnar på varsitt av delorganen 20, Efter att man har centrerat 29 och substratet 28 genom att placera dem på centreringsorganet för man ihop dem på motsvarande sätt som beskrivits i samband med fig 1 och pressar där- efter samman det första tryckorganet med det andra tryck- organet så att mönstret överförs till det första skiktet nu-uno n -sov-1 10 15 20 25 30 35 522 237 12 30 och det andra skiktet 31 på substratet 28. Strukturen 32 på det första tryckorganet 20 är centrerad i förhåll- ande till det första genomgående hålet 34. Strukturen på det andra tryckorganet 22 är på motsvarande sätt cent- rerad i förhållande till det tredje genomgående hålet 36.The first pressure means 27 is provided with a first 34. 35. The second pressure means 29 is provided with a through hole The substrate is provided with a second through hole with a third through hole 36. The through holes are arranged relative to the sub-means so that the substrate 28 and the pressure means 27, 21 and 22. the pressure means 27, 29 adhere to each of the sub-means 20, After centering 29 and the substrate 28 by placing them on the centering means, they are assembled in a manner corresponding to that described in connection with Fig. 1, and then compresses the first printing means with the second printing means so that the pattern is transferred to the first layer nu-uno n -sov-1 10 15 20 25 30 35 522 237 12 30 and the second layer 31 on the substrate 28. The structure 32 on the first pressure member 20 is centered relative to the first through hole 34. The structure of the second pressure member 22 is similarly centered relative to the third through hole 3. 6.
När man pressar ihop det första tryckorganet och det andra tryckorganet med substratet emellan, kommer mönst- ren som framställs i det första skiktet 30 respektive det andra skiktet 31 därför att vara centrerade i förhållande till varandra.Therefore, when the first printing means and the second printing means are compressed with the substrate in between, the patterns produced in the first layer 30 and the second layer 31, respectively, will be centered relative to each other.
I fig 3 visas en anordning enligt uppfinningen i form av en press som kan användas för att överföra ett mönster till ett skikt på ett substrat. Anordningen har ett första hållarorgan 37 vilket är fast anordnat i för- hållande till anordningens ramstruktur 38, ett andra hållarorgan 39 vilket är rörligt i vertikal ledd i för- hållande till det första hållarorganet och vilket är anordnat att anbringa ett statiskt tryck i vertikal ledd.Fig. 3 shows a device according to the invention in the form of a press which can be used to transfer a pattern to a layer on a substrate. The device has a first holding member 37 which is fixedly arranged in relation to the frame structure 38 of the device, a second holding member 39 which is movable in vertical direction relative to the first holding member and which is arranged to apply a static pressure in vertical direction.
Centralt anordnat i det andra hållarorganet 39 finns ett centreringsorgan 40 anordnat, vilket exempelvis är av sådant slag som beskrivits i samband med figur 1. Vid användning av pressen i figur 3 anordnar man såsom be- skrivits i samband med figur 2 ett första tryckorgan 41 med en första struktur anordnad på den sida som är vänd uppåt, ett substrat 42 med ett skikt på vardera sidan och därefter ett andra tryckorgan 43 med en andra struktur anordnad på den sida som är vänd nedåt.Centrally arranged in the second holding member 39, a centering member 40 is arranged, which is, for example, of the type described in connection with Figure 1. When using the press in Figure 3, a first pressure member 41 is arranged as described in connection with Figure 2. a first structure disposed on the upwardly facing side, a substrate 42 having a layer on each side and then a second printing member 43 having a second structure disposed on the downwardly facing side.
Efter att man har placerat substratet 42 och tryck- organen 41, 43 på centreringsorganet höjer man det andra hållarorganet 39 så att tryckorganen 41, 43 och substra- tet 42 kommer i kontakt med varandra och kläms mellan det första hållarorganet 37 och det andra hållarorganet 39.After placing the substrate 42 and the pressure means 41, 43 on the centering means, the second holding means 39 are raised so that the pressure means 41, 43 and the substrate 42 come into contact with each other and are clamped between the first holding means 37 and the second holding means 39. .
Därefter pålägger man ett tryck mellan det första håll- arorganet 37 och det andra hållarorganet 39 så att struk- turerna i tryckorganen överförs till mönster i skikten.Then a pressure is applied between the first holding means 37 and the second holding means 39 so that the structures in the printing means are transferred to patterns in the layers.
I fig 4 visas ett tryckorgan 44 med cirkulär form genom vilket tryckorgan det finns ett genomgående hål 45. 10 15 522 257 ä' 13 På tryckorganets yta finns det anordnat en struktur i form av koncentriska cirkulära upphöjningar 46. Hålet 45 år centrerat i förhållande till uphöjningarna.Fig. 4 shows a pressure member 44 with a circular shape through which pressure means there is a through hole 45. On the surface of the pressure member a structure in the form of concentric circular elevations 46 is arranged. The hole 45 is centered in relation to the elevations.
I fig 5 två alternativa former på centreringsorgan.In Fig. 5 two alternative forms of centering means.
De olika formerna som visas i figur Sa och Sb kan använ- das för att åstadkomma lika avstånd mellan substratet och vart och ett av tryckorganen när det skiljer olika mycket i diameter mellan de genomgående hålen i substratet respektive tryckorganen. Ovanstående utföringsformer är endast avsedda som exempel för att fackmannen skall kunna utföra uppfinningen och begränsar inte uppfinningen vilken definieras av de vidhångande patentkraven.The different shapes shown in Figures 5a and 5b can be used to provide equal distances between the substrate and each of the pressure means when there is a different amount of diameter difference between the through holes in the substrate and the pressure means, respectively. The above embodiments are intended by way of example only for those skilled in the art to carry out the invention and do not limit the invention which is defined by the appended claims.
IJMQI (36 fil) c xš . Élïšfiï. "'“'lï "ffl IP) fl > 1.113 lå . ritlå;IJMQI (36 fil) c xš. Élïšfiï. "'“' Lï "ffl IP) fl> 1,113 lay. ritlå;
Claims (1)
Priority Applications (6)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| SE0201733A SE522237C2 (en) | 2002-06-07 | 2002-06-07 | Pattern formation method in e.g. hard disk manufacture, involves arranging substrate facing patterned surface of pressing portion, so that substrate and pressing portion are movable along common line |
| PCT/SE2003/000901 WO2003104898A1 (en) | 2002-06-07 | 2003-06-05 | Method for transferring a pattern |
| EP03730970A EP1512049A1 (en) | 2002-06-07 | 2003-06-05 | Method for transferring a pattern |
| US10/515,830 US7082876B2 (en) | 2002-06-07 | 2003-06-05 | Method for transferring a pattern |
| JP2004511909A JP4372683B2 (en) | 2002-06-07 | 2003-06-05 | Pattern transfer method |
| AU2003241245A AU2003241245A1 (en) | 2002-06-07 | 2003-06-05 | Method for transferring a pattern |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| SE0201733A SE522237C2 (en) | 2002-06-07 | 2002-06-07 | Pattern formation method in e.g. hard disk manufacture, involves arranging substrate facing patterned surface of pressing portion, so that substrate and pressing portion are movable along common line |
Publications (3)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| SE0201733D0 SE0201733D0 (en) | 2002-06-07 |
| SE0201733L SE0201733L (en) | 2003-12-08 |
| SE522237C2 true SE522237C2 (en) | 2004-01-27 |
Family
ID=20288105
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| SE0201733A SE522237C2 (en) | 2002-06-07 | 2002-06-07 | Pattern formation method in e.g. hard disk manufacture, involves arranging substrate facing patterned surface of pressing portion, so that substrate and pressing portion are movable along common line |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| SE (1) | SE522237C2 (en) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP1972996A1 (en) | 2007-03-21 | 2008-09-24 | Erich Dipl.-Ing. Thallner | Method and device for generating a nanostructured disc |
| EP1957249A4 (en) * | 2005-12-08 | 2012-07-25 | Molecular Imprints Inc | METHOD AND SYSTEM FOR RECTO-VERSO MODELING OF SUBSTRATES |
-
2002
- 2002-06-07 SE SE0201733A patent/SE522237C2/en not_active IP Right Cessation
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP1957249A4 (en) * | 2005-12-08 | 2012-07-25 | Molecular Imprints Inc | METHOD AND SYSTEM FOR RECTO-VERSO MODELING OF SUBSTRATES |
| EP1972996A1 (en) | 2007-03-21 | 2008-09-24 | Erich Dipl.-Ing. Thallner | Method and device for generating a nanostructured disc |
| US8142701B2 (en) | 2007-03-21 | 2012-03-27 | Erich Thallner | Method and device for producing a nanopatterned disc |
| US8591794B2 (en) | 2007-03-21 | 2013-11-26 | Erich Thallner | Method and device for producing a nanopatterned disc |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| SE0201733D0 (en) | 2002-06-07 |
| SE0201733L (en) | 2003-12-08 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US6939120B1 (en) | Disk alignment apparatus and method for patterned media production | |
| US7320584B1 (en) | Die set having sealed compliant member | |
| US6055123A (en) | Radially loaded disc mounting system for a disc drive | |
| KR20030009086A (en) | Rotor assembly, information-recording/-reproducing device using the rotor assembly and method of assembling the rotor assembly | |
| JP2005178384A (en) | Indirect fluid pressure imprinting | |
| JP2004326831A (en) | Method and device for manufacturing magnetic recording medium | |
| US20060275076A1 (en) | Tolerance ring with high axial static friction | |
| US5627702A (en) | Head positioner stack for high-capacity disc drives | |
| KR100463902B1 (en) | Disk clamp for disk recording apparatus and disk recording apparatus | |
| EP0704396A1 (en) | Sheet feeder | |
| JP2011088444A (en) | Imprinting device and method for mold releasing | |
| CA1068398A (en) | Bistable deflection separation of flexible disks | |
| SE522237C2 (en) | Pattern formation method in e.g. hard disk manufacture, involves arranging substrate facing patterned surface of pressing portion, so that substrate and pressing portion are movable along common line | |
| KR20150144615A (en) | Functional coating structure using negative thermal expansion material, manufacture method thereof, and micro gearing device using the same | |
| AU2008288037A1 (en) | Foil bearing device | |
| CN202937445U (en) | Axial piston pump with piston having metal sealing ring | |
| US6358394B1 (en) | Apparatus and method for manufacturing fluid dynamic bearings | |
| KR20000035027A (en) | Ferrofluid seal for actuator bearing | |
| US20120062213A1 (en) | Microprobe, recording apparatus, and method of manufacturing microprobe | |
| JP2584701B2 (en) | Gas cooled nuclear fuel element | |
| JP3997049B2 (en) | Magnetic transfer method | |
| US3349385A (en) | Rotating transducer in a random access system | |
| US741501A (en) | Brake for talking-machine motors. | |
| RU2370834C1 (en) | Memorising module | |
| CN110864856B (en) | A pen cap sealing detection device and method |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| NUG | Patent has lapsed |